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1. WO2020160106 - JAUGE D'ÉPAISSEUR BASÉE SUR UN RAYONNEMENT

Numéro de publication WO/2020/160106
Date de publication 06.08.2020
N° de la demande internationale PCT/US2020/015615
Date du dépôt international 29.01.2020
CIB
G01T 1/00 2006.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
TMESURE DES RADIATIONS NUCLÉAIRES OU DES RAYONS X
1Mesure des rayons X, des rayons gamma, des radiations corpusculaires ou des radiations cosmiques
G01B 15/02 2006.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
15Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de radiations d'ondes ou de particules
02pour mesurer l'épaisseur
CPC
G01B 15/02
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
15Measuring arrangements characterised by the use of wave or particle radiation
02for measuring thickness
G01B 15/025
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
15Measuring arrangements characterised by the use of wave or particle radiation
02for measuring thickness
025by measuring absorption
G01N 2223/1013
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
2223Investigating materials by wave or particle radiation
10Different kinds of radiation or particles
101electromagnetic radiation
1013gamma
G01N 2223/1016
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
2223Investigating materials by wave or particle radiation
10Different kinds of radiation or particles
101electromagnetic radiation
1016X-ray
G01N 2223/313
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
2223Investigating materials by wave or particle radiation
30Accessories, mechanical or electrical features
313filters, rotating filter disc
G01N 2223/633
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
2223Investigating materials by wave or particle radiation
60Specific applications or type of materials
633thickness, density, surface weight (unit area)
Déposants
  • NDC TECHNOLOGIES INC. [US]/[US]
Inventeurs
  • GHAZIKHANIAN, Vahe
  • SHISHEGAR, Ahmad R.
Mandataires
  • CHANG, Willis
  • BOCKMAN, Jonathan
Données relatives à la priorité
62/799,00130.01.2019US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) RADIATION-BASED THICKNESS GAUGE
(FR) JAUGE D'ÉPAISSEUR BASÉE SUR UN RAYONNEMENT
Abrégé
(EN)
Described are system and method embodiments for measuring a thickness of a material layer using electromagnetic radiation. In some embodiments, a system includes a radiation source configured to direct first radiation towards a first surface of a layer of material having a thickness between the first surface and a second surface opposite the first surface. The first radiation causes the material layer to emit secondary radiation. A filter is positioned between the material layer and a radiation detector and in the beam path of the second radiation in order to attenuate a portion of the second radiation associated with fluorescence of the material to emit third radiation. Then, the radiation detector is configured to detect the third radiation and a controller is configured to provide a measurement corresponding to the thickness of the material layer based on the detected third radiation.
(FR)
L'invention concerne des modes de réalisation de système et de procédé pour mesurer une épaisseur d'une couche de matériau à l'aide d'un rayonnement électromagnétique. Dans certains modes de réalisation, un système comprend une source de rayonnement configurée pour diriger un premier rayonnement vers une première surface d'une couche de matériau ayant une épaisseur entre la première surface et une seconde surface opposée à la première surface. Le premier rayonnement provoque l'émission par la couche de matériau d'un rayonnement secondaire. Un filtre est placé entre la couche de matériau et un détecteur de rayonnement et dans le trajet de faisceau du deuxième rayonnement afin d'atténuer une partie du deuxième rayonnement associé à la fluorescence du matériau pour émettre un troisième rayonnement. Ensuite, le détecteur de rayonnement est configuré pour détecter le troisième rayonnement et un dispositif de commande est configuré pour fournir une mesure correspondant à l'épaisseur de la couche de matériau sur la base du troisième rayonnement détecté.
Également publié en tant que
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