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1. WO2020095600 - DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MESURE D'ÉPAISSEUR DE FILM D'OXYDE

Numéro de publication WO/2020/095600
Date de publication 14.05.2020
N° de la demande internationale PCT/JP2019/039544
Date du dépôt international 07.10.2019
CIB
G01B 11/06 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
02pour mesurer la longueur, la largeur ou l'épaisseur
06pour mesurer l'épaisseur
G01J 5/00 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
JMESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
5Pyrométrie des radiations
C23C 2/06 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
23REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
CREVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
2Procédés de trempage à chaud ou d'immersion pour appliquer le matériau de revêtement à l'état fondu sans modifier la forme de l'objet immergé; Appareils à cet effet
04caractérisé par le matériau de revêtement
06Zinc ou cadmium ou leurs alliages
Déposants
  • 株式会社神戸製鋼所 KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.) [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 乾 昌広 INUI, Masahiro
  • 高枩 弘行 TAKAMATSU, Hiroyuki
  • 中西 良太 NAKANISHI, Ryota
Mandataires
  • 小谷 悦司 KOTANI, Etsuji
  • 小谷 昌崇 KOTANI, Masataka
  • 櫻井 智 SAKURAI, Satoshi
Données relatives à la priorité
2018-21133409.11.2018JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) OXIDE FILM THICKNESS MEASUREMENT DEVICE AND METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MESURE D'ÉPAISSEUR DE FILM D'OXYDE
(JA) 酸化膜厚測定装置および該方法
Abrégé
(EN)
This oxide film thickness measurement device stores, for each of a plurality of sub-film-thickness measurement ranges obtained by dividing a film thickness measurement range, film thickness conversion information about the correspondence relationship between film thickness and emissivity resulting in the ratio of emissivity variation to film thickness variation within the sub-film-thickness measurement range being within a set range; measures the radiation brightnesses of the surface of a steel sheet at a plurality of different measurement wavelengths and the temperature of the surface of the steel sheet and determines the emissivities at each measurement wavelength; for each emissivity determined for each measurement wavelength, uses the film thickness conversion information corresponding to the measurement wavelength to determine the film thickness corresponding to the emissivity at the measurement wavelength and the ratio at the film thickness; and if the determined ratio is within a prescribed set range associated with the film thickness conversion information, extracts the determined film thickness as a candidate value for the actual film thickness.
(FR)
Le présent dispositif de mesure d'épaisseur de film d'oxyde stocke, pour chacune d'une pluralité de plages de mesure d'épaisseur de sous-film obtenues en divisant une plage de mesure d'épaisseur de film, des informations de conversion d'épaisseur de film concernant la relation de correspondance entre l'épaisseur de film et l'émissivité résultant du coefficient de variation d'émissivité par rapport à une variation d'épaisseur de film à l'intérieur de la plage de mesure d'épaisseur de sous-film se situant dans une plage définie ; mesure les luminosités de rayonnement de la surface d'une feuille d'acier à une pluralité de longueurs d'onde de mesure différentes et la température de la surface de la feuille d'acier et détermine les émissivités à chaque longueur d'onde de mesure ; pour chaque émissivité déterminée pour chaque longueur d'onde de mesure, utilise les informations de conversion d'épaisseur de film correspondant à la longueur d'onde de mesure pour déterminer l'épaisseur de film correspondant à l'émissivité à la longueur d'onde de mesure et le coefficient à l'épaisseur de film ; et si le coefficient déterminé se trouve dans une plage définie prescrite associée aux informations de conversion d'épaisseur de film, extrait l'épaisseur de film déterminée en tant que valeur candidate pour l'épaisseur de film réelle.
(JA)
本発明の酸化膜厚測定装置は、膜厚測定範囲を区分けした複数のサブ膜厚測定範囲それぞれについて、このサブ膜厚測定範囲内では膜厚の変化に対する放射率の変化の割合が設定範囲内となる、膜厚と放射率との対応関係の膜厚変換情報を記憶し、鋼板表面の放射光輝度を異なる複数の測定波長で測定すると共にその温度を測定して前記複数の測定波長それぞれでの各放射率を求め、各測定波長ごとに求められた各放射率それぞれについて、当該測定波長に対応する膜厚変換情報を用いて、当該測定波長での放射率に対応する膜厚とこの膜厚での割合とを求め、この求めた割合が当該膜厚変換情報に対応付けられた所定の設定範囲内である場合に、この求めた膜厚を実際の膜厚の候補値として抽出する。
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