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1. WO2022209404 - ÉLÉMENT D'ENTRAÎNEMENT

Numéro de publication WO/2022/209404
Date de publication 06.10.2022
N° de la demande internationale PCT/JP2022/006561
Date du dépôt international 18.02.2022
CIB
B81B 3/00 2006.1
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
BDISPOSITIFS OU SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE, p.ex. DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES
3Dispositifs comportant des éléments flexibles ou déformables, p.ex. comportant des membranes ou des lamelles élastiques
H01L 41/113 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
41Dispositifs piézo-électriques en général; Dispositifs électrostrictifs en général; Dispositifs magnétostrictifs en général; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Détails
08Eléments piézo-électriques ou électrostrictifs
113à entrée mécanique et sortie électrique
H01L 41/187 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
41Dispositifs piézo-électriques en général; Dispositifs électrostrictifs en général; Dispositifs magnétostrictifs en général; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Détails
16Emploi de matériaux spécifiés
18pour des éléments piézo-électriques ou électrostrictifs
187Compositions céramiques
H03H 9/24 2006.1
HÉLECTRICITÉ
03CIRCUITS ÉLECTRONIQUES FONDAMENTAUX
HRÉSEAUX D'IMPÉDANCES, p.ex. CIRCUITS RÉSONNANTS; RÉSONATEURS
9Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques
24Détails de réalisation de résonateurs en matériau qui n'est ni piézo-électrique, ni électrostrictif, ni magnétostrictif
G02B 26/08 2006.1
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
26Dispositifs ou systèmes optiques utilisant des éléments optiques mobiles ou déformables pour commander l'intensité, la couleur, la phase, la polarisation ou la direction de la lumière, p.ex. commutation, ouverture de porte ou modulation
08pour commander la direction de la lumière
G02B 26/10 2006.1
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
26Dispositifs ou systèmes optiques utilisant des éléments optiques mobiles ou déformables pour commander l'intensité, la couleur, la phase, la polarisation ou la direction de la lumière, p.ex. commutation, ouverture de porte ou modulation
08pour commander la direction de la lumière
10Systèmes de balayage
CPC
B81B 3/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
3Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
G02B 26/08
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08for controlling the direction of light
G02B 26/10
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08for controlling the direction of light
10Scanning systems
H01L 41/113
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
08Piezo-electric or electrostrictive devices
113with mechanical input and electrical output ; , e.g. generators, sensors
H01L 41/187
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
16Selection of materials
18for piezo-electric or electrostrictive devices ; , e.g. bulk piezo-electric crystals
187Ceramic compositions ; , i.e. synthetic inorganic polycrystalline compounds incl. epitaxial, quasi-crystalline materials
H03H 9/24
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
24Constructional features of resonators of material which is not piezo-electric, electrostrictive, or magnetostrictive
Déposants
  • パナソニックIPマネジメント株式会社 PANASONIC INTELLECTUAL PROPERTY MANAGEMENT CO., LTD. [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 岡本 庄司 OKAMOTO, Shoji
  • 高山 了一 TAKAYAMA, Ryouichi
  • 片山 琢磨 KATAYAMA, Takuma
Mandataires
  • 芝野 正雅 SHIBANO, Masanori
  • 大橋 誠 OHASHI, Makoto
Données relatives à la priorité
2021-05725130.03.2021JP
2021-07352423.04.2021JP
Langue de publication Japonais (ja)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) DRIVE ELEMENT
(FR) ÉLÉMENT D'ENTRAÎNEMENT
(JA) 駆動素子
Abrégé
(EN) This drive element (1) comprises a fixed part, a drive unit that is aligned on the side of the fixed part and that is linked to the fixed part, and a moveable part that is driven by the drive unit. A lower electrode (111), a piezoelectric layer (112), and an upper electrode (114) are formed in order on an upper surface region of the fixed part and the drive unit. Furthermore, in a wiring region (A1) on the fixed-part side of the upper surface region, a low dielectric layer (115) including at least one element that forms the piezoelectric layer (112) is formed on the upper surface of the piezoelectric layer (112).
(FR) Cet élément d'entraînement (1) comprend une partie fixe, une unité d'entraînement qui est alignée sur le côté de la partie fixe et qui est reliée à la partie fixe et une partie mobile qui est entraînée par l'unité d'entraînement. Une électrode inférieure (111), une couche piézoélectrique (112) et une électrode supérieure (114) sont formées dans cet ordre sur une région de surface supérieure de la partie fixe et de l'unité d'entraînement. En outre, dans une région de câblage (A1) sur le côté de la partie fixe de la région de surface supérieure, une couche à faible constante diélectrique (115) comprenant au moins un élément qui forme la couche piézoélectrique (112) est formée sur la surface supérieure de la couche piézoélectrique (112).
(JA) 駆動素子(1)は、固定部と、固定部の側方に並んで固定部に連結された駆動部と、駆動部により駆動される可動部と、を備える。固定部および駆動部の上面領域に下部電極(111)、圧電体層(112)および上部電極(114)が順番に形成され、さらに、上面領域のうち固定部側の配線領域(A1)には、圧電体層(112)を形成する少なくとも1つの元素を含む低誘電体層(115)が、圧電体層(112)の上面に形成されている。
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