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1. WO2021046301 - MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE COMMUN POUR SUBSTRATS DIFFÉRENTS

Numéro de publication WO/2021/046301
Date de publication 11.03.2021
N° de la demande internationale PCT/US2020/049332
Date du dépôt international 04.09.2020
CIB
H01L 21/683 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
683pour le maintien ou la préhension
H02N 13/00 2006.01
HÉLECTRICITÉ
02PRODUCTION, CONVERSION OU DISTRIBUTION DE L'ÉNERGIE ÉLECTRIQUE
NMACHINES ÉLECTRIQUES NON PRÉVUES AILLEURS
13Embrayages ou dispositifs de maintien utilisant l'attraction électrostatique, p.ex. utilisant l'effet Johnson-Rahbek
CPC
H01J 37/32697
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32431Constructional details of the reactor
32697Electrostatic control
H01L 21/6833
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
683for supporting or gripping
6831using electrostatic chucks
6833Details of electrostatic chucks
Déposants
  • APPLIED MATERIALS, INC. [US]/[US]
Inventeurs
  • RAMACHANDRAN, Vinodh
  • JUPUDI, Ananthkrishna
  • BABU, Sarath
Mandataires
  • WRIGHT, Jonathan B.
Données relatives à la priorité
62/896,71206.09.2019US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) COMMON ELECTROSTATIC CHUCK FOR DIFFERING SUBSTRATES
(FR) MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE COMMUN POUR SUBSTRATS DIFFÉRENTS
Abrégé
(EN)
An apparatus, methods and controllers for electrostatically chucking varied substrate materials are disclosed. Some embodiments of the disclosure provide electrostatic chucks with variable polarity and/or voltage. Some embodiments of the disclosure provide electrostatic chucks able to operate as monopolar and bipolar electrostatic chucks. Some embodiments of the disclosure provide bipolar electrostatic chucks able to compensate for substrate bias and produce approximately equal chucking force at different electrodes.
(FR)
L'invention concerne un appareil, des procédés et des dispositifs de commande pour le serrage électrostatique de matériaux de substrat variés. Certains modes de réalisation de l'invention concernent des mandrins électrostatiques à polarité et/ou tension variables. Certains modes de réalisation de l'invention concernent des mandrins électrostatiques aptes à fonctionner en tant que mandrins électrostatiques et bipolaires monopolaires. Certains modes de réalisation de l'invention concernent des mandrins électrostatiques bipolaires pouvant compenser une polarisation de substrat et produire une force de serrage approximativement égale au niveau d'électrodes différentes.
Également publié en tant que
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