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1. WO2022211087 - DISPOSITIF À ONDES ÉLASTIQUES

Numéro de publication WO/2022/211087
Date de publication 06.10.2022
N° de la demande internationale PCT/JP2022/016845
Date du dépôt international 31.03.2022
CIB
H03H 9/145 2006.1
HÉLECTRICITÉ
03CIRCUITS ÉLECTRONIQUES FONDAMENTAUX
HRÉSEAUX D'IMPÉDANCES, p.ex. CIRCUITS RÉSONNANTS; RÉSONATEURS
9Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques
02Détails
125Moyens d'excitation, p.ex. électrodes, bobines
145pour réseaux utilisant des ondes acoustiques de surface
H03H 9/25 2006.1
HÉLECTRICITÉ
03CIRCUITS ÉLECTRONIQUES FONDAMENTAUX
HRÉSEAUX D'IMPÉDANCES, p.ex. CIRCUITS RÉSONNANTS; RÉSONATEURS
9Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques
25Détails de réalisation de résonateurs utilisant des ondes acoustiques de surface
CPC
H03H 9/145
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
02Details
125Driving means, e.g. electrodes, coils
145for networks using surface acoustic waves
H03H 9/25
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
25Constructional features of resonators using surface acoustic waves
Déposants
  • 株式会社村田製作所 MURATA MANUFACTURING CO., LTD. [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 木村 哲也 KIMURA, Tetsuya
  • 鈴木 勝己 SUZUKI, Katsumi
  • 井上 和則 INOUE, Kazunori
Mandataires
  • 山尾 憲人 YAMAO, Norihito
  • 岡部 博史 OKABE, Hiroshi
Données relatives à la priorité
63/168,30231.03.2021US
Langue de publication Japonais (ja)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) ELASTIC WAVE DEVICE
(FR) DISPOSITIF À ONDES ÉLASTIQUES
(JA) 弾性波装置
Abrégé
(EN) An elastic wave device according to the present disclosure is provided with: a support member including a support substrate having a thickness direction; a piezoelectric layer provided on the support member; and an IDT electrode provided on the piezoelectric layer. In the support member, a cavity is provided at a position that overlaps at least a portion of the IDT electrode in plan view along the thickness direction. A through-hole reaching the cavity is provided in the piezoelectric layer. The IDT electrode has: a first busbar; a second busbar opposed to the first busbar; a plurality of first electrode fingers that are provided on the first busbar and that extend towards the second busbar; and a plurality of second electrode fingers that are provided on the second busbar and that extend towards the first busbar. The plurality of first electrode fingers and the plurality of second electrode fingers are arranged so as to overlap each other when viewed in an opposed direction in which the plurality of first electrode fingers and the plurality of second electrode fingers that are adjacent to each other are opposed to each other. In plan view along the thickness direction, the through-hole is provided at a position excluding a region between a first imaginary line passing through the leading ends of the plurality of first electrode fingers and a second imaginary line passing through the leading ends of the plurality of second electrode fingers.
(FR) Un dispositif à ondes élastiques selon la présente divulgation comprend : un élément de support comprenant un substrat de support ayant un sens de l'épaisseur ; une couche piézoélectrique disposée sur l'élément de support ; et une électrode IDT disposée sur la couche piézoélectrique. Dans l'élément de support, une cavité est ménagée à une position qui chevauche au moins une partie de l'électrode IDT dans une vue en plan le long du sens de l'épaisseur. Un trou traversant atteignant la cavité est ménagé dans la couche piézoélectrique. L'électrode IDT comprend : une première barre omnibus ; une seconde barre omnibus opposée à la première barre omnibus ; une pluralité de premiers doigts d'électrode qui sont disposés sur la première barre omnibus et qui s'étendent vers la seconde barre omnibus ; et une pluralité de seconds doigts d'électrode qui sont disposés sur la seconde barre omnibus et qui s'étendent vers la première barre omnibus. La pluralité de premiers doigts d'électrode et la pluralité de seconds doigts d'électrode sont agencés de façon à se chevaucher entre eux lorsqu'ils sont vus dans une direction opposée dans laquelle la pluralité de premiers doigts d'électrode et la pluralité de seconds doigts d'électrode qui sont adjacents les uns aux autres sont opposés les uns aux autres. Dans une vue en plan dans le sens de l'épaisseur, le trou traversant est ménagé à une position excluant une région entre une première ligne imaginaire passant par les extrémités avant de la pluralité de premiers doigts d'électrode et une seconde ligne imaginaire passant par les extrémités avant de la pluralité de seconds doigts d'électrode.
(JA) 本開示の弾性波装置は、厚み方向を有する支持基板を含む支持部材と、支持部材上に設けられる圧電層と、圧電層に設けられるIDT電極と、を備え、支持部材には、厚み方向に平面視して、IDT電極の少なくとも一部と重なる位置で空洞部が設けられ、圧電層には、空洞部に至る貫通孔が設けられており、IDT電極は、第1バスバーと、第1バスバーに対向する第2バスバーと、第1バスバーに設けられ、第2バスバーに向かって延びる複数の第1電極指と、第2バスバーに設けられ、第1バスバーに向かって延びる複数の第2電極指と、を有し、隣り合う複数の第1電極指と複数の第2電極指とが対向している対向方向から見て、複数の第1電極指及び複数の第2電極指は互いに重なって配置されており、貫通孔は、厚み方向に平面視して、複数の第1電極指の先端を通る第1仮想ラインと、複数の第2電極指の先端を通る第2仮想ラインと、の間を除く位置に設けられている。
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