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1. WO2020108862 - PROCÉDÉ DESTINÉ À DÉTERMINER LES CAUSES RACINES D’ÉVÉNEMENTS D’UN PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEURS ET À CONTRÔLER UN PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEURS

Numéro de publication WO/2020/108862
Date de publication 04.06.2020
N° de la demande internationale PCT/EP2019/078570
Date du dépôt international 21.10.2019
CIB
G05B 19/409 2006.01
GPHYSIQUE
05COMMANDE; RÉGULATION
BSYSTÈMES DE COMMANDE OU DE RÉGULATION EN GÉNÉRAL; ÉLÉMENTS FONCTIONNELS DE TELS SYSTÈMES; DISPOSITIFS DE CONTRÔLE OU DE TEST DE TELS SYSTÈMES OU ÉLÉMENTS
19Systèmes de commande à programme
02électriques
18Commande numérique (CN), c.à d. machines fonctionnant automatiquement, en particulier machines-outils, p.ex. dans un milieu de fabrication industriel, afin d'effectuer un positionnement, un mouvement ou des actions coordonnées au moyen de données d'un programme sous forme numérique
409caractérisée par l'utilisation de l'entrée manuelle des données (MDI) ou par l'utilisation d'un panneau de commande, p.ex. commande de fonctions avec le panneau; caractérisée par les détails du panneau de commande, par la fixation de paramètres
G05B 19/418 2006.01
GPHYSIQUE
05COMMANDE; RÉGULATION
BSYSTÈMES DE COMMANDE OU DE RÉGULATION EN GÉNÉRAL; ÉLÉMENTS FONCTIONNELS DE TELS SYSTÈMES; DISPOSITIFS DE CONTRÔLE OU DE TEST DE TELS SYSTÈMES OU ÉLÉMENTS
19Systèmes de commande à programme
02électriques
418Commande totale d'usine, c.à d. commande centralisée de plusieurs machines, p.ex. commande numérique directe ou distribuée (DNC), systèmes d'ateliers flexibles (FMS), systèmes de fabrication intégrés (IMS), productique (CIM)
CPC
G05B 19/41885
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
19Programme-control systems
02electric
418Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM]
41885characterised by modeling, simulation of the manufacturing system
G05B 2219/32128
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219Program-control systems
30Nc systems
32Operator till task planning
32128Gui graphical user interface
G05B 2219/32162
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219Program-control systems
30Nc systems
32Operator till task planning
32162Tasks or control icons are linked to form a job
G05B 2219/36025
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219Program-control systems
30Nc systems
36Nc in input of data, input key till input tape
36025Link, connect icons together to form program
G05B 2219/45031
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219Program-control systems
30Nc systems
45Nc applications
45031Manufacturing semiconductor wafers
Déposants
  • ASML NETHERLANDS B.V. [NL]/[NL]
Inventeurs
  • CHEN, Chang-Wei
  • ZENG, Si-Han
Mandataires
  • PETERS, John Antoine
Données relatives à la priorité
18208386.526.11.2018EP
19160513.804.03.2019EP
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) METHOD FOR DETERMINING ROOT CAUSES OF EVENTS OF A SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PROCESS AND FOR MONITORING A SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PROCESS
(FR) PROCÉDÉ DESTINÉ À DÉTERMINER LES CAUSES RACINES D’ÉVÉNEMENTS D’UN PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEURS ET À CONTRÔLER UN PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEURS
Abrégé
(EN)
Described is a user interface for designing, configuring and/or editing a control flow representing a control strategy associated with a semiconductor manufacturing process, the user interface comprising: a library of control elements comprising at least a control element representing a task of simulation and each control element being selectable by a user; a control flow editor configured to organize said control elements into a control flow representing the control strategy; and a communication interface for communicating the control flow to a calculation engine configured to evaluate the control flow.
(FR)
L’invention décrit une interface d’utilisateur destinée à concevoir, à configurer et/ou à modifier un flux de commande représentant une stratégie de commande associée à un procédé de fabrication de semi-conducteurs, l’interface d’utilisateur comprenant : une bibliothèque d’éléments de commande comprenant au moins un élément de commande représentant une tâche de simulation et chaque élément de commande pouvant être sélectionné par un utilisateur ; un modificateur de flux de commande configuré pour organiser lesdits éléments de commande en un flux de commande représentant la stratégie de commande ; et une interface de communication destinée à communiquer le flux de commande à un moteur de calcul configuré pour évaluer le flux de commande.
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