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1. WO2020246245 - DÉFLECTEUR DE LUMIÈRE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION

Numéro de publication WO/2020/246245
Date de publication 10.12.2020
N° de la demande internationale PCT/JP2020/019976
Date du dépôt international 20.05.2020
CIB
G02B 26/10 2006.1
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
26Dispositifs ou systèmes optiques utilisant des éléments optiques mobiles ou déformables pour commander l'intensité, la couleur, la phase, la polarisation ou la direction de la lumière, p.ex. commutation, ouverture de porte ou modulation
08pour commander la direction de la lumière
10Systèmes de balayage
B81B 3/00 2006.1
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
BDISPOSITIFS OU SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE, p.ex. DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES
3Dispositifs comportant des éléments flexibles ou déformables, p.ex. comportant des membranes ou des lamelles élastiques
B81C 1/00 2006.1
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
CPROCÉDÉS OU APPAREILS SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À LA FABRICATION OU AU TRAITEMENT DE DISPOSITIFS OU DE SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE
1Fabrication ou traitement de dispositifs ou de systèmes dans ou sur un substrat
G02B 26/08 2006.1
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
26Dispositifs ou systèmes optiques utilisant des éléments optiques mobiles ou déformables pour commander l'intensité, la couleur, la phase, la polarisation ou la direction de la lumière, p.ex. commutation, ouverture de porte ou modulation
08pour commander la direction de la lumière
CPC
B81B 3/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
3Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
B81C 1/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
1Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
G02B 26/0858
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08for controlling the direction of light
0816by means of one or more reflecting elements
0833the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
0858the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means
G02B 26/105
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08for controlling the direction of light
10Scanning systems
105with one or more pivoting mirrors or galvano-mirrors
H02N 2/028
HELECTRICITY
02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
2Electric machines in general using piezo-electric effect, electrostriction or magnetostriction
02producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; ; Linear motors
028along multiple or arbitrary translation directions, e.g. XYZ stages
H02N 2/22
HELECTRICITY
02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
2Electric machines in general using piezo-electric effect, electrostriction or magnetostriction
22Methods relating to manufacturing, e.g. assembling, calibration
Déposants
  • スタンレー電気株式会社 STANLEY ELECTRIC CO., LTD. [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 秋山 慶太 AKIYAMA Keita
Mandataires
  • 特許業務法人創成国際特許事務所 SATO & ASSOCIATES
Données relatives à la priorité
2019-10611106.06.2019JP
Langue de publication Japonais (ja)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) LIGHT DEFLECTOR AND MANUFACTURING METHOD
(FR) DÉFLECTEUR DE LUMIÈRE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) 光偏向器及び製造方法
Abrégé
(EN) Provided is a light deflector that can suppress cleavage of a radius provided at a joint of a torsion bar 12. The light deflector 10 includes a mirror section 11, a pair of torsion bars 12, an inside piezoelectric actuator 13, and a movable frame section 14. The crystal orientation in the axial direction of the torsion bar 12 is <100>. Radii 31ab, 31bb are formed at joint edges of the torsion bars 12 and the inside piezoelectric actuator 13, so as to each have a curved surface that is oriented in <110> and recessed inward. The waviness associated with a roughness curve derived from the curved surfaces is set to be within 600 nm.
(FR) L'invention concerne un déflecteur de lumière qui peut supprimer le clivage d'un rayon fourni au niveau d'une jonction d'une barre de torsion 12. Le déflecteur de lumière 10 comprend une section de miroir 11, une paire de barres de torsion 12, un actionneur piézoélectrique interne 13 et une section de cadre mobile 14. L'orientation cristalline dans la direction axiale de la barre de torsion 12 est <100>. Des rayons 31ab, 31bb sont formés au niveau de bords de jonction des barres de torsion 12 et de l'actionneur piézoélectrique interne 13, de façon à avoir chacun une surface incurvée qui est orientée en <110> et en retrait vers l'intérieur. L'ondulation associée à une courbe de rugosité dérivée des surfaces incurvées est définie comme étant dans les limites de 600 nm.
(JA) トーションバー12の結合部に設けられたR部の劈開を抑制することができる光偏向器を提供する。光偏向器10は、ミラー部11、1対のトーションバー12、内側圧電アクチュエータ13及び可動枠部14を備える。トーションバー12の軸方向を結晶方位を<100>としている。トーションバー12と内側圧電アクチュエータ13との結合縁部には、R部31ab,31bbが、<110>に向けられて、かつ内側にへこむ湾曲面で形成されている。該湾曲面から導出される粗さ曲線についてのうねり量は、600nm以内にされる
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