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1. WO2020195565 - CIBLE EN ALLIAGE V

Numéro de publication WO/2020/195565
Date de publication 01.10.2020
N° de la demande internationale PCT/JP2020/008600
Date du dépôt international 02.03.2020
CIB
C23C 14/24 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
23REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
CREVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
22caractérisé par le procédé de revêtement
24Evaporation sous vide
B22F 1/00 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
22FONDERIE; MÉTALLURGIE DES POUDRES MÉTALLIQUES
FTRAVAIL DES POUDRES MÉTALLIQUES; FABRICATION D'OBJETS À PARTIR DE POUDRES MÉTALLIQUES; FABRICATION DE POUDRES MÉTALLIQUES; APPAREILS OU DISPOSITIFS SPÉCIALEMENT ADAPTÉS AUX POUDRES MÉTALLIQUES
1Traitement particulier des poudres métalliques, p.ex. en vue de faciliter leur mise en œuvre, d'améliorer leurs propriétés; Poudres métalliques en soi, p.ex. mélanges de particules de compositions différentes
C22C 1/04 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
22MÉTALLURGIE; ALLIAGES FERREUX OU NON FERREUX; TRAITEMENT DES ALLIAGES OU DES MÉTAUX NON FERREUX
CALLIAGES
1Fabrication des alliages non ferreux
04par métallurgie des poudres
C22C 27/02 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
22MÉTALLURGIE; ALLIAGES FERREUX OU NON FERREUX; TRAITEMENT DES ALLIAGES OU DES MÉTAUX NON FERREUX
CALLIAGES
27Alliages à base de rhénium ou d'un métal réfractaire non mentionné dans les groupes C22C14/ ou C22C16/144
02Alliages à base de vanadium, niobium ou tantale
C22C 27/04 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
22MÉTALLURGIE; ALLIAGES FERREUX OU NON FERREUX; TRAITEMENT DES ALLIAGES OU DES MÉTAUX NON FERREUX
CALLIAGES
27Alliages à base de rhénium ou d'un métal réfractaire non mentionné dans les groupes C22C14/ ou C22C16/144
04Alliages à base de tungstène ou de molybdène
Déposants
  • 日立金属株式会社 HITACHI METALS,LTD. [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 十亀 宏明 SOGAME Hiroaki
  • 福岡 淳 FUKUOKA Jun
Données relatives à la priorité
2019-05753126.03.2019JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) V ALLOY TARGET
(FR) CIBLE EN ALLIAGE V
(JA) V合金ターゲット
Abrégé
(EN)
Provided is a novel V alloy target in which, during machining of the target, unevenness in the target surface can be reduced, abnormal electrical discharge during film formation can be reduced, and a reduction in droplet adhesion on a material to be treated can also be achieved. This V alloy target is formed of V and Mo, has an average Vickers hardness value of 250-350 HV on the erosion surface thereof, and has a variation in Vickers hardness, measured at five measurement points, of no more than 20%, the Vickers hardness preferably being in the range of 270-340 HV and the V alloy target more preferably containing 10-50 at% of Mo and comprising V and unavoidable impurities as the remainder thereof.
(FR)
L'invention concerne une nouvelle cible en alliage V dans laquelle, pendant l'usinage de la cible, une irrégularité de la surface de cible peut être réduite, une décharge électrique anormale pendant la formation de film peut être réduite, et une réduction de l'adhérence des gouttelettes sur un matériau à traiter peut également être obtenue. Cette cible en alliage V est composée de V et de Mo, a une valeur moyenne de dureté Vickers de 250 à 350 HV sur sa surface d'érosion, et a une variation de dureté Vickers, mesurée en cinq points de mesure, ne dépassant pas les 20 %, la dureté Vickers étant de préférence comprise dans la plage de 270 à 340 HV et la cible en alliage V contenant plus préférablement de 10 à 50 % atomique de Mo et le reste étant composé de V et d’impuretés inévitables.
(JA)
ターゲットの機械加工において、ターゲット表面における凹凸の発生が抑制でき、成膜時の異常放電の発生を抑制するとともに、被処理材へのドロップレットの付着抑制も同時に達成できる、新規なV合金ターゲットを提供する。 VおよびMoで構成され、エロージョン面におけるビッカース硬さの平均値が250~350HVであり、5点の測定点で測定を行なったビッカース硬さのばらつきが20%以下であるV合金ターゲットであり、ビッカース硬さは270~340HVの範囲にあることが好ましく、Moを10~50原子%含有し、残部がVおよび不可避的不純物からなることがより好ましい。
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