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1. WO2020154976 - PROCÉDÉ ET SYSTÈME D'ENREGISTREMENT DE DISPOSITION DE CONCEPTION DE CIRCUIT ET D'IMAGE DE MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE, DISPOSITION DE CONCEPTION DE CIRCUIT ET PROCÉDÉ DE CALCUL D'ERREUR D'IMAGERIE ASSOCIÉ ET DISPOSITIF ÉLECTRONIQUE

Numéro de publication WO/2020/154976
Date de publication 06.08.2020
N° de la demande internationale PCT/CN2019/073986
Date du dépôt international 30.01.2019
CIB
G06T 7/33 2017.1
GPHYSIQUE
06CALCUL; COMPTAGE
TTRAITEMENT OU GÉNÉRATION DE DONNÉES D'IMAGE, EN GÉNÉRAL
7Analyse d'image
30Détermination des paramètres de transformation pour l'alignement des images, c. à d. recalage des images
33utilisant des procédés basés sur les caractéristiques
G06T 7/40 2017.1
GPHYSIQUE
06CALCUL; COMPTAGE
TTRAITEMENT OU GÉNÉRATION DE DONNÉES D'IMAGE, EN GÉNÉRAL
7Analyse d'image
40Analyse de la texture
G06T 7/13 2017.1
GPHYSIQUE
06CALCUL; COMPTAGE
TTRAITEMENT OU GÉNÉRATION DE DONNÉES D'IMAGE, EN GÉNÉRAL
7Analyse d'image
10Découpage; Détection de bords
13Détection de bords
G06T 7/155 2017.1
GPHYSIQUE
06CALCUL; COMPTAGE
TTRAITEMENT OU GÉNÉRATION DE DONNÉES D'IMAGE, EN GÉNÉRAL
7Analyse d'image
10Découpage; Détection de bords
155impliquant des opérateurs morphologiques
G06T 7/00 2017.1
GPHYSIQUE
06CALCUL; COMPTAGE
TTRAITEMENT OU GÉNÉRATION DE DONNÉES D'IMAGE, EN GÉNÉRAL
7Analyse d'image
CPC
G06F 30/392
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
30Computer-aided design [CAD]
30Circuit design
39Circuit design at the physical level
392Floor-planning or layout, e.g. partitioning or placement
G06T 2207/30148
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
2207Indexing scheme for image analysis or image enhancement
30Subject of image; Context of image processing
30108Industrial image inspection
30148Semiconductor; IC; Wafer
G06T 5/00
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
5Image enhancement or restoration
G06T 5/002
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
5Image enhancement or restoration
001Image restoration
002Denoising; Smoothing
G06T 5/30
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
5Image enhancement or restoration
20by the use of local operators
30Erosion or dilatation, e.g. thinning
G06T 7/00
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
7Image analysis
Déposants
  • 深圳晶源信息技术有限公司 SHENZHEN JINGYUAN INFORMATION TECHNOLOGY CO., LTD [CN]/[CN]
Inventeurs
  • 闫歌 YAN, Ge
  • 李强 LI, Qiang
Mandataires
  • 深圳市智享知识产权代理有限公司 SHENZHEN I&W INTELLECTUAL PROPERTY CORPORATION
Données relatives à la priorité
Langue de publication chinois (ZH)
Langue de dépôt chinois (ZH)
États désignés
Titre
(EN) METHOD AND SYSTEM FOR REGISTERING CIRCUIT DESIGN LAYOUT AND SCANNING ELECTRON MICROSCOPE IMAGE, CIRCUIT DESIGN LAYOUT AND IMAGING ERROR CALCULATION METHOD THEREOF, AND ELECTRONIC DEVICE
(FR) PROCÉDÉ ET SYSTÈME D'ENREGISTREMENT DE DISPOSITION DE CONCEPTION DE CIRCUIT ET D'IMAGE DE MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE, DISPOSITION DE CONCEPTION DE CIRCUIT ET PROCÉDÉ DE CALCUL D'ERREUR D'IMAGERIE ASSOCIÉ ET DISPOSITIF ÉLECTRONIQUE
(ZH) 电路设计版图和电镜扫描图像的配准方法及系统、电路设计版图和其成像误差计算方法及电子设备
Abrégé
(EN)
The present invention provides a method for registering a circuit design layout and a scanning electron microscope image. The method comprises: step S1, providing a circuit design layout and a scanning electron microscope image to be registered; step S2, processing the circuit design layout to acquire a binary design layout image, and processing the scanning electron microscope image to acquire a binary scanning electron microscope image; step S3, performing Gaussian filtering on the binary design layout image and the binary scanning electron microscope image to maximize a gray value at a central axis of regions corresponding to a design pattern and a scanned pattern; and step S4, performing registration according to the central axis of the design pattern and the scanned pattern. The present invention also provides a system for registering a circuit design layout and a scanning electron microscope image, a circuit design layout and an imaging error calculation method thereof, and an electronic device. The method and system for registering a circuit design layout and a scanning electron microscope image, the circuit design layout and the imaging error calculation method thereof, and the electronic device feature accurate registration and accurate error calculation.
(FR)
La présente invention concerne un procédé d'enregistrement d'une disposition de conception de circuit et d'une image de microscope électronique à balayage. Le procédé comprend : l'étape S1 consistant à fournir une disposition de conception de circuit et une image de microscope électronique à balayage à enregistrer ; l'étape S2 consistant à traiter la disposition de conception de circuit pour acquérir une image de disposition de conception binaire et traiter l'image de microscope électronique à balayage pour acquérir une image de microscope électronique à balayage binaire ; l'étape S3 consistant à réaliser un filtrage gaussien sur l'image de disposition de conception binaire et l'image de microscope électronique à balayage binaire pour maximiser une valeur de gris au niveau d'un axe central de régions correspondant à un motif de conception et à un motif balayé ; et l'étape S4 consistant à réaliser un enregistrement selon l'axe central du motif de conception et le motif balayé. La présente invention concerne également un système pour enregistrer une disposition de conception de circuit et une image de microscope électronique à balayage, une disposition de conception de circuit et un procédé de calcul d'erreur d'imagerie de celle-ci, ainsi qu'un dispositif électronique. Le procédé et le système pour enregistrer une disposition de conception de circuit et une image de microscope électronique à balayage, la disposition de conception de circuit et le procédé de calcul d'erreur d'imagerie de celle-ci, ainsi que le dispositif électronique réalisent un enregistrement précis et un calcul d'erreur précis.
(ZH)
本发明提供电路设计版图和电镜扫描图像的配准方法,包括步骤S1:提供待配准的电路设计版图及电镜扫描图像;步骤S2:对待配准的电路设计版图进行处理获得设计版图二值图像;对待配准的电镜扫描图像处理获得电镜扫描二值图像;步骤S3:对设计版图二值图像及电镜扫描二值图像进行高斯滤波以使得设计图案及扫描图案对应的区域之中心轴线处灰度值最大;及步骤S4:根据设计图案及扫描图案的中心轴线进行配准。本发明还提供电路设计版图和电镜扫描图像的配准系统、电路设计版图和其成像误差计算方法及电子设备,电路设计版图和电镜扫描图像的配准方法及系统、电路设计版图和其成像误差计算方法及电子设备具有配准精确,误差计算精准等优点。
Également publié en tant que
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