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1. WO2022051551 - ANALYSE DE TRANCHE MULTI-PERSPECTIVE

Numéro de publication WO/2022/051551
Date de publication 10.03.2022
N° de la demande internationale PCT/US2021/048935
Date du dépôt international 02.09.2021
CIB
G01N 21/95 2006.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
84Systèmes spécialement adaptés à des applications particulières
88Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures
95caractérisée par le matériau ou la forme de l'objet à analyser
G06T 7/00 2006.1
GPHYSIQUE
06CALCUL; COMPTAGE
TTRAITEMENT OU GÉNÉRATION DE DONNÉES D'IMAGE, EN GÉNÉRAL
7Analyse d'image
CPC
G01N 21/9501
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
95characterised by the material or shape of the object to be examined
9501Semiconductor wafers
G01N 21/956
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
95characterised by the material or shape of the object to be examined
956Inspecting patterns on the surface of objects
G06T 2207/10141
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
2207Indexing scheme for image analysis or image enhancement
10Image acquisition modality
10141Special mode during image acquisition
G06T 2207/20021
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
2207Indexing scheme for image analysis or image enhancement
20Special algorithmic details
20021Dividing image into blocks, subimages or windows
G06T 2207/20224
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
2207Indexing scheme for image analysis or image enhancement
20Special algorithmic details
20212Image combination
20224Image subtraction
G06T 2207/30148
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
2207Indexing scheme for image analysis or image enhancement
30Subject of image; Context of image processing
30108Industrial image inspection
30148Semiconductor; IC; Wafer
Déposants
  • APPLIED MATERIALS ISRAEL LTD. [IL]/[IL]
Inventeurs
  • FELDMAN, Haim
  • NEISTEIN, Eyal
  • ILAN, Harel
  • ARAD, Shahar
  • ALMOG, Ido
  • GOLANI, Ori
Mandataires
  • PORTNOVA, Marina
  • KIMES, Benjamin A.
  • DATTA, Madhumita
Données relatives à la priorité
17/010,74602.09.2020US
Langue de publication Anglais (en)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) MULTI-PERSPECTIVE WAFER ANALYSIS
(FR) ANALYSE DE TRANCHE MULTI-PERSPECTIVE
Abrégé
(EN) Disclosed herein is a method for detecting defects on a sample. The method includes obtaining scan data of a region of a sample in a multiplicity of perspectives, and performing an integrated analysis of the obtained scan data. The integrated analysis includes computing, based on the obtained scan data, and/or estimating cross-perspective covariances, and determining presence of defects in the region, taking into account the cross-perspective covariances.
(FR) L'invention divulgue un procédé de détection de défauts sur un échantillon. Le procédé consiste à obtenir des données de balayage d'une région d'un échantillon selon une multitude de perspectives, et à effectuer une analyse intégrée des données de balayage obtenues. L'analyse intégrée consiste à calculer, sur la base des données de balayage obtenues, et/ou à estimer des covariances de perspectives croisées, et à déterminer la présence de défauts dans la région, en tenant compte des covariances de perspectives croisées.
Documents de brevet associés
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