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1. WO2020116255 - DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT PAR PLASMA


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INTERNATIONAL SEARCH REPORT (ISR)
Part 1:  1  2  3  4  5  6          Part 2:  A  B  C  D  E 
国際出願番号 出願人又は代理人の書類記号
PCT/JP2019/046231 FP19-0919-00
国際出願日 (日.月.年) 優先日 (日.月.年)
26.11.2019 06.12.2018
出願人(氏名又は名称)
東京エレクトロン株式会社
今後の手続については、: 様式PCT/ISA/220 及び下記5を参照すること。
国際調査機関が作成したこの国際調査報告を法施行規則第41条(PCT18条)の規定に従い出願人に送付する。この写しは国際事務局にも送付される。
1. 国際調査報告の基礎
a. 言語に関し、この国際調査は以下のものに基づき行った。
出願時の言語による国際出願
出願時の言語から国際調査のための言語である                                          に翻訳された、この国際出願の翻訳文(PCT規則12.3(a)及び23.1(b))
b.
この国際調査報告は、PCT規則91の規定により国際調査機関が許可した又は国際調査機関に通知された明らかな誤りの訂正を考慮して作成した(PCT規則43.6の2(a))。
c.
この国際出願で開示されたヌクレオチド又はアミノ酸配列に関して、以下の配列表に基づき国際調査を行った。
2. 請求の範囲の一部の調査ができない
3. 発明の単一性が欠如している
次に述べるようにこの国際出願に二以上の発明があるとこの国際調査機関は認めた。
(発明1)請求項1-4、10、請求項4を引用する請求項5-9
 文献1(JP 3-19332 A)には「中心軸線の周りで周方向に延び、中心軸線が延在する方向に延び、導入部に接続されている共振器の導波路を備えたプラズマ処理装置」が記載されており、請求項1は、文献1により新規性が欠如しているため、特別な技術的特徴を有しない。同様に、請求項2-3,10は、文献1から新規性が欠如した発明、又は、単なる設計変更を施した発明であるから、特別な技術的特徴を有しない。しかしながら、請求項1の従属請求項である請求項4は、「導波路は、中心軸線が延在する前記方向において折り返されている」という特別な技術的特徴を有しており、請求項4を引用する請求項5-9も、請求項4と同一の技術的特徴を有している。したがって、請求項1-4、10、請求項4を引用する請求項5-9を発明1に区分する。
(発明2)請求項1-3を直接引用する請求項5、請求項1-3を直接引用する請求項5を引用する請求項6-9
 また、請求項1-3を直接引用する請求項5は、発明1に区分された請求項1の従属請求項であるが、請求項1に対して追加された技術的特徴である「前記導波部は、前記中心軸線に対して径方向に延びて、前記導波路に接続する複数の同軸導波管を含み、前記複数の同軸導波管は、前記周方向において等間隔で配列されている」は、請求項1の技術的特徴である「中心軸線の周りで周方向に延び、中心軸線が延在する方向に延び、導入部に接続されている共振器の導波路を備えた」と、技術的関連性が低い。このため、請求項1-3を直接引用する請求項5が請求項1に対して発明の連関性を有しているとは認められない。
 さらに、請求項1-3を直接引用する請求項5は、発明1に区分されたいずれの請求項に対しても実質同一又はそれに準ずる関係にはない。
 したがって、請求項1-3を直接引用する請求項5は発明1に区分できない。
 そして、請求項1-3を直接引用する請求項5は、「前記導波部は、前記中心軸線に対して径方向に延びて、前記導波路に接続する複数の同軸導波管を含み、前記複数の同軸導波管は、前記周方向において等間隔で配列されている」という特別な技術的特徴を有しているので、発明2に区分する。同様に、請求項1-3を直接引用する請求項5を引用する請求項6-9も、発明2に区分する。
(発明3)請求項1-3を直接引用する請求項7、請求項1-3を直接引用する請求項7を引用する請求項8-9
 請求項1-3を直接引用する請求項7は、発明1に区分された請求項1の従属請求項であるが、請求項1に対して追加された技術的特徴である「ステージの上方、且つ、上部電極の下方に設けられた誘電体板を備える」は、請求項1の技術的特徴である「中心軸線の周りで周方向に延び、中心軸線が延在する方向に延び、導入部に接続されている共振器の導波路を備えた」と、技術的関連性が低い。このため、請求項1-3を直接引用する請求項7が請求項1に対して発明の連関性を有しているとは認められない。
 さらに、請求項1-3を直接引用する請求項7は、発明1又は発明2に区分されたいずれの請求項に対しても実質同一又はそれに準ずる関係にはない。
 したがって、請求項1-3を直接引用する請求項7は発明1及び発明2のいずれにも区分できない。
 そして、請求項1-3を直接引用する請求項7は、「ステージの上方、且つ、上部電極の下方に設けられた誘電体板を備える」という特別な技術的特徴を有しているので、発明3に区分する。同様に、請求項1-3を直接引用する請求項7を引用する請求項8-9も、発明3に区分する。
1.
出願人が必要な追加調査手数料をすべて期間内に納付したので、この国際調査報告は、すべての調査可能な請求項について作成した。
2.
追加調査手数料を要求するまでもなく、すべての調査可能な請求項について調査することができたので、追加調査手数料の納付を求めなかった。
3.
出願人が必要な追加調査手数料を一部のみしか期間内に納付しなかったので、この国際調査報告は、手数料の納付のあった次の請求項のみについて作成した。
4.
出願人が必要な追加調査手数料を期間内に納付しなかったので、この国際調査報告は、請求の範囲の最初に記載されている発明に係る次の請求項について作成した。
追加調査手数料の異議の申立てに関する注意
追加調査手数料及び、該当する場合には、異議申立手数料の納付と共に、出願人から異議申立てがあった。
追加調査手数料の納付と共に出願人から異議申立てがあったが、異議申立手数料が納付命令書に示した期間内に支払われなかった。
追加調査手数料の納付はあったが、異議申立てはなかった。
4. 発明の名称
出願人が提出したものを承認する。
次に示すように国際調査機関が作成した。
5. 要約
出願人が提出したものを承認する。
第Ⅳ欄に示されているように、法施行規則第47条第1項(PCT規則38.2)の規定により国際調査機関が作成した。出願人は、この国際調査報告の発送の日から1月以内にこの国際調査機関に意見を提出することができる。
6. 図面
a.
要約とともに公表される図は、 第    1     図とする。
出願人が示したとおりである。
出願人は図を示さなかったので、国際調査機関が選択した。
本図は発明の特徴を一層よく表しているので、国際調査機関が選択した。
b.
要約とともに公表される図はない。

B. 調査を行った分野

調査を行った最小限資料(国際特許分類(IPC)):
     H05H1/46; H01L21/00
最小限資料以外の資料で調査を行った分野に含まれるもの:
日本国実用新案公報              1922‐1996年
日本国公開実用新案公報          1971‐2020年
日本国実用新案登録公報          1996‐2020年
日本国登録実用新案公報          1994‐2020年
国際調査で使用した電子データベース(データベースの名称、調査に使用した用語):

C. 関連すると認められる文献

引用文献のカテゴリー* 引用文献名 及び一部の箇所が関連するときは、その関連する箇所の表示 関連する
請求項の番号
(1)
X
JP 3-19332 A  (株式会社日立製作所) 28.01.1991 (1991-01-28)
1-3, 10
特に、5ページ右上欄7行-左下欄14行、図7
Y
A
7-9
4-6
(2)
Y
JP 2011-103238 A  (株式会社日立ハイテクノロジーズ) 26.05.2011 (2011-05-26)
7-9
特に、[0027]
(3)
Y
JP 2007-217738 A  (凸版印刷株式会社) 30.08.2007 (2007-08-30)
9
特に、図1
(4)
A
JP 2002-261086 A  (東京エレクトロン株式会社) 13.09.2002 (2002-09-13)
5-6
特に、[0027]、図2-3
*
引用文献のカテゴリー
"A"
特に関連のある文献ではなく、一般的技術水準を示すもの
"D"
国際出願で出願人が先行技術文献として記載した文献
"E"
国際出願日前の出願または特許であるが、国際出願日以後に公表されたもの
"L"
優先権主張に疑義を提起する文献又は他の文献の発行日若しくは他の特別な理由を確立するために引用する文献(理由を付す)
"O"
口頭による開示、使用、展示等に言及する文献
"P"
国際出願日前で、かつ優先権の主張の基礎となる出願の日の後に公表された文献
"T"
国際出願日又は優先日後に公表された文献であって出願と抵触するものではなく、発明の原理又は理論の理解のために引用するもの
"X"
特に関連のある文献であって、当該文献のみで発明の新規性又は進歩性がないと考えられるもの
"Y"
特に関連のある文献であって、当該文献と他の1以上の文献との、当業者にとって自明である組合せによって進歩性がないと考えられるもの
"&"
同一パテントファミリー文献

D. パテントファミリーに関する情報

引用文献 公表日 パテントファミリー文献 公表日
JP 3-19332 A
28.01.1991
(ファミリーなし)
JP 2011-103238 A
26.05.2011
(ファミリーなし)
JP 2007-217738 A
30.08.2007
(ファミリーなし)
JP 2002-261086 A
13.09.2002
(ファミリーなし)
名称及びあて先:
日本国特許庁(ISA/JP)
東京都千代田区霞が関三丁目4番3号, 100-8915
日本国
国際調査を完了した日:
28.01.2020
国際調査報告の発送日:
10.02.2020
権限のある職員(特許庁審査官):
鳥居 祐樹 2G 4070
電話番号 03-3581-1101 内線 3226
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