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1. WO2020107745 - PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE BORNE ANORMALE DE SUPPORT

Numéro de publication WO/2020/107745
Date de publication 04.06.2020
N° de la demande internationale PCT/CN2019/077963
Date du dépôt international 13.03.2019
CIB
G01M 13/00 2019.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
MTEST D'ÉQUILIBRAGE STATIQUE OU DYNAMIQUE DES MACHINES OU DES STRUCTURES OU DES OUVRAGES; TEST DES STRUCTURES, DES OUVRAGES OU DES APPAREILS, NON PRÉVU AILLEURS
13Test des pièces de machines
CPC
G01M 13/00
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
13Testing of machine parts
Déposants
  • 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 WUHAN CHINA STAR OPTOELECTRONICS SEMICONDUCTOR DISPLAY TECHNOLOGY CO., LTD. [CN]/[CN]
Inventeurs
  • 董明君 DONG, Mingjun
Mandataires
  • 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) ESSEN PATENT&TRADEMARK AGENCY
Données relatives à la priorité
201811430781.228.11.2018CN
Langue de publication chinois (ZH)
Langue de dépôt chinois (ZH)
États désignés
Titre
(EN) METHOD FOR DETECTING ABNORMAL TERMINAL OF CARRIER
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE BORNE ANORMALE DE SUPPORT
(ZH) 检测承接座的异常端子的方法
Abrégé
(EN)
A method for detecting an abnormal terminal of a carrier (1). The carrier (1) comprises a plurality of circular areas (10A, 10B), and each of the circular areas (10A, 10B) is provided with a plurality of terminals (12A, 12B) for carrying a substrate. The method comprises: placing a substrate on a plurality of terminals (12A, 12B) of a carrier (1); then, measuring values of forces received by the plurality of terminals (12A, 12B) when carrying the substrate; and then comparing the values of forces received by the plurality of terminals (12A, 12B) in a same circular area (10A, 10B) to detect an abnormal terminal corresponding to each circular area (10A, 10B).
(FR)
L'invention concerne un procédé de détection d'une borne anormale d'un support (1). Le support (1) comprend une pluralité de zones circulaires (10A, 10B), et chacune des zones circulaires (10A, 10B) est pourvue d'une pluralité de bornes (12A, 12B) servant à supporter un substrat. Le procédé consiste à : placer un substrat sur une pluralité de bornes (12A, 12B) d'un support (1) ; puis mesurer des valeurs de forces reçues par la pluralité de bornes (12A, 12B) lorsqu'elles servent de support au substrat ; puis comparer les valeurs de forces reçues par la pluralité de bornes (12A, 12B) dans une même zone circulaire (10A, 10B) pour détecter une borne anormale correspondant à chaque zone circulaire (10A, 10B).
(ZH)
一种检测承接座(1)的异常端子的方法,承接座(1)包括多个环形区域(10A、10B),各环形区域(10A、10B)设置有多个用于承接基板的端子(12A、12B),包括:放置基板于承接座(1)的多个端子(12A、12B)上;接着,测量多个端子(12A、12B)承接基板时的受力值;然后,比较同一个环形区域(10A、10B)内的多个端子(12A、12B)的受力值,以检测得到对应于各环形区域(10A、10B)的异常端子。
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