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1. WO2020161795 - DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES

Numéro de publication WO/2020/161795
Date de publication 13.08.2020
N° de la demande internationale PCT/JP2019/004023
Date du dépôt international 05.02.2019
CIB
H01J 37/248 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02Détails
248Composants associés à l'alimentation haute tension
H01J 1/13 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
1Détails des électrodes, des moyens de commande magnétiques, des écrans, ou du montage ou de l'espacement de ces éléments, communs au moins à deux types de base de tubes ou lampes à décharge
02Electrodes principales
13Cathodes thermo-ioniques solides
H01J 37/06 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02Détails
04Dispositions des électrodes et organes associés en vue de produire ou de commander la décharge, p.ex. dispositif électronoptique, dispositif ionoptique
06Sources d'électrons; Canons à électrons
CPC
H01J 1/13
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
1Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
02Main electrodes
13Solid thermionic cathodes
H01J 37/06
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
06Electron sources; Electron guns
H01J 37/248
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
248Components associated with high voltage supply
Déposants
  • 株式会社日立ハイテク HITACHI HIGH-TECH CORPORATION [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 須賀 亜之瑠 SUGA Anoru
  • 藪 修平 YABU Shuhei
  • 石澤 輝 ISHIZAWA Kazuki
  • 波田野 道夫 HATANO Michio
Mandataires
  • 特許業務法人平木国際特許事務所 HIRAKI & ASSOCIATES
Données relatives à la priorité
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線装置
Abrégé
(EN)
The purpose of the present invention is to provide a charged particle beam device that can predict the lifespan of a filament of a charged particle beam source with an inexpensive and simple circuit configuration. The charged particle beam device according to the present invention comprises a booster circuit that boosts the voltage supplied to the filament, and predicts the residual lifespan of the filament using a measured value of a current flowing to a low voltage side of the booster circuit (see FIG. 3).
(FR)
Dispositif à faisceau de particules chargées qui peut prédire la durée de vie d'un filament d'une source de faisceau de particules chargées avec une configuration de circuit simple et peu coûteuse. Le dispositif à faisceau de particules chargées selon la présente invention comprend un circuit amplificateur qui amplifie la tension apportée au filament, et prédit la durée de vie résiduelle du filament à l'aide d'une valeur mesurée d'un courant circulant vers un côté basse tension du circuit survolteur (voir figure 3).
(JA)
本発明は、安価かつ簡易な回路構成により荷電粒子線源のフィラメントの寿命を予測することができる荷電粒子線装置を提供することを目的とする。本発明に係る荷電粒子線装置は、フィラメントに対して供給する電圧を昇圧する昇圧回路を備え、昇圧回路の低圧側に流れる電流の測定値を用いて、フィラメントの残寿命を予測する(図3参照)。
Également publié en tant que
JP2020570238
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