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1. WO2020163567 - MESURE D'ÉPAISSEUR DE SUBSTRAT PAR MÉTROLOGIE DE COULEUR

Numéro de publication WO/2020/163567
Date de publication 13.08.2020
N° de la demande internationale PCT/US2020/016958
Date du dépôt international 06.02.2020
CIB
G01B 11/06 2006.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
02pour mesurer la longueur, la largeur ou l'épaisseur
06pour mesurer l'épaisseur
H01L 21/66 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
66Test ou mesure durant la fabrication ou le traitement
G06T 7/60 2006.1
GPHYSIQUE
06CALCUL; COMPTAGE
TTRAITEMENT OU GÉNÉRATION DE DONNÉES D'IMAGE, EN GÉNÉRAL
7Analyse d'image
60Analyse des attributs géométriques
G06F 17/10 2006.1
GPHYSIQUE
06CALCUL; COMPTAGE
FTRAITEMENT ÉLECTRIQUE DE DONNÉES NUMÉRIQUES
17Équipement ou méthodes de traitement de données ou de calcul numérique, spécialement adaptés à des fonctions spécifiques
10Opérations mathématiques complexes
CPC
G01B 11/06
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
02for measuring length, width or thickness
06for measuring thickness ; ; e.g. of sheet material
G01B 11/0625
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
02for measuring length, width or thickness
06for measuring thickness ; ; e.g. of sheet material
0616of coating
0625with measurement of absorption or reflection
G01B 2210/56
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
2210Aspects not specifically covered by any group under G01B, e.g. of wheel alignment, caliper-like sensors
56Measuring geometric parameters of semiconductor structures, e.g. profile, critical dimensions or trench depth
G06T 2207/10024
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
2207Indexing scheme for image analysis or image enhancement
10Image acquisition modality
10024Color image
G06T 2207/20208
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
2207Indexing scheme for image analysis or image enhancement
20Special algorithmic details
20172Image enhancement details
20208High dynamic range [HDR] image processing
G06T 2207/30148
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
2207Indexing scheme for image analysis or image enhancement
30Subject of image; Context of image processing
30108Industrial image inspection
30148Semiconductor; IC; Wafer
Déposants
  • APPLIED MATERIALS, INC. [US]/[US]
Inventeurs
  • MOTAMEDI, Nojan
  • BENVEGNU, Dominic J.
  • SWEDEK, Boguslaw A.
  • JOSEFOWICZ, Martin A.
Mandataires
  • GOREN, David J.
Données relatives à la priorité
16/414,70916.05.2019US
62/802,66207.02.2019US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) THICKNESS MEASUREMENT OF SUBSTRATE USING COLOR METROLOGY
(FR) MESURE D'ÉPAISSEUR DE SUBSTRAT PAR MÉTROLOGIE DE COULEUR
Abrégé
(EN)
A layer thickness measurement system includes a support to hold a substrate, an optical sensor to capture a color image of at least a portion of the substrate, and a controller. The controller is configured to receive the color image from the optical sensor, store a function that provides a value representative of a thickness as a function of position along a predetermined path in a coordinate space of at least two dimensions including a first color channel and a second color channel, for a pixel of the color image determine a coordinate of the pixel in the coordinate space from color data in the color image, determine a position of a point on the predetermined path that is closest to the coordinate, and calculate a value representative of a thickness from the function and the position of the point on the predetermined path.
(FR)
Un système de mesure d'épaisseur de couche comprend un support pour maintenir un substrat, un capteur optique pour capturer une image en couleurs d'au moins une partie du substrat, et un dispositif de commande. Un dispositif de commande est configuré pour recevoir l'image en couleurs du capteur optique, stocker une fonction qui fournit une valeur représentative d'une épaisseur en tant que fonction d'une position le long d'un trajet prédéterminé dans un espace de coordonnées à au moins deux dimensions comprenant un premier canal de couleur et un second canal de couleur, pour un pixel de l'image en couleurs déterminer une coordonnée du pixel dans l'espace de coordonnées à partir de données de couleur dans l'image en couleurs, déterminer une position d'un point sur le trajet prédéterminé qui est le plus près de la coordonnée, et calculer une valeur représentative d'une épaisseur à partir de la fonction et de la position du point sur le trajet prédéterminé.
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