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1. WO2022088682 - DISPOSITIF DE DÉMONTAGE ET D'ASSEMBLAGE POUR PLAQUE DE DISTRIBUTION DE GAZ D'UNE MACHINE DE GRAVURE, ET MACHINE DE GRAVURE

Numéro de publication WO/2022/088682
Date de publication 05.05.2022
N° de la demande internationale PCT/CN2021/098719
Date du dépôt international 07.06.2021
CIB
H01J 37/32 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
32Tubes à décharge en atmosphère gazeuse
Déposants
  • 长鑫存储技术有限公司 CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC. [CN]/[CN]
Inventeurs
  • 陈克维 CHEN, Ko Wei
  • 孟理 MENG, Li
  • 王建忠 WANG, Chien Chung
Mandataires
  • 北京同立钧成知识产权代理有限公司 LEADER PATENT & TRADEMARK FIRM
Données relatives à la priorité
202011206010.202.11.2020CN
Langue de publication Chinois (zh)
Langue de dépôt chinois (ZH)
États désignés
Titre
(EN) DISASSEMBLING AND ASSEMBLING DEVICE FOR GAS DISTRIBUTION PLATE OF ETCHING MACHINE, AND ETCHING MACHINE
(FR) DISPOSITIF DE DÉMONTAGE ET D'ASSEMBLAGE POUR PLAQUE DE DISTRIBUTION DE GAZ D'UNE MACHINE DE GRAVURE, ET MACHINE DE GRAVURE
(ZH) 刻蚀机的气体分布板的拆装装置和刻蚀机
Abrégé
(EN) The present application relates to the technical field of semiconductor manufacturing, and provides a disassembling and assembling device for a gas distribution plate of an etching machine, and the etching machine for solving the problem that the disassembly and assembly of the gas distribution plate of the etching machine is difficult and easy to contaminate the gas distribution plate. The disassembling and assembling device for a gas distribution plate of an etching machine comprises a holding member, a connector and a fixing member. The fixing member is detachably connected to the gas distribution plate of the etching machine, and the holding member is connected to the fixing member by means of the connector. The holding member is provided with a grip for a user's hand to hold. The present application can effectively reduce the disassembling and assembling difficulty for the gas distribution plate, improve the maintenance efficiency of the etching machine, reduce contamination of gas distribution plates, optimize the maintenance effect of the etching machine, ensure the etching effect of the etching machine, and prolong the service life of the etching machine.
(FR) La présente invention concerne le domaine technique de la fabrication de semi-conducteurs, et fournit un dispositif de démontage et d'assemblage pour une plaque de distribution de gaz d'une machine de gravure, ainsi que la machine de gravure, visant à résoudre le problème selon lequel le démontage et l'assemblage de la plaque de distribution de gaz de la machine de gravure sont difficiles et contaminent facilement la plaque de distribution de gaz. Le dispositif de démontage et d'assemblage pour une plaque de distribution de gaz d'une machine de gravure comprend un élément de maintien, un connecteur et un élément de fixation. L'élément de fixation est relié de façon amovible à la plaque de distribution de gaz de la machine de gravure, et l'élément de maintien est relié à l'élément de fixation au moyen du connecteur. L'élément de maintien est pourvu d'une poignée destinée à être saisie par la main de l'utilisateur. La présente invention peut réduire efficacement la difficulté du démontage et de l'assemblage pour la plaque de distribution de gaz, améliorer l'efficacité de maintenance de la machine de gravure, réduire la contamination des plaques de distribution de gaz, optimiser l'effet de maintenance de la machine de gravure, garantir l'effet de gravure de la machine de gravure, et prolonger la durée de vie de la machine de gravure.
(ZH) 本申请提供一种刻蚀机的气体分布板的拆装装置和刻蚀机,涉及半导体制造技术领域,解决刻蚀机的气体分布板的拆装难度大,且易污染气体分布板的问题,该刻蚀机的气体分布板的拆装装置包括握持件、连接件和固定件,固定件可拆卸的连接在刻蚀机的气体分布板上,握持件和固定件通过连接件连接;握持件上设置有供用户手部握持的握持部。本申请能够有效减小气体分布板的拆装难度,提高刻蚀机的维修效率,同时减少拆装过程气体分布板的污染,优化刻蚀机的维修效果,保证刻蚀机的刻蚀效果,延长刻蚀机的使用寿命。
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