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1. WO2020158573 - DISPOSITIF DE SOUPAPE, PROCÉDÉ DE COMMANDE DE DÉBIT, DISPOSITIF DE COMMANDE DE FLUIDE, DISPOSITIF DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEUR ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEUR

Numéro de publication WO/2020/158573
Date de publication 06.08.2020
N° de la demande internationale PCT/JP2020/002341
Date du dépôt international 23.01.2020
CIB
F16K 37/00 2006.1
FMÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
16ÉLÉMENTS OU ENSEMBLES DE TECHNOLOGIE; MESURES GÉNÉRALES POUR ASSURER LE BON FONCTIONNEMENT DES MACHINES OU INSTALLATIONS; ISOLATION THERMIQUE EN GÉNÉRAL
KSOUPAPES; ROBINETS; VANNES; COMMANDES À FLOTTEURS; DISPOSITIFS POUR VENTILER OU AÉRER
37Moyens particuliers portés par ou sur les soupapes ou autres dispositifs d'obturation pour repérer ou enregistrer leur fonctionnement ou pour permettre de donner l'alarme
F16K 7/17 2006.1
FMÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
16ÉLÉMENTS OU ENSEMBLES DE TECHNOLOGIE; MESURES GÉNÉRALES POUR ASSURER LE BON FONCTIONNEMENT DES MACHINES OU INSTALLATIONS; ISOLATION THERMIQUE EN GÉNÉRAL
KSOUPAPES; ROBINETS; VANNES; COMMANDES À FLOTTEURS; DISPOSITIFS POUR VENTILER OU AÉRER
7Dispositifs d'obturation à diaphragme, p.ex. dont un élément est déformé, sans être déplacé entièrement, pour fermer l'ouverture
12à diaphragme plat, en forme d'assiette ou en forme de bol
14disposé pour être déformé contre un siège plat
17le diaphragme étant actionné par pression d'un fluide
F16K 31/122 2006.1
FMÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
16ÉLÉMENTS OU ENSEMBLES DE TECHNOLOGIE; MESURES GÉNÉRALES POUR ASSURER LE BON FONCTIONNEMENT DES MACHINES OU INSTALLATIONS; ISOLATION THERMIQUE EN GÉNÉRAL
KSOUPAPES; ROBINETS; VANNES; COMMANDES À FLOTTEURS; DISPOSITIFS POUR VENTILER OU AÉRER
31Moyens de fonctionnement; Dispositifs de retour à la position de repos
12actionnés par un fluide
122le fluide agissant sur un piston
H01L 21/02 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
CPC
F16K 31/122
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
31Actuating devices;; Operating means; Releasing devices
12actuated by fluid
122the fluid acting on a piston
F16K 37/00
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
37Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
F16K 7/17
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
7Diaphragm ; valves or; cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage
12with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
14arranged to be deformed against a flat seat
17the diaphragm being actuated by fluid pressure
H01L 21/02
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
Déposants
  • 株式会社フジキン FUJIKIN INCORPORATED [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 丹野 竜太郎 TANNO Ryutaro
  • 吉田 俊英 YOSHIDA Toshihide
  • 土口 大飛 TSUCHIGUCHI Daihi
  • 鈴木 裕也 SUZUKI Yuya
  • 近藤 研太 KONDO Kenta
  • 中田 知宏 NAKATA Tomohiro
  • 篠原 努 SHINOHARA Tsutomu
  • 滝本 昌彦 TAKIMOTO Masahiko
Mandataires
  • 特許業務法人KEN知財総合事務所 KEN IP LAW FIRM
Données relatives à la priorité
2019-01535531.01.2019JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) VALVE DEVICE, FLOW RATE CONTROL METHOD, FLUID CONTROL DEVICE, SEMICONDUCTOR MANUFACTURING METHOD, AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE SOUPAPE, PROCÉDÉ DE COMMANDE DE DÉBIT, DISPOSITIF DE COMMANDE DE FLUIDE, DISPOSITIF DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEUR ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEUR
(JA) バルブ装置、流量制御方法、流体制御装置、半導体製造方法、および半導体製造装置
Abrégé
(EN)
The objective of the present invention is to provide a valve device with which a flow rate can be adjusted precisely. This valve device comprises: an operating member (40) for operating a diaphragm (20) provided in such a way as to be capable of moving between a closed position (CP) in which the diaphragm (20) closes a flow passage and an open position (OP) in which the diaphragm (20) opens the flow passage; a main actuator (60) for moving the operating member to the open position or the closed position in response to the pressure of a supplied driving fluid; an adjustment actuator (100) for adjusting the position of the operating member (40) positioned in the open position; and a position detecting mechanism (85) for detecting displacement of the operating member (40) with respect to a valve body (10).
(FR)
La présente invention a pour objet de fournir un dispositif de soupape avec lequel un débit peut être réglé avec précision. Le présent dispositif de soupape comprend : un élément d'actionnement (40) pour actionner une membrane (20) prévu de manière à pouvoir se déplacer entre une position fermée (CP) dans laquelle la membrane (20) ferme un passage d'écoulement et une position ouverte (OP) dans laquelle la membrane (20) ouvre le passage d'écoulement ; un actionneur principal (60) pour déplacer l'élément d'actionnement vers la position ouverte ou la position fermée en réponse à la pression d'un fluide d'entraînement fourni ; un actionneur de réglage (100) pour régler la position de l'élément d'actionnement (40) positionné dans la position ouverte ; et un mécanisme de détection de position (85) pour détecter un déplacement de l'élément d'actionnement (40) par rapport à un corps de soupape (10).
(JA)
流量を精密に調整可能なバルブ装置を提供する。 ダイヤフラム(20)に流路を閉鎖させる閉位置(CP)とダイヤフラム(20)に流路を開放させる開位置(OP)との間で移動可能に設けられたダイヤフラムを操作する操作部材(40)と、供給される駆動流体の圧力を受けて、前記操作部材を前記開位置又は閉位置に移動させる主アクチュエータ(60)と、開位置に位置付けられた操作部材(40)の位置を調整するための調整用アクチュエータ(100)と、バルブボディ(10)に対する操作部材(40)の変位を検出するための位置検出機構(85)と、を有する。
Également publié en tant que
JP2020569564
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