(EN) Methods, systems, and apparatus for coating the internal surface of nano- scale cavities on a substrate are contemplated. A first fluid of high wettability is applied to the nano-scale cavity, filling the cavity. A second fluid carrying a conductor or a catalyst is applied over the opening of the nano-scale cavity. The second fluid has a lower vapor pressure than the first fluid. The first fluid is vaporized to a gas, for example by heating the substrate. The gas exits the nano-scale cavity, creating a negative pressure or vacuum in the nano-scale cavity. The negative pressure draws the second fluid into the nano-scale cavity. The conductor is deposited on the interior surface of the nano-scale cavity, preferably less than 10nm thick.
(FR) L'invention concerne des procédés, des systèmes et un appareil pour revêtir la face intérieure de cavités nanométriques sur un substrat. Un premier fluide de mouillabilité élevée est appliqué à la cavité nanométrique, remplissant la cavité. Un second fluide transportant un conducteur ou un catalyseur est appliqué sur l'ouverture de la cavité nanométrique. La pression de vapeur du second fluide est inférieure à celle du premier fluide. Le premier fluide est vaporisé en un gaz, par exemple par chauffage du substrat. Le gaz sort de la cavité nanométrique, créant une pression négative ou un vide dans la cavité nanométrique. La pression négative tire le second fluide dans la cavité nanométrique. Le conducteur est déposé sur la face intérieure de la cavité nanométrique, de préférence inférieure à 10 nm d'épaisseur.