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1. WO2020113596 - COUCHE DE FILM LUBRIFIANT SOLIDE ANTIBACTÉRIEN À ACTION DURABLE POUR ENVIRONNEMENT SPATIAL ET PROCÉDÉ DE PRÉPARATION ASSOCIÉ

Numéro de publication WO/2020/113596
Date de publication 11.06.2020
N° de la demande internationale PCT/CN2018/120102
Date du dépôt international 10.12.2018
CIB
C23C 14/35 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
23REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
CREVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
22caractérisé par le procédé de revêtement
34Pulvérisation cathodique
35par application d'un champ magnétique, p.ex. pulvérisation au moyen d'un magnétron
C23C 14/16 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
23REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
CREVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
06caractérisé par le matériau de revêtement
14Matériau métallique, bore ou silicium
16sur des substrats métalliques, en bore ou en silicium
C23C 14/06 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
23REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
CREVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
06caractérisé par le matériau de revêtement
C23C 14/02 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
23REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
CREVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
02Pré-traitement du matériau à revêtir
B32B 15/04 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
32PRODUITS STRATIFIÉS
BPRODUITS STRATIFIÉS, c. à d. FAITS DE PLUSIEURS COUCHES DE FORME PLANE OU NON PLANE, p.ex. CELLULAIRE OU EN NID D'ABEILLES
15Produits stratifiés composés essentiellement de métal
04comprenant un métal comme seul composant ou comme composant principal d'une couche adjacente à une autre couche d'une substance spécifique
CPC
C23C 14/025
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
02Pretreatment of the material to be coated
024Deposition of sublayers, e.g. to promote adhesion of the coating
025Metallic sublayers
C23C 14/0605
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
06characterised by the coating material
0605Carbon
C23C 14/165
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
06characterised by the coating material
14Metallic material, boron or silicon
16on metallic substrates or on substrates of boron or silicon
165by cathodic sputtering
C23C 14/352
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
22characterised by the process of coating
34Sputtering
35by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
352using more than one target
Déposants
  • 上海航天设备制造总厂有限公司 SHANGHAI AEROSPACE EQUIPMENT MANUFACTORY CO. LTD. [CN]/[CN]
Inventeurs
  • 鞠鹏飞 JU, Pengfei
  • 刘京周 LIU, Jingzhou
  • 臧旭升 ZANG, Xusheng
  • 唐丽娜 TANG, Lina
  • 朱雪龙 ZHU, Xuelong
  • 周宏 ZHOU, Hong
  • 郭立杰 GUO, Lijie
Mandataires
  • 上海信好专利代理事务所(普通合伙) SUNSHINEIP INTELLECTUAL PROPERTY LAW FIRM
Données relatives à la priorité
201811493172.107.12.2018CN
Langue de publication chinois (ZH)
Langue de dépôt chinois (ZH)
États désignés
Titre
(EN) LONG-ACTING ANTIBACTERIAL SOLID LUBRICATING FILM LAYER FOR SPACE ENVIRONMENT AND PREPARATION METHOD THEREFOR
(FR) COUCHE DE FILM LUBRIFIANT SOLIDE ANTIBACTÉRIEN À ACTION DURABLE POUR ENVIRONNEMENT SPATIAL ET PROCÉDÉ DE PRÉPARATION ASSOCIÉ
(ZH) 一种空间环境用长效抗菌固体润滑膜层及其制备方法
Abrégé
(EN)
A long-acting antibacterial solid lubricating film layer for a space environment and a preparation method therefor. The solid lubricating film layer comprises: a substrate, an Ag-containing diffusion layer, and a coating; the coating comprises: a Cr seed layer and an Ag-containing amorphous carbon film layer successively deposited on the substrate; the Ag-containing diffusion layer is located in the substrate adjacent to the Cr seed layer, and is formed from a matrix material and Ag atoms diffused and doped from the Cr seed layer into the matrix material. The Cr seed layer is deposited on the substrate, and then a magnetron co-sputtering graphite target and an Ag target are used to deposit a gradient transition Ag functional layer by means of adjusting and controlling the magnitude of a sputtering Ag current. Finally, heat treatment is performed to promote the diffusion of the Ag atoms in the coating to the substrate, thereby achieving an increase in the thickness of the Ag-containing antibacterial functional layer. After a long-term friction experiment, the obtained coating does not decrease in antibacterial level and achieves a long-acting antibacterial effect. The present invention is particularly suitable for a long-acting antibacterial lubrication component of a space station, and has large practical application requirements and good application prospects.
(FR)
L'invention concerne une couche de film lubrifiant solide antibactérien à action durable destinée à un environnement spatial et un procédé de préparation associé. La couche de film lubrifiant solide comprend : un substrat, une couche de diffusion contenant de l'argent (Ag) et un revêtement ; le revêtement comprend : une couche de germes de chrome et une couche de film de carbone amorphe contenant de l'argent, déposées successivement sur le substrat ; la couche de diffusion contenant de l'argent est située dans le substrat adjacente à la couche de germes de chrome et est formée d'un matériau de matrice et d'atomes d'argent, diffusés et dopés de la couche de germes de chrome au matériau de matrice. La couche de germes de chrome est déposée sur le substrat puis une cible de graphite de co-pulvérisation par magnétron et une cible d'argent servent à déposer une couche fonctionnelle d'argent de transition de gradient par réglage et par commande de l'intensité d'un courant d'argent de pulvérisation. Enfin, un traitement thermique est effectué pour favoriser la diffusion des atomes d'argent dans le revêtement vers le substrat, ce qui permet d'obtenir une augmentation de l'épaisseur de la couche fonctionnelle antibactérienne contenant de l'argent. Après une expérience prolongée de frottement, le niveau antibactérien du revêtement obtenu ne diminue pas et atteint un effet antibactérien à action durable. La présente invention s'avère particulièrement appropriée pour un élément de lubrification antibactérien à action durable d'une station spatiale et répond à de grandes exigences d'application pratiques et à de bonnes perspectives d'application.
(ZH)
一种空间环境用长效抗菌固体润滑膜层及其制备方法,该固体润滑膜层包含:基体、含Ag 扩散层、涂层;该涂层包含:依次沉积在基体上的Cr 籽晶层及含Ag 非晶碳膜层;该含Ag 扩散层位于邻近Cr 籽晶层的基体中,由基体材料,以及,自Cr 籽晶层扩散掺杂至基体材料中的Ag 原子形成。先在基体上沉积Cr 籽晶层,再采用磁控共溅射石墨靶和Ag 靶,通过调控溅射Ag 电流大小,沉积梯度过渡Ag 功能层;最后经热处理,促使涂层中Ag 原子向基体扩散,实现含Ag 抗菌功能层厚度的增加,获得的涂层在经过长时间摩擦实验后,抗菌等级不降低,达到长效抗菌的效果,尤其适用于空间站长效抗菌润滑部件,有很大的实际应用需求和良好的应用前景。
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