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1. IL265029 - COMBINED X-RAY AND OPTICAL METROLOGY

Office Israël
Numéro de la demande 265029
Date de la demande 25.02.2019
Numéro de publication 265029
Date de publication 30.04.2019
Type de publication A
CIB
G01N
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
Déposants KLA-TENCOR CORPORATION
Données relatives à la priorité 14/074,689 07.11.2013 US
61/843,868 08.07.2013 US
61/867,363 19.08.2013 US
Titre
(EN) COMBINED X-RAY AND OPTICAL METROLOGY
(HE) מטרולוגיה משלבת קרני–X ואופטיקה
Abrégé