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1. WO2020115825 - SOURCE DE PARTICULES CHARGÉES ET DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES

Numéro de publication WO/2020/115825
Date de publication 11.06.2020
N° de la demande internationale PCT/JP2018/044634
Date du dépôt international 05.12.2018
CIB
H01J 1/304 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
1Détails des électrodes, des moyens de commande magnétiques, des écrans, ou du montage ou de l'espacement de ces éléments, communs au moins à deux types de base de tubes ou lampes à décharge
02Electrodes principales
30Cathodes froides
304Cathodes à émission d'électrons de champ
H01J 9/02 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
9Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication de tubes à décharge électrique, de lampes à décharge électrique ou de leurs composants; Récupération de matériaux à partir de tubes ou de lampes à décharge
02Fabrication des électrodes ou des systèmes d'électrodes
H01J 37/06 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02Détails
04Dispositions des électrodes et organes associés en vue de produire ou de commander la décharge, p.ex. dispositif électronoptique, dispositif ionoptique
06Sources d'électrons; Canons à électrons
H01J 37/073 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02Détails
04Dispositions des électrodes et organes associés en vue de produire ou de commander la décharge, p.ex. dispositif électronoptique, dispositif ionoptique
06Sources d'électrons; Canons à électrons
073Canons à électrons utilisant des sources d'électrons à émission par effet de champ, à photo-émission ou à émission secondaire
Déposants
  • 株式会社日立ハイテク HITACHI HIGH-TECH CORPORATION [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 福田 真大 FUKUTA Masahiro
  • 本田 和広 HONDA Kazuhiro
Mandataires
  • 特許業務法人平木国際特許事務所 HIRAKI & ASSOCIATES
Données relatives à la priorité
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) CHARGED PARTICLE SOURCE AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) SOURCE DE PARTICULES CHARGÉES ET DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子源、荷電粒子線装置
Abrégé
(EN)
The purpose of the present invention is to provide a charged particle source that exhibits small energy dispersion for charged particle beams emitted under a high angular current density condition and allows stable acquisition of large charged particle currents even for a small light source diameter. A charged particle source according to the present invention has a spherical virtual cathode surface from which charged particles are emitted, and the virtual cathode surface for charged particles emitted from a first position on the tip end surface of an emitter and the virtual cathode surface for charged particles emitted from a second position on the tip end surface of the emitter match each other (See Fig. 4).
(FR)
L'objet de la présente invention est de mettre en œuvre une source de particules chargées qui présente une faible dispersion d'énergie pour des faisceaux de particules chargées émis dans une condition de densité de courant angulaire élevée et qui permet l'acquisition stable de forts courants de particules chargées même pour un petit diamètre de source de lumière. Une source de particules chargées selon la présente invention a une surface de cathode virtuelle sphérique depuis laquelle des particules chargées sont émises, et la surface de cathode virtuelle pour des particules chargées émises depuis une première position sur la surface d'extrémité de pointe d'un émetteur et la surface de cathode virtuelle pour des particules chargées émises depuis une deuxième position sur la surface d'extrémité de pointe de l'émetteur se correspondent (voir Fig. 4).
(JA)
本発明は、高角電流密度条件においても、放出される荷電粒子ビームのエネルギー分散が小さく、小さい光源径であっても安定して大きな荷電粒子電流を得ることができる荷電粒子源を提供することを目的とする。本発明に係る荷電粒子源は、荷電粒子が出射する仮想陰極面が球面形状を有しており、エミッタ先端表面の第1位置から放出される荷電粒子の仮想陰極面と、前記エミッタ先端表面の第2位置から放出される荷電粒子の仮想陰極面とが一致する(図4参照)。
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