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1. WO2022002381 - APPAREIL DE TRAITEMENT D'UN SUBSTRAT, DISPOSITIF DE CHAUFFAGE DE LAMPE ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT D'UN APPAREIL

Numéro de publication WO/2022/002381
Date de publication 06.01.2022
N° de la demande internationale PCT/EP2020/068493
Date du dépôt international 01.07.2020
CIB
C23C 14/54 2006.1
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
23REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
CREVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
22caractérisé par le procédé de revêtement
54Commande ou régulation du processus de revêtement
C23C 16/48 2006.1
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
23REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
CREVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
16Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c. à d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD)
44caractérisé par le procédé de revêtement
48par irradiation, p.ex. par photolyse, radiolyse ou rayonnement corpusculaire
Déposants
  • APPLIED MATERIALS, INC. [US]/[US]
  • MALMS, Christopher [DE]/[DE] (US)
Inventeurs
  • MALMS, Christopher
Mandataires
  • ZIMMERMANN & PARTNER PATENTANWÄLTE MBB
Données relatives à la priorité
Langue de publication Anglais (en)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) APPARATUS FOR PROCESSING A SUBSTRATE, LAMP HEATER, AND METHOD FOR OPERATING AN APPARATUS
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT D'UN SUBSTRAT, DISPOSITIF DE CHAUFFAGE DE LAMPE ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT D'UN APPAREIL
Abrégé
(EN) A lamp heater (250) for a chamber includes a glass tube (252) having two sealed end portions (255); two cold wire portions (256) each extending through a respective one of the two sealed end portions (255); and a heating wire (251) arranged in the glass tube (252) and electrically connecting the two cold wire portions (256), the heating wire (251) containing a nickel-chromium alloy.
(FR) L'invention concerne un dispositif de chauffage de lampe (250) pour une chambre comprenant un tube en verre (252) ayant deux portions d'extrémité scellées (255) ; deux portions de fil froid (256) s'étendant chacune à travers une portion d'extrémité respective parmi les deux portions d'extrémité scellées (255) ; et un fil chauffant (251) agencé dans le tube en verre (252) et reliant électriquement les deux portions de fil froid (256), le fil chauffant (251) contenant un alliage de nickel-chrome.
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