処理中

しばらくお待ちください...

PATENTSCOPE は、メンテナンスのため次の日時に数時間サービスを休止します。サービス休止: 火曜日 26.10.2021 (12:00 午後 CEST)
設定

設定

出願の表示

1. CN1829570 - Fine powder spraying device

注意: このテキストは、OCR 処理によってテキスト化されたものです。法的な用途には PDF 版をご利用ください。

[ ZH ]
粉末体散布装置


技术领域
本发明涉及一种粉末体散布装置,该装置用于从散布喷嘴管同时喷出气 体气流以及粉末体,并使粉末体散布在基板等被散布体上,属于粉末体散布 装置技术领域。
背景技术
作为上述粉末体散布装置,已知的代表例有,在液晶显示装置等所使用 的液晶显示板所构成的液晶基板之间,例如在玻璃板和玻璃板或塑料基板之 间,以单层形式以及规定量均匀散布作为具有均匀粒子直径的粉末体的液晶 用隔离体(隔离珠体)的液晶用隔离体散布装置。
在液晶显示装置等液晶显示板中,由于在构成液晶基板的玻璃板和玻璃 板之间或与玻璃板以外的塑料类(有机玻璃类等)基板之间,或者在所述塑 料类基板和玻璃板之间(以下,以由玻璃板和玻璃板构成的玻璃基板为代表, 称为玻璃基板)形成注入液晶的间隙,以粒子直径为数μm~数十μm的均匀直 径的粒子(隔离珠体)作为隔离体,以每1mm210~2000个的程度尽可能均匀 散布而形成单层。另外,在作为这种液晶用隔离体,可以采用各种塑料制成 的粒子或硅粒子。
作为这种在构成液晶基板的玻璃板上以单层且规定量均匀散布液晶用 隔离体的装置,已知可采用前面所述的液晶用隔离体散布装置。作为液晶用 隔离体散布装置已知有例如在日本专利特开平11-276941号公报中披露的 使用了空气或惰性气体等气态气体的装置。
这种液晶用隔离体散布装置使细微的液晶用隔离体随空气或惰性气体 等气体的气流,在细管(输送管)内输送,从摆动的散布喷嘴管同时喷出气 流和液晶用隔离体的粒子,由此将其散布在玻璃基板上。
可是,如前所述,液晶用隔离体是粒子直径为数μm~数十μm的细微粉末 体之类容易浮起的物质,并且,液晶用隔离体的粒子由于是各种塑料制成的 粒子或硅粒子而易于带电,从而难以实现以一定密度和良好的再现性散布在 玻璃基板上。因此,通常可以在根据带电极性(静电极性)使液晶用隔离体 的粒子带电的同时,使玻璃基板以及基台(工作台)接地,以确保以一定密 度在玻璃基板上散布液晶用隔离体的粒子。
可是近些年来,液晶显示板有逐渐加大的趋势,由1块玻璃板制造多块 液晶显示板的情况也逐渐增多。因此,出现了在更大的范围散布液晶用隔离 体的需求。为了进行这项处理,必须要加大玻璃基板的安装台(基台),并 增加散布室(散布室)的高度,或增大散布液晶用隔离体的散布喷嘴管所需 要的摆动角度。
此处,若加大玻璃基板的安装台(基台)并增加散布室(散布室)高度, 则散布装置本身也会加大,由于对进行液晶用隔离体散布的洁净车间的顶部 高度存在限制,因此,必须特别设计并加高洁净车间的顶部高度,从而存在 导致成本上升的问题。特别是,若玻璃基板加大达到1300mm×1300mm,则存 在以往的散布系统无法进入洁净车间的问题。
就增大散布液晶用隔离体的散布喷嘴管所要求的摆动角这一点而言,由 于以往的散布喷嘴管的摆动方法是通过曲轴或偏心凸轮实现的,因此,存在 散布喷嘴管不能以规定速度移动并且在两端部移动速度大幅变动的问题。
在前面所述的日本专利特开平11-276941号公报中披露的液晶用隔离 体散布装置是针对这一要求研发的装置。即,在日本专利特开平11-276941 号公报中披露的液晶用隔离体散布装置中,通过可以沿相互正交的2个面方 向中任意一个方向倾斜的2个摆动机构支撑以与被散布体相距规定间隔设置 的散布喷嘴管,通过合成由上述2个摆动机构产生的摆动,从而不会增大散 布喷嘴管和被散布体的间隔,并且,与以往相比,在增大散布喷嘴管的摆动 角的同时,能够顺利实现其运动。
虽然根据上述日本专利特开平11-276941号公报中披露的液晶用隔离 体散布装置能够获得以下效果,即:不会增大散布喷嘴管和被散布体的间隔, 并且,与以往相比,在增大散布喷嘴管的摆动角的同时,能够顺利实现其运 动,但是,在这种装置中还存在其它问题。
所述问题与包括日本专利特开平11-276941号公报中披露的液晶用隔 离体散布装置在内的以往液晶用隔离体散布装置相同,即若从散布喷嘴管喷 出的粒子的一部分附着在散布喷嘴管的粒子喷嘴出口附近,并且这些附着物 以一定程度残留,则其会因某一原因(例如,装置的振动等)落在被散布体 上,从而会损坏被散布体上的液晶用隔离体粒子散布的均匀性。
所述问题的原因在于:在包括日本专利特开平11-276941号公报中披 露的液晶用隔离体散布装置在内的以往液晶用隔离体散布装置的基本结构 为了提高液晶用隔离体粒子在被散布体上散布的均匀性,从平置的被散布体 的上方,利用散布喷嘴管散布液晶用隔离体。
发明内容
本发明是为针对上述情况作出的,其目的在于提供一种粉末体散布装 置,其能够解决现有技术的问题,不会造成装置的大型化,不会在被散布体 上产生落下物,并且可以在大型被散布体上散布液晶用隔离体等粉末体。
为了达到上述目的,本发明的粉末体散布装置具有:散布喷嘴管,所述 散布喷嘴管与被散布体相距规定间隔设置,并能够从其顶端对所述被散布体 同时排出气体的气流和粉末体;使所述被散布体和所述散布喷嘴管相对进行 三维移动的移动控制装置;由所述移动控制装置控制的所述散布喷嘴管的支 撑部以及所述被散布体的支撑部,其特征在于:所述散布喷嘴管设置在所述 被散布体朝垂直上方的投影面外。
更具体地说,本发明的粉末体散布装置具有:散布喷嘴管,所述散布喷 嘴管与被散布体相距规定间隔设置,并能够从其顶端对所述被散布体同时喷 出气体的气流和粉末体;所述散布喷嘴管的支撑部,其通过可以对从所述散 布喷嘴管排出的所述粉末体的喷出方向进行三维控制的方向控制装置支撑; 其特征在于:所述散布喷嘴管设置在所述被散布体朝垂直上方的投影面外。
此处,可能存在的情况有:所述被散布体以其被散布面为上侧大致水平 设置,所述散布喷嘴管在所述被散布体朝垂直上方的投影面外、设置在高于 所述被散布面的位置处;所述被散布体以其被散布面为上侧以倾斜状态设 置,所述散布喷嘴管在所述被散布体朝垂直上方的投影面外、设置在高于所 述被散布面的位置处;所述被散布体以其被散布面为所述被散布喷嘴管侧且 以大致垂直状态设置,所述散布喷嘴管设置在所述被散布体朝垂直上方的投 影面外;所述被散布体以其被散布面为下侧且以大致水平状态设置,所述散 布喷嘴管设置在与所述被散布体朝垂直上方的投影面相反侧的面上;所述被 散布体以其被散布面为下侧且以倾斜状态设置,所述散布喷嘴管设置在与所 述被散布体朝垂直上方的投影面相反侧的面上。
另外,本发明的粉末体散布装置的特征在于:所述散布喷嘴管在停止于 所述被散布体的投影面外的大致垂直面上的状态下,以二维方式对所述被散 布体的表面散布所述粉末体。
另外,本发明的粉末体散布装置的特征在于:所述散布喷嘴管具有在停 止于所述被散布体的投影面外的大致垂直面上可进行一维移动的结构,并且 在所述一维移动过程中停止在规定的位置处,在该停止位置处,以二维方式 对以所述大致水平状设置的所述被散布体的表面散布所述粉末体。
另外,本发明的粉末体散布装置的特征在于:所述散布喷嘴管可以在所 述被散布体的投影面外的大致垂直面上、以预定间距进行一维间歇移动,并 且在所述一维间歇移动的过程中停止在规定位置处,并且,在该停止位置处, 以与所述移动方向正交的方向、以二维方式对以所述大致水平状设置的所述 被散布体的表面散布所述粉末体。
本发明的的粉末体散布装置的特征在于:通过接近所述散布喷嘴管的粉 末体喷出口设置的至少双向的气流供给装置进行所述散布喷嘴管对在所述 停止位置处的所述粉末体的二维散布。另外,其特征在于:除了所述气流供 给装置以外,还具有位于与所述散布喷嘴管的所述移动方向正交的面内的方 向改变装置。
在本发明的粉末体散布装置中,可以将所述散布喷嘴管设置在所述被散 布体的投影面外的相对2个大致垂直面上。此处,设置在所述相对2个垂直 面上的散布喷嘴管既可以交替进行粉末体的散布,也可以顺次进行粉末体的 散布。
另外,本发明的粉末体散布装置具有:散布喷嘴管,所述散布喷嘴管与 被散布体相距规定间隔设置,并能够从其顶端对所述被散布体同时喷出气体 的气流和粉末体;所述散布喷嘴管的支撑部,其通过可以对从所述散布喷嘴 管排出的所述粉末体的喷出方向进行二维控制的方向控制装置支撑;其特征 在于:所述散布喷嘴管设置在所述被散布体朝垂直上方的投影面外,同时, 所述被散布体通过其支撑部以规定转速转动。
此处,可能存在的情况有:所述被散布体以其被散布面为上侧大致水平 设置,所述散布喷嘴管在所述被散布体朝垂直上方的投影面外设置在高于所 述被散布面的位置处;所述被散布体以其被散布面为上侧以倾斜状态设置, 所述散布喷嘴管在所述被散布体朝垂直上方的投影面外,设置在高于所述被 散布面的位置处;所述被散布体以其被散布面为所述被散布喷嘴管侧且大致 垂直设置,所述散布喷嘴管设置在所述被散布体朝垂直上方的投影面外。
如上面详细说明的那样,根据本发明,在不会造成装置的大型化并且不 会产生朝被散布体的落下物的情况下,能够实现可以在大型被散布体上散布 液晶用隔离体等粉末体的粉末体散布装置。
另外,根据本发明,能够实现可以在大型被散布体上高效散布液晶用隔 离体等粉末体的粉末体散布装置。
附图说明
图1为剖面图,其显示了作为本发明一个实施例的粉末体散布装置的大 致结构。
图2显示了在图1中使用的方向控制机构部18B的详细结构,(a)为侧 视图,(b)为俯视图。
图3(a)、(b)显示了在图1所示的装置中粒子散布的实施例。
图4为俯视图,其显示了作为本发明另一实施例的粉末体散布装置的大 致结构。
图5为俯视图,其显示了在图1实施例中使用的粉末体散布装置的大致 结构。
图6为剖面图(其1),其显示了本发明另一实施例的粉末体散布装置的 大致结构。
图7为剖面图(其2),其显示了本发明另一实施例的粉末体散布装置的 大致结构。
图8为剖面图(其3),其显示了本发明另一实施例的粉末体散布装置的 大致结构。
图9为剖面图(其4),其显示了本发明另一实施例的粉末体散布装置的 大致结构。
图10为剖面图(其5),其显示了本发明另一实施例的粉末体散布装置 的大致结构。
图11为侧视图,其显示了本发明另一实施例的粉末体散布装置中散布 喷嘴管的角度控制机构的结构示例。
图12说明了本发明另一实施例的粉末体散布装置中控制装置的功能。
图13为剖面图,其显示了作为本发明另一实施例的粉末体散布装置的 大致结构。
图14为图13所示的装置的示意性俯视图。
具体实施方式
下面,根据附图所示的最佳实施例,对本发明的实施例进行详细说明。
图1为剖面图,其显示了作为本发明一个实施例的粉末体散布装置10 的大致结构。通常,将作为本实施例的粉末体散布装置10设置在洁净车间 (图中未示出)内。即,本实施例的粉末体散布装置10将作为被散布体的 玻璃基板16放置在设置于被密封的散布室12内的下部的基台14上,使其 定位并固定在该处。所述基台14以及放置在其上部的玻璃基板16接地或施 加与带电的粉末体极性相反的电压,以确保使作为带电的粉末体的液晶用隔 离体的粒子20附着在被接地的玻璃基板16上。
虽然在以往的常规粉末体散布装置中,在所述基台14的垂直上方,设 置了可散布液晶用隔离体粒子20(以下,仅称为粒子20)的散布喷嘴管18, 但是,为了防止从散布喷嘴管18本身落下的物体落在基台14(实际上,如 后所述,为玻璃基板16)上,应将散布喷嘴管18布置在位于基台14的投影 面外。
即,在本实施例的粉末体散布装置10中,将散布喷嘴管18布置在玻璃 基板16的投影面(在图1中,由点划线16a所示)的外侧。此处,希望玻 璃基板16的投影面外侧的空间足以确保附着在散布喷嘴管18的粒子喷出口 18a上的粒子20在从该处脱离后落下时,即使在落下途中或多或少改变其方 向,也不会落至玻璃基板16上(具体来说,例如,为距离玻璃基板16边缘 50cm以上的位置)。
图1所示的作为实施例的粉末体散布装置10的结构为:散布喷嘴管18 被布置在沿散布室12的垂直壁面,可朝垂直于纸面的方向进行移动,并通 过适当的驱动机构,使其停止在所希望的位置处。此处所使用的散布喷嘴管 18的移动机构并无特别限定,可以采用通过圆头螺钉使在导轨30上移动的 滑块18A移动等各种方式(参见图5)。
在上述滑块18A上除了散布喷嘴管18以外,还设有散布喷嘴管方向控 制机构部18B(以下,将其简称为方向控制机构),该机构部用于控制含有从 所述散布喷嘴管18喷出的粒子20的气流的到达方向,即控制粒子20的散 布方向。在图2(a)、(b)中,显示了所述方向控制机构18B的详细结构。
如图2所示,方向控制机构18B具有从散布喷嘴管18的大致垂直上方 向散布喷嘴管18的粒子喷出口18a喷射气流的第1喷气管24(参见图2(a)) 以及设置在散布喷嘴管18的上述喷气管24的直行面内的2根第2喷气管 22a、22b(参见图2(b))。另外,虽然上述第2喷气管22a、22b相对于散 布喷嘴管18分别以45°的方向设置在左右,但是,这只是一个例子,不应 局限于此。
散布喷嘴管18自身具有在接收惰性气体(例如,被调整至低露点的氮 气)的同时,还接收从图中未示出的液晶用隔离体的粒子20的供给装置(例 如,日清工程(株)制造的デイスパ-μR(商品名))以规定流量供给的粒 子20,并以规定方向喷出的功能,所述流量或喷射方向·散布的控制是通过 单独设置的控制装置进行的。
前面所述的喷气管22a、22b以及24用于进行含有从散布喷嘴管18喷 出的粒子20的气流喷出方向及散布的控制,上侧的第1喷气管24能够控制 含有从散布喷嘴管18喷出的粒子20的气流喷出方向,并根据喷出位置与散 布位置之间的距离向作为目标的位置进行散布。
另外,设置在散布喷嘴管18左右的2根喷气管22a,22b用于控制含有 从散布喷嘴管18喷出的粒子20的气流的散布,并通过根据上述喷出位置与 散布位置之间的距离控制散布的程度,从而设定适当的散布范围。
此处,最好对上述气流喷射方向的控制或气流散布的控制,进行预先的 实验,获取针对朝所述各个喷气管22a、22b以及24进行气体供应的气体供 给量的从散布喷嘴管18喷出的气流的喷出方向的变化或散布状态的变化等 数据,并以控制用图表等形式,将根据这些数据确定的控制量提供给前面所 述的控制装置。
具有上述结构的本实施例所述的粉末体散布装置10大致以以下方式工 作。
从放置在规定位置处的散布喷嘴管保持块18A上的散布喷嘴管18,向放 置在基台14上并接地的玻璃基板16喷出(放出)含有液晶用隔离体粒子20 的气流,从而使粒子20散布在玻璃基板16上的规定位置处。
此处,由于从停止在某一位置处的散布喷嘴管18可均匀散布粒子20的 玻璃基板20上的面积受限制,因此,在对大型玻璃基板16进行散布的情况 下,必须对散布喷嘴管18的位置移动进行控制,或根据散布目标位置进行 散布喷嘴管18的散布控制,从而实现均匀散布。
图3显示了一个例子。
如图3(a)所示,利用停止在某一位置处的散布喷嘴管18,首先,在对 远方侧的“区域1”进行粒子20的散布之后,将规定流量的气体供给至前面 所述的第1喷气管24,以此方式,使散布喷嘴管18的喷射方向朝邻近侧改 变,以对邻近侧的“区域2”进行散布。此处朝喷气管24的供给流量的控制 如前面所述,是通过控制装置进行控制的。
通过前面所述的第2喷气管22a、22b执行的对粒子20的散布控制是鉴 于根据从散布喷嘴管18至玻璃基板16的距离调整散布角度的必要性(即必 须在玻璃基板16上距离散布喷嘴管18较远的位置处减小散布角度,并随着 距离接近而加大散布角度),与散布位置的移动同时进行散布面积的控制以 形成粒子20宽度方向的散布区域。
在本实施例的粉末体散布装置10中,若结束利用停止在某个位置处的 散布喷嘴管18进行的粒子20的散布,则控制装置驱动前面所述的散布喷嘴 管18的移动机构,以使散布喷嘴管18的位置移动至下一个规定位置。该位 置是预先设定的。
之后,在该新位置处,通过前面所述的动作,实施对远方侧、邻近侧区 域的散布。
顺次进行上述与使散布位置移动同时进行的散布移动直至玻璃基板16 的终端,若结束向1块玻璃基板16的散布,则控制装置驱动移动机构,以 使散布喷嘴管18的位置返回初期位置,并将其设定在下一散布工作处,使 其处于待机状态。
另一方面,从散布室12取出以上述顺序结束散布的基板16并将其提交 给测试部门,此处,进行针对基板16上的规定测定位置的测定(评估)。该 评定是以在基板16上的规定测定位置(例如,100个点)处测定粒子20的散 布密度的方法进行的。另外,也可以以其为基础,计算出粒子的附着效率(附 着量/散布量)。
根据所述评定结果,在发现显著的散布不均匀等情况时,对该位置进行 调整散布量的处理并重新进行散布,观察其结果,重复判断处理的有效性。 作为此处调整散布量的处理,可采用基于前面所述的散布喷嘴管18的粒子 喷出方向的检查、粒子散布的检查调整从喷气管喷出的气流的喷出量等。因 此,在能够消除附着不均匀的情况下,将该条件作为新的控制数据,存储在 控制装置中。
虽然在上面的说明中省略了说明,但是,对于玻璃基板16放置(固定) 在基台14上,与开始散布粒子20同步进行的散布室12内的排气以及散布 结束后的停止排气,从基台14上拆除散布结束的玻璃基板16等操作而言, 它们与以往的操作无实质性变化。
在上述实施例的说明中,对于本发明而言,虽然给出的例子为:散布喷 嘴管18采用了可以通过滑块18A沿散布室12的垂直壁面、以垂直于纸面的 方向(图5中的箭头a方向)移动的结构,以便能够使其停止在所希望的位置 处,但本发明不应局限于此,例如,也可以将散布喷嘴管18固定在散布室 12的垂直壁面的规定位置处(参见图4)。
在这种情况下,最好在对散布喷嘴管18进行保持的滑块18A上设置散 布喷嘴管的摆动机构,该机构如在前面所述的日本专利特开平11-276941 号公报中披露的液晶用隔离体散布装置中所示的那样,将以指定间隔与被散 布体布置的散布喷嘴管,通过可以沿相互正交的2个面的方向中任意一个方 向倾斜的2个摆动机构支撑,使上述2个摆动机构形成的摆动得以合成。
除此之外,本发明的粉末体散布装置可以采用图6~图10所示的各种结 构。
即,在图6所示的例子中,相对于与图1所述配置相同的基板配置,可 以在两侧相对设置散布喷嘴管18,从而使粒子20的散布状况的均匀化得以 提高。
图7以及图8所示的例子用于改变玻璃基板16的设置角度,以便根据 所述基板设置状况,设置散布喷嘴管18并选定和设置来自该处的落下物不 会落在基板16上的位置。在采用这种基板配置的情况下,特别是在图7所 示的例子中,获得了能够减小散布散布室12的室内面积的辅助效果。
图9以及图10所示的例子显示了向下方(或者,斜下方)设置玻璃基板 16的例子,并且其采用了从下方(或者,斜下方)供给被散布的粒子20的结 构。在这种情况下,由于基本上没有粒子20的凝固体等落在基板16上的可 能性,因此,完全不存在发生这种事故的担心。
在上述各个实施例中,虽然在滑块18A上的散布喷嘴管18以其位置(相 对于玻璃基板16的角度)一定的方式构成,但是,本发明不应局限于此,也 可以设置改变散布喷嘴管18角度的机构,作为这种机构,可以采用手动操 作方式,也可以采用例如图11所示的机械式散布喷嘴管18的角度改变机构。
图11所示的机械式散布喷嘴管18的角度改变机构将散布喷嘴管18固 定在圆弧状齿轮40上,使该齿轮40与同马达M结合的小直径齿轮42相啮 合,从而驱动控制马达M,由此以旋转中心44为轴,使齿轮40以箭头b的 方向转动,以此方式,能够任意改变散布喷嘴管18的角度。
在设置这种角度改变机构的情况下,在本发明的粉末体散布装置中,能 够获得更迅速·可靠地转换粒子20在基板16上的散布位置的效果。这种角 度改变的控制也可通过来自前面所述的控制装置的指示进行。
在图12中整理显示了上述控制装置功能的大致情况。
作为控制装置的功能,除了准备阶段的控制用程序的读取(步骤50),控 制用数据的读取(包含输入接收:步骤52)以外,还有在实施散布工作时的各 个部分的控制(步骤54~60)。
即,若起动控制装置,则在准备阶段结束后,设定基板以在指示结束之 前重复进行实施散布的工作,并在指示结束时进行结束处理工作。
此处,在步骤58的散布工作的控制中,含有前面所述的对滑块18A以 及散布喷嘴管18的各种控制。
为了顺利进行步骤58中的散布动作的控制(即,气流的喷出方向的控制 或气流散布的控制等),最好,如前所述,预先进行实验,获取涉及向各根 喷气管22a、22b以及24的空气供给量的从散布喷嘴管18喷出的气流喷出 方向变化或散布状态变化等数据,以及涉及散布喷嘴管18的角度变化机构 的同样的数据,并利用控制用图表等形式,将根据这些数据确定的控制量提 供给控制装置。
上述控制装置可通过装有写入专用程序的IC芯片的硬件来实现,也可 以将整体作为装入1台个人计算机的装置,也可以采用具有它们组合结构的 装置。
对于散布喷嘴管18本身的角度调整(控制)或含有从散布喷嘴管18喷出 的粒子20的气流的方向调整,以及所述气流的散布(实际上在其中所含的粒 子20的散布)控制,不应局限于举例说明的方法,也可以适当地采用其它各 种方法。
图13为显示本发明其它实施例的粉末体散布装置70的大致结构的剖面 图,图14为其俯视图。
本实施例的粉末体散布装置70也设置在洁净车间内。本实施例的粉末 体散布装置70将作为被散布体的玻璃基板16放置在设置于被密封散布室12 内的下部上的旋转台72上,并将其定位固定。
上述旋转台72采用了通过滚轮74b支撑旋转圆板74的结构,其中,所 述旋转圆板74具有通过齿轮72a与马达M相连的轴74a,通过马达M转动, 可以以规定的转速使放置并定位固定在旋转圆板74上的玻璃基板16顺利转 动。
此处,旋转台72以及放置在其上部的玻璃基板16接地或施加与带电的 粉末体极性相反的电压。另外,使放置在上部的玻璃基板16接地,以便使 作为带电的粉末体的液晶用隔离体的粒子20可靠地附着在玻璃基板16上。 通过对散布室12的顶板和侧壁面施加与粉末体极性相同的电压,能够防止 粉末体粒子20的不必要附着。
在本实施例的粉末体散布装置70中,为了防止来自所述散布喷嘴管18 本身的落下物落在旋转台72上的玻璃基板16上,使散布粉末体粒子20的 散布喷嘴管18位于旋转台72(实际上,为玻璃基板16)的投影面外。
即,本实施例的粉末体散布装置70与以前说明的实施例(参见图1)相 同,也设置在玻璃基板16的投影面(在图13中,由点划线所示)的外侧,具 体来说,在距离玻璃基板16边缘部例如50mm以上的位置处。
如图14所示,前面所述的旋转台72上的旋转圆板74为了顺利旋转, 最好在不会阻碍玻璃基板16的支撑的范围内,削落其转角部分,以形成接 近圆板的形状。另外,对于散布室12的转角部分而言,为了减小气流在旋 转圆板74旋转时的变化,最好设置内壁板12a。
图13、图14所示的实施例的粉末体散布装置70的结构为:散布喷嘴管 18设置在散布室12的转角部分上方,并且,例如其通过以前所述的滑块18A 内的散布喷嘴管方向控制机构18B(参见图2),能够沿图中竖直方向、以规 定速度往复运动(即,相对于作为被散布体的玻璃基板16作一维运动)。
具有上述结构的本实施例的粉末体散布装置70大致按以下方式工作。
以规定速度(此处,例如为15~60rpm)使放置(固定)在旋转台72上的旋 转圆板74上并接地的玻璃基板16转动,从散布喷嘴管18向所述玻璃基板 16喷出含有粉末体粒子20的气流,并使粒子20散布在玻璃基板16上的规 定位置处。
此处,在本实施例的粉末体散布装置70中,通过使玻璃基板16转动, 与前面所述的散布喷嘴管18的竖直方向的动作相结合,能够在玻璃基板16 的整个表面上,以良好的均匀性散布粒子20。
上面所述的各个实施例均显示了本发明的一个例子。本发明不应局限于 此。不言而喻,在不脱离本发明原理的范围内,可进行适当的改变或改进。