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1. WO2021044353 - RÉDUCTION DE LA FORMATION DE PLASMA DANS UNE POMPE IONIQUE

Numéro de publication WO/2021/044353
Date de publication 11.03.2021
N° de la demande internationale PCT/IB2020/058239
Date du dépôt international 04.09.2020
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 06.04.2021
CIB
H01J 41/12 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
41Tubes à décharge et moyens structurellement associés pour la mesure de la pression de gaz; Tubes à décharge pour l'évacuation par diffusion d'ions
12Tubes à décharge pour l'évacuation par diffusion d'ions, p.ex. pompes ioniques, pompes ioniques à getter
CPC
H01J 41/12
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
41Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas ; or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
12Discharge tubes for evacuating by diffusion of ions, e.g. ion pumps, getter ion pumps
Déposants
  • EDWARDS VACUUM LLC [US]/[US]
Inventeurs
  • PRIVET, Evan
  • THIERLEY, Marcus Hans Robert
Données relatives à la priorité
1912826.306.09.2019GB
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) REDUCING PLASMA FORMATION IN AN ION PUMP
(FR) RÉDUCTION DE LA FORMATION DE PLASMA DANS UNE POMPE IONIQUE
Abrégé
(EN)
An ion pump controller configured to alternate between increasing and decreasing a potential difference between an anode and a cathode of an ion pump multiple times during the starting of pumping.
(FR)
Un dispositif de commande de pompe ionique est configuré pour alterner entre l'augmentation et la diminution d'une différence de potentiel entre une anode et une cathode d'une pompe ionique plusieurs fois pendant le démarrage du pompage.
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