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1. WO2020162653 - PROCÉDÉ DE COMMANDE DE FRÉQUENCE PILOTE D'UN GÉNÉRATEUR RF À FRÉQUENCE VARIABLE PULSÉE

Numéro de publication WO/2020/162653
Date de publication 13.08.2020
N° de la demande internationale PCT/KR2019/007802
Date du dépôt international 27.06.2019
CIB
H01J 37/32 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
32Tubes à décharge en atmosphère gazeuse
H03H 7/38 2006.1
HÉLECTRICITÉ
03CIRCUITS ÉLECTRONIQUES FONDAMENTAUX
HRÉSEAUX D'IMPÉDANCES, p.ex. CIRCUITS RÉSONNANTS; RÉSONATEURS
7Réseaux à plusieurs accès comportant comme composants uniquement des éléments électriques passifs
38Réseaux d'adaptation d'impédance
CPC
H01J 37/32
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
H03H 7/38
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
7Multiple-port networks comprising only passive electrical elements as network components
38Impedance-matching networks
Déposants
  • 엠케이에스코리아 유한회사 MKS KOREA LTD. [KR]/[KR]
Inventeurs
  • 이창희 LEE, Changhee
  • 김하남 KIM, Hanam
  • 김종민 KIM, Jongmin
  • 허진 HUH, Jin
  • 룽카싱 LEUNG, Ka Sing
Mandataires
  • 특허법인 누리 NURY PATENT LAW FIRM
Données relatives à la priorité
10-2019-001459407.02.2019KR
Langue de publication coréen (KO)
Langue de dépôt coréen (KO)
États désignés
Titre
(EN) METHOD FOR CONTROLLING DRIVING FREQUENCY OF PULSED VARIABLE FREQUENCY RF GENERATOR
(FR) PROCÉDÉ DE COMMANDE DE FRÉQUENCE PILOTE D'UN GÉNÉRATEUR RF À FRÉQUENCE VARIABLE PULSÉE
(KO) 펄스형 가변 주파수 RF 발생기의 구동 주파수 제어 방법
Abrégé
(EN)
A frequency tuning impedance matching method according to an embodiment of the present invention analyzes a start driving frequency set by a user and an RF output signal to thereby change a driving frequency. Specifically, the next frequency may be predicted by using a susceptance which is the imaginary part of an admittance measured in an nth pulse. Accordingly, impedance matching may be performed at high speed or may reach an optimal frequency at high speed.
(FR)
Selon un mode de réalisation de la présente invention, un procédé d'adaptation d'impédance d'accord de fréquence analyse une fréquence pilote de départ définie par un utilisateur et un signal de sortie RF moyennant quoi une fréquence pilote est modifiée. Plus particulièrement, la fréquence suivante peut être prédite à l'aide d'une susceptance qui est la partie imaginaire d'une admittance mesurée dans une n-ième impulsion. Par conséquent, une adaptation d'impédance peut être effectuée à grande vitesse ou atteindre une fréquence optimale à grande vitesse.
(KO)
본 발명의 일 실시예에 따른 주파수 튜닝 임피던스 매칭 방법은 사용자가 설정한 시작 구동 주파수(Start Driving Frequency)와 RF 출력신호를 분석하여 구동 주파수를 변경한다. 구체적으로, n 번째 펄스 내에서 측정된 어디미턴스의 허수부인 서셉턴스를 이용하여 다음 주파수를 예측할 수 있다. 이에 따라, 임피던스 매칭이 고속으로 수행되거나, 고속으로 최적 주파수에 도달할 수 있다.
Également publié en tant que
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