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1. WO2022208602 - RÉCIPIENT POUR SUBSTRATS

Numéro de publication WO/2022/208602
Date de publication 06.10.2022
N° de la demande internationale PCT/JP2021/013258
Date du dépôt international 29.03.2021
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 01.10.2021
CIB
H01L 21/673 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
673utilisant des supports spécialement adaptés
B65D 85/30 2006.1
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
65MANUTENTION; EMBALLAGE; EMMAGASINAGE; MANIPULATION DES MATÉRIAUX DE FORME PLATE OU FILIFORME
DRÉCEPTACLES POUR L'EMMAGASINAGE OU LE TRANSPORT D'OBJETS OU DE MATÉRIAUX, p.ex. SACS, TONNEAUX, BOUTEILLES, BOÎTES, BIDONS, CAISSES, BOCAUX, RÉSERVOIRS, TRÉMIES OU CONTENEURS D'EXPÉDITION; ACCESSOIRES OU FERMETURES POUR CES RÉCEPTACLES; ÉLÉMENTS D'EMBALLAGE; PAQUETS
85Réceptacles, éléments d'emballage ou paquets spécialement adaptés aux objets ou aux matériaux particuliers
30pour objets particulièrement sensibles aux dommages par chocs ou compression
CPC
B65D 85/30
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
DCONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
85Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
30for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
H01L 21/673
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
673using specially adapted carriers ; or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
Déposants
  • ミライアル株式会社 MIRAIAL CO., LTD. [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 永島 剛 NAGASHIMA Tsuyoshi
  • 福田 隆二 FUKUDA Ryuuji
Mandataires
  • 正林 真之 SHOBAYASHI Masayuki
  • 林 一好 HAYASHI Kazuyoshi
  • 岩池 満 IWAIKE Mitsuru
Données relatives à la priorité
Langue de publication Japonais (ja)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) SUBSTRATE CONTAINER
(FR) RÉCIPIENT POUR SUBSTRATS
(JA) 基板収納容器
Abrégé
(EN) The present invention comprises: a container body 2; a lid 3; a lid-side substrate support capable of supporting edges of substrates W when a container body opening 21 is closed by the lid 3; a rear-side substrate support 6 that is disposed as a counterpart of the lid-side substrate support in a substrate housing space 27, is capable of supporting the edges of the substrates W, and supports the substrates W in a state in which the edges of the substrates W are arranged parallel to each other by the rear-side substrate support 6 together with the lid-side substrate support while the container body opening 21 is closed; a pair of lateral substrate supports 5 that are disposed to face each other in a lateral direction D3 in the substrate housing space 27 and are configured to contact the edges of the substrates W to be able to support the edges of the substrates W in a state in which the adjacent substrates W are arranged parallel to each other at predetermined intervals; and support constituent parts 4 that are disposed to face the inner surfaces of side walls 25, 26 of a wall 20 of the container body 2. The lateral substrate supports 5 are provided in the support constituent parts 4, and a dehumidifying agent 9 is placeable between the support constituent parts 4 and the inner surfaces of the side walls 25, 26 of the wall 20 of the container body 2.
(FR) La présente invention comprend : un corps de récipient (2) ; un couvercle (3) ; un support de substrats côté couvercle, susceptible de soutenir des bords de substrats (W) lorsqu'une ouverture de corps de récipient (21) est fermée par le couvercle (3) ; un support de substrats côté arrière (6), disposé en tant que contrepartie du support de substrats côté couvercle dans un espace de logement de substrats (27), pouvant soutenir les bords des substrats (W) et soutenant les substrats (W) dans un état où les bords des substrats (W) sont agencés parallèlement l'un à l'autre par le support de substrats côté arrière (6) conjointement avec le support de substrats côté couvercle pendant la fermeture de l'ouverture de corps de récipient (21) ; une paire de supports latéraux de substrats, disposés face à face selon une direction latérale (D3) dans l'espace de logement de substrats et conçus pour entrer en contact avec les bords des substrats (W) pour pouvoir soutenir les bords des substrats (W) dans un état où les substrats adjacents (W) sont agencés parallèlement les uns aux autres à des intervalles prédéterminés ; et des parties constitutives de support (4), disposées pour faire face aux surfaces internes des parois latérales (25, 26) d'une paroi (20) du corps de récipient (2). Les supports latéraux de substrats (5) sont disposés dans les parties constitutives de support (4) et un agent de déshumidification (9) peut être placé entre les parties constitutives de support (4) et les surfaces internes des parois latérales (25, 26) de la paroi (20) du corps de récipient (2).
(JA) 容器本体2と、蓋体3と、蓋体3によって容器本体開口部21が閉塞されているときに基板Wの縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、基板収納空間27内において蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、基板Wの縁部を支持可能であり、容器本体開口部21が閉塞されているときに蓋体側基板支持部と協働して基板Wの縁部を並列させた状態で、基板Wを支持する奥側基板支持部6と、基板収納空間27内において横方向D3に対をなすように配置され、基板Wの縁部に当接することにより、隣接する基板W同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、基板Wの縁部を支持可能な側方基板支持部5と、容器本体2の壁部20の側壁25、26の内面に対向して配置される支持部構成部材4と、を備える。側方基板支持部5は、支持部構成部材4に設けられ、支持部構成部材4と容器本体2の壁部20の側壁25、26の内面との間に、除湿剤9が配置可能である。
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