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1. WO2021044121 - GUIDE D'ONDES ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN OUTIL DE RÉSEAU MAÎTRE DE GUIDE D'ONDES

Numéro de publication WO/2021/044121
Date de publication 11.03.2021
N° de la demande internationale PCT/GB2020/052003
Date du dépôt international 20.08.2020
CIB
F21V 8/00 2006.01
FMÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
21ÉCLAIRAGE
VCARACTÉRISTIQUES FONCTIONNELLES OU DÉTAILS FONCTIONNELS DES DISPOSITIFS OU SYSTÈMES D'ÉCLAIRAGE; COMBINAISONS STRUCTURALES DE DISPOSITIFS D'ÉCLAIRAGE AVEC D'AUTRES OBJETS, NON PRÉVUES AILLEURS
8Utilisation de guides de lumière, p.ex. dispositifs à fibres optiques, dans les dispositifs ou systèmes d'éclairage
B29D 11/00 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
29TRAVAIL DES MATIÈRES PLASTIQUES; TRAVAIL DES SUBSTANCES À L'ÉTAT PLASTIQUE EN GÉNÉRAL
DFABRICATION D'OBJETS PARTICULIERS, À PARTIR DE MATIÈRES PLASTIQUES OU DE SUBSTANCES À L'ÉTAT PLASTIQUE
11Fabrication d'éléments optiques, p.ex. lentilles ou prismes
G02B 5/18 2006.01
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
5Eléments optiques autres que les lentilles
18Grilles de diffraction
G02B 27/01 2006.01
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
27Systèmes ou appareils optiques non prévus dans aucun des groupes G02B1/-G02B26/117
01Dispositifs d'affichage "tête haute"
G03F 7/00 2006.01
GPHYSIQUE
03PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
FPRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
CPC
B29D 11/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
DPRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
11Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
B29D 11/0048
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
DPRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
11Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
00009Production of simple or compound lenses
0048Moulds for lenses
G02B 27/0081
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
27Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
0081with means for altering, e.g. enlarging, the entrance or exit pupil
G02B 27/01
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
27Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
01Head-up displays
G02B 27/4272
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
27Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
42Diffraction optics ; , i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect
4272having plural diffractive elements positioned sequentially along the optical path
G02B 5/1857
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
5Optical elements other than lenses
18Diffraction gratings
1847Manufacturing methods
1857using exposure or etching means, e.g. holography, photolithography, exposure to electron or ion beams
Déposants
  • BAE SYSTEMS PLC [GB]/[GB]
Inventeurs
  • MASON, Stephen
Mandataires
  • BAE SYSTEMS PLC, GROUP IP DEPT
Données relatives à la priorité
1912820.606.09.2019GB
19275099.017.10.2019EP
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) WAVEGUIDE AND METHOD FOR FABRICATING A WAVEGUIDE MASTER GRATING TOOL
(FR) GUIDE D'ONDES ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN OUTIL DE RÉSEAU MAÎTRE DE GUIDE D'ONDES
Abrégé
(EN)
There is provided a method for fabricating a waveguide master grating imprint tool. The method comprises: coating a substrate with at least one photoresist layer; selectively exposing a first diffraction grating master profile onto a first area of the at least one photoresist layer; selectively exposing a second diffraction grating master profile onto a second area of the at least one photoresist layer; and processing the substrate to form the first diffraction grating master profile and the second diffraction grating master profile. Each of the first diffraction grating profile and the second diffraction grating profile comprises an edge between the substrate and the respective grating profile that is substantially perpendicular to the substrate surface and each of the edges is substantially the same height as a maximum depth of the first diffraction grating master profile and the second diffraction grating master profile
(FR)
La présente invention concerne un procédé de fabrication d'un outil d'empreinte de réseau maître de guide d'ondes. Le procédé comprend : le revêtement d'un substrat avec au moins une couche de résine photosensible ; l'exposition sélective d'un premier profil maître de réseau de diffraction sur une première zone de l'au moins une couche de résine photosensible ; l'exposition sélective d'un second profil maître de réseau de diffraction sur une seconde zone de l'au moins une couche de résine photosensible ; et le traitement du substrat pour former le premier profil maître de réseau de diffraction et le second profil maître de réseau de diffraction. Chacun du premier profil de réseau de diffraction et du second profil de réseau de diffraction comprend un bord entre le substrat et le profil de réseau respectif qui est sensiblement perpendiculaire à la surface de substrat et chacun des bords présente sensiblement la même hauteur qu'une profondeur maximale du premier profil maître de réseau de diffraction et du second profil maître de réseau de diffraction.
Également publié en tant que
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