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1. WO2021241355 - DISPOSITIF À ONDES ÉLASTIQUES

Numéro de publication WO/2021/241355
Date de publication 02.12.2021
N° de la demande internationale PCT/JP2021/018965
Date du dépôt international 19.05.2021
CIB
H03H 9/25 2006.1
HÉLECTRICITÉ
03CIRCUITS ÉLECTRONIQUES FONDAMENTAUX
HRÉSEAUX D'IMPÉDANCES, p.ex. CIRCUITS RÉSONNANTS; RÉSONATEURS
9Réseaux comprenant des éléments électromécaniques ou électro-acoustiques; Résonateurs électromécaniques
25Détails de réalisation de résonateurs utilisant des ondes acoustiques de surface
CPC
H03H 9/25
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
25Constructional features of resonators using surface acoustic waves
Déposants
  • 株式会社村田製作所 MURATA MANUFACTURING CO., LTD. [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 山本 浩司 YAMAMOTO, Koji
  • 大門 克也 DAIMON, Katsuya
Mandataires
  • 特許業務法人 宮▲崎▼・目次特許事務所 MIYAZAKI & METSUGI
Données relatives à la priorité
2020-09343228.05.2020JP
Langue de publication Japonais (ja)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) ELASTIC WAVE DEVICE
(FR) DISPOSITIF À ONDES ÉLASTIQUES
(JA) 弾性波装置
Abrégé
(EN) Provided is an elastic wave device wherein it is difficult for there to be deterioration of a characteristic due to a high-order mode. In this elastic wave device 1, on a support substrate 2, an intermediate layer 3 and a piezoelectric film 6 are stacked in that order; an IDT electrode 7 is provided on the piezoelectric film 6; and a plurality of cavities 10 are provided between the support substrate 2 and the intermediate layer 3, and/or within the intermediate layer 3.
(FR) L'invention concerne un dispositif à ondes élastiques dans lequel la survenue d'une détérioration d'une caractéristique due à un mode d'ordre élevé est difficile. Dans ce dispositif à ondes élastiques (1), sur un substrat de support (2), une couche intermédiaire (3) et un film piézoélectrique (6) sont empilés dans cet ordre ; une électrode IDT (7) est disposée sur le film piézoélectrique (6) ; et une pluralité de cavités (10) est formée entre le substrat de support (2) et la couche intermédiaire (3) et/ou à l'intérieur de la couche intermédiaire (3).
(JA) 高次モードによる特性の劣化が生じ難い、弾性波装置を提供する。 支持基板2上に中間層3及び圧電膜6がこの順序で積層されており、圧電膜6上にIDT電極7が設けられており、支持基板2と中間層3との間及び中間層3内の少なくとも一方に複数個の空洞部10が設けられている、弾性波装置1。
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