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1. WO2023283162 - CANON À ÉLECTRONS ÉMETTEUR DE CHAMP FROID DOTÉ D'UN EXTRACTEUR AUTONETTOYANT UTILISANT UN COURANT DE FAISCEAU ÉLECTRONIQUE INVERSÉ

Numéro de publication WO/2023/283162
Date de publication 12.01.2023
N° de la demande internationale PCT/US2022/036069
Date du dépôt international 05.07.2022
CIB
H01J 37/073 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02Détails
04Dispositions des électrodes et organes associés en vue de produire ou de commander la décharge, p.ex. dispositif électronoptique, dispositif ionoptique
06Sources d'électrons; Canons à électrons
073Canons à électrons utilisant des sources d'électrons à émission par effet de champ, à photo-émission ou à émission secondaire
H01J 37/28 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
26Microscopes électroniques ou ioniques; Tubes à diffraction d'électrons ou d'ions
28avec faisceaux de balayage
CPC
H01J 2237/022
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
02Details
022Avoiding or removing foreign or contaminating particles, debris or deposits on sample or tube
H01J 37/063
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
06Electron sources; Electron guns
063Geometrical arrangement of electrodes for beam-forming
H01J 37/073
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
06Electron sources; Electron guns
073Electron guns using field emission, photo emission, or secondary emission electron sources
H01J 37/32862
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32431Constructional details of the reactor
32798Further details of plasma apparatus not provided for in groups H01J37/3244 - H01J37/32788; special provisions for cleaning or maintenance of the apparatus
32853Hygiene
32862In situ cleaning of vessels and/or internal parts
Déposants
  • KLA CORPORATION [US]/[US]
Inventeurs
  • GRELLA, Luca
  • CHUBUN, Nikolai
  • PITTS, Stephen
Mandataires
  • MCANDREWS, Kevin
  • SPURLOCK, Justin Delorean
  • KOSCIELNY, Jeremy
Données relatives à la priorité
17/368,70706.07.2021US
Langue de publication Anglais (en)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) COLD-FIELD-EMITTER ELECTRON GUN WITH SELF-CLEANING EXTRACTOR USING REVERSED E-BEAM CURRENT
(FR) CANON À ÉLECTRONS ÉMETTEUR DE CHAMP FROID DOTÉ D'UN EXTRACTEUR AUTONETTOYANT UTILISANT UN COURANT DE FAISCEAU ÉLECTRONIQUE INVERSÉ
Abrégé
(EN) An e-beam device includes a cold-field emission source to emit electrons and an extractor electrode to be positively biased with respect to the cold-field emission source to extract the electrons from the cold-field emission source. The extractor electrode has a first opening for the electrons. The e-beam device also includes a mirror electrode with a second opening for the electrons. The mirror electrode is configurable to be positively biased with respect to the extractor electrode during a first mode of operation and to be negatively biased with respect to the extractor electrode during a second mode of operation. The extractor electrode is disposed between the cold-field emission source and the mirror electrode. The e-beam device further includes an anode to be positively biased with respect to the extractor electrode and the coldfield emission source. The mirror electrode is disposed between the extractor electrode and the anode.
(FR) L'invention concerne un dispositif à faisceau électronique comprenant une source d'émission de champ froid pour émettre des électrons et une électrode d'extracteur pour être polarisée positivement par rapport à la source d'émission de champ froid pour extraire les électrons de la source d'émission de champ froid. L'électrode d'extracteur présente une première ouverture pour les électrons. Le dispositif à faisceau électronique comprend également une électrode miroir dotée d'une seconde ouverture pour les électrons. L'électrode miroir peut être configurée pour être polarisée positivement par rapport à l'électrode d'extracteur pendant un premier mode de fonctionnement et pour être polarisée négativement par rapport à l'électrode d'extracteur pendant un second mode de fonctionnement. L'électrode d'extracteur est disposée entre la source d'émission de champ froid et l'électrode miroir. Le dispositif à faisceau électronique comprend en outre une anode devant être polarisée positivement par rapport à l'électrode d'extracteur et à la source d'émission de champ froid. L'électrode miroir est disposée entre l'électrode d'extracteur et l'anode.
Documents de brevet associés
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