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1. WO2020163506 - COMPOSITIONS D'ÉLIMINATION D'OXYDE DE CÉRIUM

Numéro de publication WO/2020/163506
Date de publication 13.08.2020
N° de la demande internationale PCT/US2020/016852
Date du dépôt international 05.02.2020
CIB
C11D 1/90 2006.1
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
11HUILES, GRAISSES, MATIÈRES GRASSES OU CIRES ANIMALES OU VÉGÉTALES; LEURS ACIDES GRAS; DÉTERGENTS; BOUGIES
DCOMPOSITIONS DÉTERGENTES; EMPLOI D'UNE SUBSTANCE, UTILISÉE SEULE, COMME DÉTERGENT; SAVON OU FABRICATION DU SAVON; SAVONS DE RÉSINE; RÉCUPÉRATION DE LA GLYCÉRINE
1Compositions détergentes formées essentiellement de composés tensio-actifs; Emploi de ces composés comme détergents
88Ampholytes; Composés électriquement neutres 
90Bétaïnes
C11D 3/00 2006.1
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
11HUILES, GRAISSES, MATIÈRES GRASSES OU CIRES ANIMALES OU VÉGÉTALES; LEURS ACIDES GRAS; DÉTERGENTS; BOUGIES
DCOMPOSITIONS DÉTERGENTES; EMPLOI D'UNE SUBSTANCE, UTILISÉE SEULE, COMME DÉTERGENT; SAVON OU FABRICATION DU SAVON; SAVONS DE RÉSINE; RÉCUPÉRATION DE LA GLYCÉRINE
3Autres composés entrant dans les compositions détergentes couvertes par le groupe C11D1/110
C11D 3/33 2006.1
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
11HUILES, GRAISSES, MATIÈRES GRASSES OU CIRES ANIMALES OU VÉGÉTALES; LEURS ACIDES GRAS; DÉTERGENTS; BOUGIES
DCOMPOSITIONS DÉTERGENTES; EMPLOI D'UNE SUBSTANCE, UTILISÉE SEULE, COMME DÉTERGENT; SAVON OU FABRICATION DU SAVON; SAVONS DE RÉSINE; RÉCUPÉRATION DE LA GLYCÉRINE
3Autres composés entrant dans les compositions détergentes couvertes par le groupe C11D1/110
16Composés organiques
26contenant de l'azote
33Acides aminocarboxyliques
C11D 3/20 2006.1
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
11HUILES, GRAISSES, MATIÈRES GRASSES OU CIRES ANIMALES OU VÉGÉTALES; LEURS ACIDES GRAS; DÉTERGENTS; BOUGIES
DCOMPOSITIONS DÉTERGENTES; EMPLOI D'UNE SUBSTANCE, UTILISÉE SEULE, COMME DÉTERGENT; SAVON OU FABRICATION DU SAVON; SAVONS DE RÉSINE; RÉCUPÉRATION DE LA GLYCÉRINE
3Autres composés entrant dans les compositions détergentes couvertes par le groupe C11D1/110
16Composés organiques
20contenant de l'oxygène
C11D 3/37 2006.1
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
11HUILES, GRAISSES, MATIÈRES GRASSES OU CIRES ANIMALES OU VÉGÉTALES; LEURS ACIDES GRAS; DÉTERGENTS; BOUGIES
DCOMPOSITIONS DÉTERGENTES; EMPLOI D'UNE SUBSTANCE, UTILISÉE SEULE, COMME DÉTERGENT; SAVON OU FABRICATION DU SAVON; SAVONS DE RÉSINE; RÉCUPÉRATION DE LA GLYCÉRINE
3Autres composés entrant dans les compositions détergentes couvertes par le groupe C11D1/110
16Composés organiques
37Polymères
C11D 3/43 2006.1
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
11HUILES, GRAISSES, MATIÈRES GRASSES OU CIRES ANIMALES OU VÉGÉTALES; LEURS ACIDES GRAS; DÉTERGENTS; BOUGIES
DCOMPOSITIONS DÉTERGENTES; EMPLOI D'UNE SUBSTANCE, UTILISÉE SEULE, COMME DÉTERGENT; SAVON OU FABRICATION DU SAVON; SAVONS DE RÉSINE; RÉCUPÉRATION DE LA GLYCÉRINE
3Autres composés entrant dans les compositions détergentes couvertes par le groupe C11D1/110
43Solvants
CPC
C11D 1/90
CCHEMISTRY; METALLURGY
11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
DDETERGENT COMPOSITIONS
1Detergent compositions based essentially on surface-active compounds; Use of these compounds as a detergent
88Ampholytes; Electroneutral compounds
90Betaines
C11D 11/0047
CCHEMISTRY; METALLURGY
11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
DDETERGENT COMPOSITIONS
11Special methods for preparing compositions containing mixtures of detergents
0005Special cleaning and washing methods
0011characterised by the objects to be cleaned
0023"Hard" surfaces
0047Electronic devices, e.g. PCBs, semiconductors
C11D 3/0042
CCHEMISTRY; METALLURGY
11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
DDETERGENT COMPOSITIONS
3Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
0005Other compounding ingredients characterised by their effect
0042Reducing agents
C11D 3/042
CCHEMISTRY; METALLURGY
11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
DDETERGENT COMPOSITIONS
3Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
02Inorganic compounds ; ; Elemental compounds
04Water-soluble compounds
042Acids
C11D 3/044
CCHEMISTRY; METALLURGY
11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
DDETERGENT COMPOSITIONS
3Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
02Inorganic compounds ; ; Elemental compounds
04Water-soluble compounds
044Hydroxides, bases
C11D 3/2072
CCHEMISTRY; METALLURGY
11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
DDETERGENT COMPOSITIONS
3Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
16Organic compounds
20containing oxygen
2072Aldehydes-ketones
Déposants
  • ENTEGRIS, INC. [US]/[US]
Inventeurs
  • DAS, Atanu K.
  • WHITE, Michael
  • WHITE, Daniela
Mandataires
  • AMICI, Robert M.
Données relatives à la priorité
62/802,98608.02.2019US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) CERIA REMOVAL COMPOSITIONS
(FR) COMPOSITIONS D'ÉLIMINATION D'OXYDE DE CÉRIUM
Abrégé
(EN)
The present invention generally relates to a removal composition and process, particularly useful for cleaning ceria particles and CMP contaminants from microelectronic devices having said particles and CMP contaminants thereon, in particular microelectronic devices having PETEOS, Silicon Nitride, and Poly-Si substrates. In one aspect, the invention provides treatment of the microelectronic substrate having ceria particles thereon utilizing complexing agents free of Sulfur and Phosphorous atoms.
(FR)
La présente invention concerne de manière générale une composition et un procédé d'élimination, particulièrement utiles pour nettoyer des particules d'oxyde de cérium et des contaminants CMP de dispositifs microélectroniques ayant lesdites particules et des contaminants CMP sur ceux-ci, en particulier des dispositifs microélectroniques ayant des substrats de PETEOS, de nitrure de silicium et de Poly-Si. Selon un aspect, l'invention concerne le traitement du substrat microélectronique ayant des particules d'oxyde de cérium sur celui-ci à l'aide d'agents complexants exempts de soufre et d'atomes de phosphore.
Également publié en tant que
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