(EN) The present invention provides an anti-reflective hard mask composition comprising: (a) a copolymer in the form of a hetero aromatic represented by chemical formula 1, or a copolymer blend comprising same; and (b) an organic solvent.
(FR) La présente invention concerne une composition de masque dur antireflet comprenant : (a) un copolymère sous la forme d'un hétéro-aromatique représenté par la formule chimique 1, ou un mélange de copolymères le comprenant ; et (b) un solvant organique.
(KO) 본 발명은 (a) 하기 화학식 1로 표시되는 헤테로 방향족 형태로 이루어지는 공중합체 또는 이를 포함하는 공중합체 혼합물(blend) 및 (b) 유기 용매를 포함하여 이루어지는 반사방지 하드마스크 조성물이 제공된다.