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1. WO2020093800 - APPAREIL DE TRANSFERT ET PROCÉDÉ DE TRANSFERT DE MICRO-ÉLÉMENT

Numéro de publication WO/2020/093800
Date de publication 14.05.2020
N° de la demande internationale PCT/CN2019/107307
Date du dépôt international 23.09.2019
CIB
H01L 21/683 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
683pour le maintien ou la préhension
Déposants
  • 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 KUNSHAN NEW FLAT PANEL DISPLAY TECHNOLOGY CENTER CO., LTD [CN]/[CN]
  • 昆山国显光电有限公司 KUNSHAN GO-VISIONOX OPTO-ELECTRONICS CO., LTD [CN]/[CN]
Inventeurs
  • 刘玉春 LIU, Yuchun
  • 洪志毅 HONG, Zhiyi
  • 王程功 WANG, Chenggong
  • 李之升 LI, Zhisheng
Mandataires
  • 广东君龙律师事务所 GUANGDONG JUNLONG LAW FIRM
Données relatives à la priorité
201811314832.506.11.2018CN
Langue de publication chinois (ZH)
Langue de dépôt chinois (ZH)
États désignés
Titre
(EN) TRANSFER APPARATUS AND TRANSFER METHOD FOR MICRO-ELEMENT
(FR) APPAREIL DE TRANSFERT ET PROCÉDÉ DE TRANSFERT DE MICRO-ÉLÉMENT
(ZH) 一种微元件的转移装置及转移方法
Abrégé
(EN)
Disclosed in the present application are a transfer apparatus and transfer method for a micro-element, the transfer apparatus comprising: a transfer substrate, said transfer substrate comprising a plurality of probes that protrude from at least one surface of the transfer substrate; a control circuit, which is connected to the plurality of probes and which is used for controlling each probe to perform a task, the plurality of probes independently attaching or releasing a designated micro-element. By means of the manner above, the present application may perform independent operations for each micro-element during a batch transfer process.
(FR)
La présente invention concerne un appareil de transfert et un procédé de transfert d'un micro-élément, l'appareil de transfert comprenant : un substrat de transfert, ledit substrat de transfert comprenant une pluralité de sondes qui font saillie à partir d'au moins une surface du substrat de transfert ; un circuit de commande, qui est connecté à la pluralité de sondes et qui est utilisé pour commander chaque sonde pour effectuer une tâche, la pluralité de sondes attachant ou libérant indépendamment un micro-élément désigné. Au moyen du procédé ci-dessus, la présente invention peut effectuer des opérations indépendantes pour chaque micro-élément pendant un processus de transfert par lots.
(ZH)
本申请公开了一种微元件的转移装置及转移方法,所述转移装置包括:转移基板,所述转移基板包括自所述转移基板的至少一表面凸起的多个探针;控制电路,与多个所述探针连接,用于控制各个所述探针进行作业,多个所述探针独立吸附或者释放选定的微元件。通过上述方式,本申请能够在批量转移过程中实现对每一颗微元件进行单独操作。
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