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1. WO2020167617 - MAÎTRE CONTINU DE GRANDE SURFACE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE TAMPON D'IMPRESSION

Numéro de publication WO/2020/167617
Date de publication 20.08.2020
N° de la demande internationale PCT/US2020/017385
Date du dépôt international 09.02.2020
CIB
G03F 7/00 2006.1
GPHYSIQUE
03PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
FPRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
B29C 59/02 2006.1
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
29TRAVAIL DES MATIÈRES PLASTIQUES; TRAVAIL DES SUBSTANCES À L'ÉTAT PLASTIQUE EN GÉNÉRAL
CFAÇONNAGE OU ASSEMBLAGE DES MATIÈRES PLASTIQUES; FAÇONNAGE DES MATIÈRES À L'ÉTAT PLASTIQUE NON PRÉVU AILLEURS; POST-TRAITEMENT DES PRODUITS FAÇONNÉS, p.ex. RÉPARATION
59Façonnage de surface, p.ex. gaufrage; Appareils à cet effet
02par des moyens mécaniques, p.ex. par pressage
B82Y 10/00 2011.1
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
82NANOTECHNOLOGIE
YUTILISATION OU APPLICATIONS SPÉCIFIQUES DES NANOSTRUCTURES; MESURE OU ANALYSE DES NANOSTRUCTURES; FABRICATION OU TRAITEMENT DES NANOSTRUCTURES
10Nanotechnologie pour le traitement, le stockage ou la transmission d’informations, p.ex. calcul quantique ou logique à un électron
B82Y 40/00 2011.1
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
82NANOTECHNOLOGIE
YUTILISATION OU APPLICATIONS SPÉCIFIQUES DES NANOSTRUCTURES; MESURE OU ANALYSE DES NANOSTRUCTURES; FABRICATION OU TRAITEMENT DES NANOSTRUCTURES
40Fabrication ou traitement des nanostructures
CPC
B82Y 40/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
82NANOTECHNOLOGY
YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
40Manufacture or treatment of nanostructures
G03F 7/0002
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
0002Lithographic processes using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping
Déposants
  • APPLIED MATERIALS, INC. [US]/[US]
Inventeurs
  • THOTHADRI, Manivannan
  • CUNNINGHAM, Kevin Laughton
  • CHADHA, Arvinder
Mandataires
  • VER STEEG, Steven H.
  • DOUGHERTY, Chad M.
Données relatives à la priorité
62/804,01911.02.2019US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) LARGE AREA SEAMLESS MASTER AND IMPRINT STAMP MANUFACTURING METHOD
(FR) MAÎTRE CONTINU DE GRANDE SURFACE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE TAMPON D'IMPRESSION
Abrégé
(EN)
Embodiments of the present disclosure generally relate to pattern replication, imprint lithography, and more particularly to methods and apparatuses for creating a large area imprint without a seam. Methods disclosed herein generally include filling seams between pairs of masters with a filler material such that the seams are flush with a surface of the masters having a plurality of features disposed thereon.
(FR)
Des modes de réalisation de la présente invention concernent généralement la reproduction de motifs, la lithographie par impression, et plus particulièrement des procédés et des appareils servant à créer une empreinte continue à grande surface. Les procédés ici décrits comprennent de manière générale le remplissage de joints entre des paires de maîtres avec un matériau de remplissage de telle sorte que les joints sont alignés avec une surface des maîtres sur laquelle sont disposées une pluralité de caractéristiques.
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