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1. WO2022208396 - PROCÉDÉ DE DÉTECTION ET DE CORRECTION DE DISTORSIONS DE LENTILLE DANS UN SYSTÈME DE DIFFRACTION D'ÉLECTRONS

Numéro de publication WO/2022/208396
Date de publication 06.10.2022
N° de la demande internationale PCT/IB2022/052963
Date du dépôt international 30.03.2022
CIB
G01N 23/20058 2018.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
23Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de rayonnement (ondes ou particules), p.ex. rayons X ou neutrons, non couvertes par les groupes G01N3/-G01N17/201
20en utilisant la diffraction de la radiation par les matériaux, p.ex. pour rechercher la structure cristalline; en utilisant la diffusion de la radiation par les matériaux, p.ex. pour rechercher les matériaux non cristallins; en utilisant la réflexion de la radiation par les matériaux
20058en mesurant la diffraction des électrons, p.ex.la diffraction d’électrons lents ou la diffraction d’électrons de haute énergie en incidence rasante
G01N 23/2055 2018.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
23Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de rayonnement (ondes ou particules), p.ex. rayons X ou neutrons, non couvertes par les groupes G01N3/-G01N17/201
20en utilisant la diffraction de la radiation par les matériaux, p.ex. pour rechercher la structure cristalline; en utilisant la diffusion de la radiation par les matériaux, p.ex. pour rechercher les matériaux non cristallins; en utilisant la réflexion de la radiation par les matériaux
2055Analyse des diagrammes de diffraction
G06T 5/00 2006.1
GPHYSIQUE
06CALCUL; COMPTAGE
TTRAITEMENT OU GÉNÉRATION DE DONNÉES D'IMAGE, EN GÉNÉRAL
5Amélioration ou restauration d'image
CPC
G01N 2223/0565
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
2223Investigating materials by wave or particle radiation
05by diffraction, scatter or reflection
056diffraction
0565diffraction of electrons, e.g. LEED
G01N 2223/0566
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
2223Investigating materials by wave or particle radiation
05by diffraction, scatter or reflection
056diffraction
0566analysing diffraction pattern
G01N 2223/401
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
2223Investigating materials by wave or particle radiation
40Imaging
401image processing
G01N 2223/604
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
2223Investigating materials by wave or particle radiation
60Specific applications or type of materials
604monocrystal
G01N 23/04
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
23Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
02by transmitting the radiation through the material
04and forming images of the material
G01N 23/20058
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
23Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
20by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
20058Measuring diffraction of electrons, e.g. low energy electron diffraction [LEED] method or reflection high energy electron diffraction [RHEED] method
Déposants
  • BRUKER AXS, LLC [US]/[US]
Inventeurs
  • KAERCHER, Joerg
  • OLLINGER, Christoph
  • LAZAREV, Sergey
Mandataires
  • CONRAD, Philip
Données relatives à la priorité
17/220,62801.04.2021US
Langue de publication Anglais (en)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) METHOD FOR THE DETECTION AND CORRECTION OF LENS DISTORTIONS IN AN ELECTRON DIFFRACTION SYSTEM
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTECTION ET DE CORRECTION DE DISTORSIONS DE LENTILLE DANS UN SYSTÈME DE DIFFRACTION D'ÉLECTRONS
Abrégé
(EN) A method for correcting distortion in a coherent electron diffraction imaging (CEDI) image induced by a projection lens makes use of a known secondary material that is imaged together with a sample of interest. Reflections generated from the secondary material are located in the image, and these observed reflections are used to approximate a beam center location. Using a known lattice structure of the secondary material, Friedel pairs are located in the image and unit cell vectors are identified. Predicted positions for each of the secondary material reflections are then determined, and the position differences between the observed reflections and the predicted reflections are used to construct a relocation function applicable to the overall image. The relocation function is then used to adjust the position of image components so as to correct for the distortion.
(FR) Un procédé de correction de distorsions dans une image d'imagerie par diffraction d'électrons cohérente (CEDI) provoquée par une lentille de projection utilise un matériau secondaire connu qui est imagé conjointement avec un échantillon d'intérêt. Des réflexions générées à partir du matériau secondaire sont situées dans l'image, et ces réflexions observées sont utilisées pour approcher un emplacement du centre du faisceau. À l'aide d'une structure de treillis connue du matériau secondaire, des paires de Friedel sont situées dans l'image et des vecteurs de cellules unitaires sont identifiés. Des positions prédites pour chacune des réflexions du matériau secondaire sont ensuite déterminées, et les différences de position entre les réflexions observées et les réflexions prédites sont utilisées pour créer une fonction de translation applicable à l'image globale. La fonction de translation est ensuite utilisée pour ajuster la position des composants de l'image de façon à corriger la distorsion.
Documents de brevet associés
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