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1. WO2021059918 - CANON À ÉLECTRONS, DISPOSITIF D'APPLICATION DE FAISCEAU D'ÉLECTRONS, PROCÉDÉ DE VÉRIFICATION DE L'AXE D'ÉMISSION D'UN FAISCEAU D'ÉLECTRONS ÉMIS PAR UNE PHOTOCATHODE, ET PROCÉDÉ D'ALIGNEMENT DE L'AXE D'ÉMISSION D'UN FAISCEAU D'ÉLECTRONS ÉMIS PAR UNE PHOTOCATHODE

Numéro de publication WO/2021/059918
Date de publication 01.04.2021
N° de la demande internationale PCT/JP2020/033515
Date du dépôt international 04.09.2020
CIB
H01J 3/02 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
3Détails des dispositifs électronoptiques ou ionoptiques ou des pièges à ions, communs au moins à deux types de base de tubes ou de lampes à décharge
02Canons à électrons
H01J 3/26 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
3Détails des dispositifs électronoptiques ou ionoptiques ou des pièges à ions, communs au moins à deux types de base de tubes ou de lampes à décharge
26Dispositifs de déviation du rayon ou du faisceau
H01J 37/04 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02Détails
04Dispositions des électrodes et organes associés en vue de produire ou de commander la décharge, p.ex. dispositif électronoptique, dispositif ionoptique
H01J 37/073 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02Détails
04Dispositions des électrodes et organes associés en vue de produire ou de commander la décharge, p.ex. dispositif électronoptique, dispositif ionoptique
06Sources d'électrons; Canons à électrons
073Canons à électrons utilisant des sources d'électrons à émission par effet de champ, à photo-émission ou à émission secondaire
H01J 9/42 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
9Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication de tubes à décharge électrique, de lampes à décharge électrique ou de leurs composants; Récupération de matériaux à partir de tubes ou de lampes à décharge
42Mesures ou tests au cours de la fabrication
H01J 1/34 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
1Détails des électrodes, des moyens de commande magnétiques, des écrans, ou du montage ou de l'espacement de ces éléments, communs au moins à deux types de base de tubes ou lampes à décharge
02Electrodes principales
34Cathodes photo-émissives
CPC
H01J 1/34
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
1Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
02Main electrodes
34Photo-emissive cathodes
H01J 3/02
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
3Details of electron-optical or ion-optical arrangements or of ion traps common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
02Electron guns
H01J 3/26
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
3Details of electron-optical or ion-optical arrangements or of ion traps common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
26Arrangements for deflecting ray or beam
H01J 37/04
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
H01J 37/073
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
06Electron sources; Electron guns
073Electron guns using field emission, photo emission, or secondary emission electron sources
H01J 9/42
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
9Apparatus or processes specially adapted for the manufacture ; , installation, removal, maintenance; of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
42Measurement or testing during manufacture
Déposants
  • 株式会社Photo electron Soul PHOTO ELECTRON SOUL INC. [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 飯島 北斗 IIJIMA Hokuto
Mandataires
  • 松本 征二 MATSUMOTO Seiji
Données relatives à la priorité
2019-17331924.09.2019JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) ELECTRON GUN, ELECTRON BEAM APPLICATION DEVICE, METHOD FOR VERIFYING EMISSION AXIS OF ELECTRON BEAM EMITTED FROM PHOTOCATHODE, AND METHOD FOR ALIGNING EMISSION AXIS OF ELECTRON BEAM EMITTED FROM PHOTOCATHODE
(FR) CANON À ÉLECTRONS, DISPOSITIF D'APPLICATION DE FAISCEAU D'ÉLECTRONS, PROCÉDÉ DE VÉRIFICATION DE L'AXE D'ÉMISSION D'UN FAISCEAU D'ÉLECTRONS ÉMIS PAR UNE PHOTOCATHODE, ET PROCÉDÉ D'ALIGNEMENT DE L'AXE D'ÉMISSION D'UN FAISCEAU D'ÉLECTRONS ÉMIS PAR UNE PHOTOCATHODE
(JA) 電子銃、電子線適用装置、フォトカソードから射出された電子ビームの射出軸確認方法、および、フォトカソードから射出された電子ビームの射出軸合わせ方法
Abrégé
(EN)
The present invention addresses the problem of providing an electron gun with which it is possible to verify whether or not an electron beam emitted from a photocathode deviates from a design central axis of emission. The problem can be solved by an electron gun including a light source, a photocathode for emitting an electron beam upon receiving light from the light source, and an anode, the electron gun including an intermediate electrode disposed between the photocathode and the anode, an electron beam screening member capable of screening a portion of the electron beam, a measurement part for measuring the intensity of the electron beam screened by the electron beam screening member, and an electron beam emission direction deflection device disposed between the anode and the electron beam screening member and used for changing the position at which the electron beam passing through the anode reaches the electron beam screening member, wherein the intermediate electrode has an electron beam through-hole through which the electron beam emitted from the photocathode passes, and a drift space which can ignore the influence of an electric field formed between the photocathode and the anode by the application of voltage is formed in the electron beam through-hole.
(FR)
La présente invention aborde le problème consistant à fournir un canon à électrons au moyen duquel il est possible de vérifier si un faisceau d'électrons émis par une photocathode s'écarte d'un axe central d'émission de conception. Le problème peut être résolu par un canon à électrons comprenant une source de lumière, une photocathode permettant d'émettre un faisceau d'électrons lors de la réception de la lumière en provenance de la source de lumière, et une anode, le canon à électrons comprenant une électrode intermédiaire disposée entre la photocathode et l'anode, un élément de filtrage de faisceau d'électrons pouvant filtrer une partie du faisceau d'électrons, une partie de mesure servant à mesurer l'intensité du faisceau d'électrons filtrée par l'élément de filtrage de faisceau d'électrons, et un dispositif de déviation de direction d'émission de faisceau d'électrons disposé entre l'anode et l'élément de filtrage de faisceau d'électrons et utilisé pour modifier la position à laquelle le faisceau d'électrons passant à travers l'anode atteint l'élément de filtrage de faisceau d'électrons, l'électrode intermédiaire ayant un trou traversant de faisceau d'électrons à travers lequel passe le faisceau d'électrons émis par la photocathode, et un espace de dérive qui peut ignorer l'influence d'un champ électrique formé entre la photocathode et l'anode par l'application d'une tension est formé dans le trou traversant de faisceau d'électrons.
(JA)
フォトカソードから射出された電子ビームの、設計射出中心軸からのずれの有無を確認できる電子銃を提供することを課題とする。 光源と、 光源からの受光に応じて、電子ビームを射出するフォトカソードと、 アノードと を含む電子銃であって、 該電子銃は、 フォトカソードとアノードとの間に配置される中間電極と、 電子ビームの一部を遮蔽することができる電子ビーム遮蔽部材と、 電子ビーム遮蔽部材により遮蔽した電子ビームの強度を測定する測定部と、 アノードと電子ビーム遮蔽部材との間に配置され、アノードを通過した電子ビームが電子ビーム遮蔽部材に到達する際の位置を変化させる電子ビーム射出方向偏向装置と を含み、 中間電極は、 フォトカソードから射出された電子ビームが通過する電子ビーム通過孔を有し、 電子ビーム通過孔には、電圧の印加によりフォトカソードとアノードとの間に電界が形成された際に、電界の影響を無視できるドリフトスペースが形成されている 電子銃、により課題が解決できる。
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