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1. WO2022007615 - SONDE DE BALAYAGE THERMIQUE DE TYPE À TROIS BRAS À REMPLISSAGE AUTONOME À UTILISER DANS DES MICRO ET NANO-FABRICATIONS

Numéro de publication WO/2022/007615
Date de publication 13.01.2022
N° de la demande internationale PCT/CN2021/100920
Date du dépôt international 18.06.2021
CIB
G01Q 70/18 2010.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
QTECHNIQUES OU APPAREILS À SONDE À BALAYAGE; APPLICATIONS DES TECHNIQUES DE SONDE À BALAYAGE, p.ex. MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE
70Aspects généraux des sondes SPM, leur fabrication ou leur instrumentation correspondante, dans la mesure où ces sondes ne sont pas spécialement adaptées à une seule technique SPM couverte par le groupe G01Q60/230
16Fabrication des sondes
18Fonctionnalisation
G01Q 70/10 2010.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
QTECHNIQUES OU APPAREILS À SONDE À BALAYAGE; APPLICATIONS DES TECHNIQUES DE SONDE À BALAYAGE, p.ex. MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE
70Aspects généraux des sondes SPM, leur fabrication ou leur instrumentation correspondante, dans la mesure où ces sondes ne sont pas spécialement adaptées à une seule technique SPM couverte par le groupe G01Q60/230
08Caractéristiques des sondes
10Forme ou cônicité
G01Q 70/14 2010.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
QTECHNIQUES OU APPAREILS À SONDE À BALAYAGE; APPLICATIONS DES TECHNIQUES DE SONDE À BALAYAGE, p.ex. MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE
70Aspects généraux des sondes SPM, leur fabrication ou leur instrumentation correspondante, dans la mesure où ces sondes ne sont pas spécialement adaptées à une seule technique SPM couverte par le groupe G01Q60/230
08Caractéristiques des sondes
14Matériaux particuliers
B81C 99/00 2010.1
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
CPROCÉDÉS OU APPAREILS SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À LA FABRICATION OU AU TRAITEMENT DE DISPOSITIFS OU DE SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE
99Matière non prévue dans les autres groupes de la présente sous-classe
B82Y 40/00 2011.1
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
82NANOTECHNOLOGIE
YUTILISATION OU APPLICATIONS SPÉCIFIQUES DES NANOSTRUCTURES; MESURE OU ANALYSE DES NANOSTRUCTURES; FABRICATION OU TRAITEMENT DES NANOSTRUCTURES
40Fabrication ou traitement des nanostructures
CPC
B81C 99/0005
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
99Subject matter not provided for in other groups of this subclass
0005Apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of microstructural devices or systems, or methods for manufacturing the same
B82Y 40/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
82NANOTECHNOLOGY
YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
40Manufacture or treatment of nanostructures
G01Q 70/10
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
70General aspects of SPM probes, their manufacture or their related instrumentation, insofar as they are not specially adapted to a single SPM technique covered by group G01Q60/00
08Probe characteristics
10Shape or taper
G01Q 70/14
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
70General aspects of SPM probes, their manufacture or their related instrumentation, insofar as they are not specially adapted to a single SPM technique covered by group G01Q60/00
08Probe characteristics
14Particular materials
G01Q 70/18
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
70General aspects of SPM probes, their manufacture or their related instrumentation, insofar as they are not specially adapted to a single SPM technique covered by group G01Q60/00
16Probe manufacture
18Functionalisation
Déposants
  • 浙江大学 ZHEJIANG UNIVERSITY [CN]/[CN]
Inventeurs
  • 胡欢 HU, Huan
  • 茅仁伟 MAO, Renwei
Mandataires
  • 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司 BEIJING FINELAND IP FIRM
Données relatives à la priorité
202010662491.110.07.2020CN
Langue de publication Chinois (zh)
Langue de dépôt chinois (ZH)
États désignés
Titre
(EN) AUTO-FILLING THREE-ARM-TYPE THERMAL SCANNING PROBE FOR USE IN MICRO-NANO MANUFACTURING
(FR) SONDE DE BALAYAGE THERMIQUE DE TYPE À TROIS BRAS À REMPLISSAGE AUTONOME À UTILISER DANS DES MICRO ET NANO-FABRICATIONS
(ZH) 一种用于微纳米制造的自填料三臂式热扫描探针
Abrégé
(EN) An auto-filling three-arm-type thermal scanning probe for use in micro-nano manufacturing. The probe consists of a three-arm-type cantilever (16), metal contact solder pads (22), nickel-chromium alloy heating electrodes for printing (23), nickel-chromium alloy heating electrodes for conveying (24), and a polymer storage area (27), is manufactured by employing a conventional micro-nano processing process such as lithography and wet etching. A gradient density design of the nickel-chromium alloy heating electrodes for conveying (24) is utilized to generate a continuous temperature gradient transition, thereby implementing the continuous conveyance of a printed material from the polymer storage area (27) to a tip area, thus implementing auto-filling, which can be seamlessly integrated with a CMOS process, the printed material can be completely removed by acetone or an oxygen plasma that are commonly used in the CMOS process without producing stains. Moreover, a micro-nano processing method requires only an atomic force microscope that costs much less than an electron-beam lithography machine or an extreme ultraviolet lithography machine, prints in room temperature, and has the characteristics of being inexpensive and easy to use.
(FR) Sonde de balayage thermique de type à trois bras à remplissage autonome à utiliser dans des micro et nano-fabrications. La sonde est constituée d'un porte-à-faux de type à trois bras (16), de plots de soudure à contact métallique (22), d'électrodes de chauffage en alliage nickel-chrome pour l'impression (23), d'électrodes de chauffage en alliage nickel-chrome pour le transport (24), et d'une zone de stockage de polymère (27), est fabriquée à l'aide d'un procédé de micro et nano-traitement classique tel que la lithographie et la gravure humide. Une conception de densité de gradient des électrodes de chauffage en alliage nickel-chrome pour le transport (24) est utilisée pour générer une transition de gradient de température continue, ce qui permet de mettre en œuvre le transport continu d'un matériau imprimé depuis la zone de stockage de polymère (27) vers une zone de pointe, ce qui permet de mettre en œuvre un remplissage autonome, pouvant être intégré sans interruption à un procédé CMOS, le matériau imprimé pouvant être complètement éliminé par de l'acétone ou un plasma d'oxygène couramment utilisés dans le procédé CMOS sans produire de taches. De plus, un procédé de micro et nano-traitement ne nécessite qu'un microscope à force atomique présentant des coûts bien inférieurs à une machine de lithographie par faisceau d'électrons ou à une machine de lithographie extrême ultraviolet, imprime à température ambiante, et présente les caractéristiques d'être peu coûteux et facile à utiliser.
(ZH) 一种用于微纳米制造的自填料三臂式热扫描探针,探针由三臂式悬臂梁(16)、金属接触焊盘(22)、打印用镍铬合金加热电极(23)、输运用镍铬合金加热电极(24)和聚合物存储区(27)组成,采用光刻、湿法刻蚀等常规微纳加工工艺制作得到,利用输运用镍铬合金加热电极(24)的梯度密度设计,产生连续的温度梯度变化,从而实现打印料物从聚合物存储区(27)到针尖区的持续性输运,实现自填料,可以和CMOS工艺无缝集成,且打印出的材料可以通过CMOS工艺中常用的丙酮或者氧气等离子体彻底消除,没有沾污;而且微纳米加工方法只需要造价远远低于电子束光刻机或者极紫外光刻机的原子力显微镜,在常温下打印,具有成本低、使用简单的特点。
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