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1. WO2020158658 - POMPE À VIDE ET DISPOSITIF DE COMMANDE DE POMPE À VIDE

Numéro de publication WO/2020/158658
Date de publication 06.08.2020
N° de la demande internationale PCT/JP2020/002745
Date du dépôt international 27.01.2020
CIB
F04D 19/04 2006.1
FMÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
04"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF; POMPES À LIQUIDES OU À FLUIDES COMPRESSIBLES
DPOMPES À DÉPLACEMENT NON POSITIF
19Pompes à flux axial spécialement adaptées aux fluides compressibles
02Pompes multiétagées
04spécialement adaptées pour réaliser un vide poussé, p.ex. pompes moléculaires
CPC
F04D 19/04
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
19Axial-flow pumps
02Multi-stage pumps
04specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
F04D 29/38
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
29Details, component parts, or accessories
26Rotors specially for elastic fluids
32for axial flow pumps
38Blades
Déposants
  • エドワーズ株式会社 EDWARDS JAPAN LIMITED [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 深美 英夫 FUKAMI Hideo
Données relatives à la priorité
2019-01711701.02.2019JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) VACUUM PUMP AND VACUUM PUMP CONTROL DEVICE
(FR) POMPE À VIDE ET DISPOSITIF DE COMMANDE DE POMPE À VIDE
(JA) 真空ポンプ及び真空ポンプの制御装置
Abrégé
(EN)
[Problem] To provide a vacuum pump and a vacuum pump control device with which the timing for rotor blade replacement can be accurately determined by creating an index which enables a degree of fatigue of the rotor blade to be quantitatively and easily determined. [Solution] A motor current value output from a motor drive control unit 5 is input into a time count processing unit 13, and in the time count processing unit 13, a time during which a current value of a rotating body 103 remained within a range of each current value stage is integrated. Further, a rotor blade temperature value output from a rotor blade temperature measurement unit 7 is input into the time count processing unit 13, and a mean value per minute of the sampled rotor blade temperature value is obtained. Subsequently, a time during which the mean value remained within a range of each rotor blade temperature value stage is integrated. Each time value integrated in the time count processing unit 13 is stored in a memory 15. In a storage processing unit 17, data is read from the memory 15 and stored in a non-volatile memory 19.
(FR)
Le problème décrit par la présente invention est de fournir une pompe à vide et un dispositif de commande de pompe à vide avec lesquels le moment du remplacement d'une pale de rotor peut être déterminé avec précision à travers la création d'un indice permettant de déterminer quantitativement et facilement un degré de fatigue de la pale de rotor. À cet effet, une sortie d'une valeur actuelle d'un moteur provenant d'une unité de commande d'entraînement (5) de moteur est introduite dans une unité de traitement de comptage de temps (13), et dans l'unité de traitement de comptage de temps (13), un temps pendant lequel une valeur actuelle d'un corps rotatif (103) est restée dans une plage de chaque étage de valeur actuelle est intégré. En outre, une valeur de température de pale de rotor produite par une unité de mesure de température (7) de pale de rotor est introduite dans l'unité de traitement de comptage de temps (13), et une valeur moyenne par minute de la valeur de température de pale de rotor échantillonnée est obtenue. Ensuite, un temps pendant lequel la valeur moyenne est restée dans une plage de chaque étage de valeur de température de pale de rotor est intégré. Chaque valeur de temps intégrée dans l'unité de traitement de comptage de temps (13) est stockée dans une mémoire (15). Dans une unité de traitement de stockage (17), des données sont lues à partir de la mémoire (15) et stockées dans une mémoire non volatile (19).
(JA)
【課題】回転翼の疲労具合を定量的かつ容易に判断できる指標を作成することで、回転翼交換の時期を的確に判断できる真空ポンプ及び真空ポンプの制御装置を提供する。 【解決手段】モータ駆動制御部5から出力されたモータ電流値は時間カウント処理部13に入力され、この時間カウント処理部13において電流値の段階毎に回転体103の電流値がその段階の範囲内に留まっていた時間が積算されるようになっている。また、回転翼温度計測部7から出力された回転翼温度値は時間カウント処理部13に入力される。そして、サンプリング取得された回転翼温度値は1分間の平均値が取られる。その後、その平均値が回転翼温度値の段階毎に、その範囲内に留まっていた時間が積算されるようになっている。メモリ15では時間カウント処理部13で積算された各時間値が保存されるようになっている。記憶処理部17ではメモリ15からデータが読まれ、不揮発メモリ19に保存されるようになっている。
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