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1. WO2020160649 - CAPTEUR OPTIQUE À PROFIL BAS

Numéro de publication WO/2020/160649
Date de publication 13.08.2020
N° de la demande internationale PCT/CA2020/050131
Date du dépôt international 04.02.2020
CIB
G01S 17/88 2006.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
SDÉTERMINATION DE LA DIRECTION PAR RADIO; RADIO-NAVIGATION; DÉTERMINATION DE LA DISTANCE OU DE LA VITESSE EN UTILISANT DES ONDES RADIO; LOCALISATION OU DÉTECTION DE LA PRÉSENCE EN UTILISANT LA RÉFLEXION OU LA RERADIATION D'ONDES RADIO; DISPOSITIONS ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES
17Systèmes utilisant la réflexion ou la reradiation d'ondes électromagnétiques autres que les ondes radio, p.ex. systèmes lidar
88Systèmes lidar, spécialement adaptés pour des applications spécifiques
G01S 17/04 2020.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
SDÉTERMINATION DE LA DIRECTION PAR RADIO; RADIO-NAVIGATION; DÉTERMINATION DE LA DISTANCE OU DE LA VITESSE EN UTILISANT DES ONDES RADIO; LOCALISATION OU DÉTECTION DE LA PRÉSENCE EN UTILISANT LA RÉFLEXION OU LA RERADIATION D'ONDES RADIO; DISPOSITIONS ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES
17Systèmes utilisant la réflexion ou la reradiation d'ondes électromagnétiques autres que les ondes radio, p.ex. systèmes lidar
02Systèmes utilisant la réflexion d'ondes électromagnétiques autres que les ondes radio
04Systèmes de détermination de la présence d'une cible
G01S 17/08 2006.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
SDÉTERMINATION DE LA DIRECTION PAR RADIO; RADIO-NAVIGATION; DÉTERMINATION DE LA DISTANCE OU DE LA VITESSE EN UTILISANT DES ONDES RADIO; LOCALISATION OU DÉTECTION DE LA PRÉSENCE EN UTILISANT LA RÉFLEXION OU LA RERADIATION D'ONDES RADIO; DISPOSITIONS ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES
17Systèmes utilisant la réflexion ou la reradiation d'ondes électromagnétiques autres que les ondes radio, p.ex. systèmes lidar
02Systèmes utilisant la réflexion d'ondes électromagnétiques autres que les ondes radio
06Systèmes déterminant les données relatives à la position d'une cible
08pour mesurer la distance uniquement
G01S 7/481 2006.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
SDÉTERMINATION DE LA DIRECTION PAR RADIO; RADIO-NAVIGATION; DÉTERMINATION DE LA DISTANCE OU DE LA VITESSE EN UTILISANT DES ONDES RADIO; LOCALISATION OU DÉTECTION DE LA PRÉSENCE EN UTILISANT LA RÉFLEXION OU LA RERADIATION D'ONDES RADIO; DISPOSITIONS ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES
7Détails des systèmes correspondant aux groupes G01S13/, G01S15/, G01S17/135
48de systèmes selon le groupe G01S17/56
481Caractéristiques de structure, p.ex. agencements d'éléments optiques
H01L 21/66 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
66Test ou mesure durant la fabrication ou le traitement
CPC
G01S 17/04
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
17Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
02Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
04Systems determining the presence of a target
G01S 17/08
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
17Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
02Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
06Systems determining position data of a target
08for measuring distance only
G01S 17/88
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
17Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
88Lidar systems specially adapted for specific applications
G01S 7/481
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
7Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
48of systems according to group G01S17/00
481Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
Déposants
  • PHOTON CONTROL INC. [CA]/[CA]
Inventeurs
  • SYVENKYY, Yuriy
Mandataires
  • SLANEY, Brett, J.
  • BEGLEITER RODIN, Leah
  • CHARI, Santosh K.
  • PRENOL, Anthony
  • SLANEY, Brett J.
Données relatives à la priorité
62/800,59504.02.2019US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) LOW PROFILE OPTICAL SENSOR
(FR) CAPTEUR OPTIQUE À PROFIL BAS
Abrégé
(EN)
The invention pertains to a low-profile, optical sensor to measure distance having a light emitter and a light sensor. More particularly, the optical sensor includes a focusing film having a series of blinds to filter diffused reflected light without the need for a focusing lens. The optical sensors can be used in a variety of applications, including using two sensors to measure thickness of an object or the use of 3 sensors to determine the angle between two surfaces. The invention further pertains to a calibration sensor and method of calibration using 3 or more optical sensors to level a showerhead and a chuck in a semi-conductor deposition apparatus.
(FR)
L'invention concerne un capteur optique à profil bas pour mesurer une distance, ayant un émetteur de lumière et un capteur de lumière. Plus particulièrement, le capteur optique comprend un film de focalisation ayant une série de volets pour filtrer une lumière réfléchie diffusée sans la nécessité d'une lentille de focalisation. Les capteurs optiques peuvent être utilisés dans une variété d'applications, y compris l'utilisation de deux capteurs pour mesurer l'épaisseur d'un objet ou l'utilisation de 3 capteurs pour déterminer l'angle entre deux surfaces. L'invention concerne en outre un capteur d'étalonnage et un procédé d'étalonnage à l'aide de 3 capteurs optiques ou plus pour niveler une pomme de douche et un mandrin dans un appareil de dépôt de semi-conducteur.
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