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1. WO2020158082 - MASQUE DE DÉPÔT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE MASQUE DE DÉPÔT

Numéro de publication WO/2020/158082
Date de publication 06.08.2020
N° de la demande internationale PCT/JP2019/042845
Date du dépôt international 31.10.2019
CIB
C23C 14/04 2006.1
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
23REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
CREVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
04Revêtement de parties déterminées de la surface, p.ex. au moyen de masques
H01L 51/50 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
51Dispositifs à l'état solide qui utilisent des matériaux organiques comme partie active, ou qui utilisent comme partie active une combinaison de matériaux organiques et d'autres matériaux; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de tels dispositifs ou de leurs parties constitutives
50spécialement adaptés pour l'émission de lumière, p.ex. diodes émettrices de lumière organiques (OLED) ou dispositifs émetteurs de lumière à base de polymères (PLED)
H05B 33/10 2006.1
HÉLECTRICITÉ
05TECHNIQUES ÉLECTRIQUES NON PRÉVUES AILLEURS
BCHAUFFAGE ÉLECTRIQUE; ÉCLAIRAGE ÉLECTRIQUE NON PRÉVU AILLEURS
33Sources lumineuses électroluminescentes
10Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication des sources lumineuses électroluminescentes
CPC
C23C 14/04
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
04Coating on selected surface areas, e.g. using masks
H01L 51/50
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
51Solid state devices using organic materials as the active part, or using a combination of organic materials with other materials as the active part; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of such devices, or of parts thereof
50specially adapted for light emission, e.g. organic light emitting diodes [OLED] or polymer light emitting devices [PLED]
H05B 33/10
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
33Electroluminescent light sources
10Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
Déposants
  • 株式会社ジャパンディスプレイ JAPAN DISPLAY INC. [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 松本 優子 MATSUMOTO Yuko
Mandataires
  • 特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ TAKAHASHI, HAYASHI AND PARTNER PATENT ATTORNEYS, INC.
Données relatives à la priorité
2019-01636231.01.2019JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) DEPOSITION MASK AND METHOD FOR MANUFACTURING DEPOSITION MASK
(FR) MASQUE DE DÉPÔT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE MASQUE DE DÉPÔT
(JA) 蒸着マスク及び蒸着マスクの製造方法
Abrégé
(EN)
A method for manufacturing a deposition mask comprises: forming a mask main body having a plurality of openings formed therein on a substrate; covering the plurality of openings; forming an insulation layer that allows the outer periphery of the mask main body to be expose; placing an adhesive member on the outer periphery of the mask main body; placing a holding frame on the outer periphery of the mask main body in such a manner that the holding frame can come into contact with the adhesive member; forming a connection member between the mask main body and the holding frame; removing the insulation layer; and detaching the substrate from the mask main body. The deposition mask manufactured in this manner is provided with: a mask main body having a plurality of opening formed therein; a holding frame arranged on the outer periphery of the mask main body; and a connection member arranged on the bottom surface and the side surface of the holding frame and arranged between the bottom surface of the holding frame and the mask main body.
(FR)
L’invention concerne un procédé de fabrication d'un masque de dépôt consistant : à former un corps principal de masque comportant une pluralité d'ouvertures formées en son sein sur un substrat ; à recouvrir la pluralité d'ouvertures ; à former une couche d'isolation qui permet à la périphérie extérieure du corps principal de masque d'être apparente ; à placer un élément adhésif sur la périphérie extérieure du corps principal de masque ; à placer un cadre de maintien sur la périphérie extérieure du corps principal de masque de sorte que le cadre de maintien puisse entrer en contact avec l'élément adhésif ; à former un élément de raccordement entre le corps principal de masque et le cadre de maintien ; à retirer la couche d'isolation ; et à détacher le substrat du corps principal de masque. Le masque de dépôt ainsi fabriqué est muni : d'un corps principal de masque comportant une pluralité d'ouvertures formées en son sein ; d'un cadre de maintien disposé sur la périphérie extérieure du corps principal de masque ; et d’un élément de raccordement disposé sur la surface inférieure et la surface latérale du cadre de maintien et disposé entre la surface inférieure du cadre de maintien et le corps principal de masque.
(JA)
蒸着マスクの製造方法は、基板上に、複数の開口を有するマスク本体を形成し、複数の開口を覆い、マスク本体の外周を露出する絶縁層を形成し、マスク本体の外周に接着部材を配置し、マスク本体の外周に、接着部材と接するように保持枠を配置し、マスク本体と保持枠との間に接続部材を形成し、絶縁層を除去し、マスク本体から基板を剥離すること、を含む。このように製造した蒸着マスクは、複数の開口を有するマスク本体と、マスク本体の外周に配置される保持枠と、保持枠の底面および側面に配置され、保持枠の底面とマスク本体との間に配置される接続部材と、を有する。
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