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1. WO2020090632 - POMPE À VIDE, ET COMPOSANT CONSTITUTIF DE POMPE À VIDE

Numéro de publication WO/2020/090632
Date de publication 07.05.2020
N° de la demande internationale PCT/JP2019/041794
Date du dépôt international 24.10.2019
CIB
F04D 19/04 2006.01
FMÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
04"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF; POMPES À LIQUIDES OU À FLUIDES COMPRESSIBLES
DPOMPES À DÉPLACEMENT NON POSITIF
19Pompes à flux axial spécialement adaptées aux fluides compressibles
02Pompes multiétagées
04spécialement adaptées pour réaliser un vide poussé, p.ex. pompes moléculaires
Déposants
  • エドワーズ株式会社 EDWARDS JAPAN LIMITED [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 坂口 祐幸 SAKAGUCHI Yoshiyuki
Données relatives à la priorité
2018-20500331.10.2018JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) VACUUM PUMP, AND VACUUM PUMP CONSTITUENT COMPONENT
(FR) POMPE À VIDE, ET COMPOSANT CONSTITUTIF DE POMPE À VIDE
(JA) 真空ポンプ、及び、真空ポンプ構成部品
Abrégé
(EN)
[Problem] To provide a vacuum pump which can efficiently cool a gas and has a low maintenance frequency. [Solution] The present invention comprises: a body casing 14 having an intake part 12 for gas and an exhaust part 13 for gas; a turbo molecular pump mechanism part 17 where stator blades 19 and rotor blades 20 are formed; a screw-groove pump mechanism part 18 provided on the downstream side of the turbo molecular pump mechanism part 17; a cooling trap part 81 that cools the gas led out from the turbo molecular pump mechanism part 17 and causes the gas to flow out to the screw-groove pump mechanism part 18 side; and a partition wall 29 that guides the gas led out from the turbo molecular pump mechanism part 17 to the cooling trap part 81.
(FR)
Le problème décrit par la présente invention est de fournir une pompe à vide qui peut refroidir efficacement un gaz et a une basse fréquence de maintenance. La solution de la présente invention comprend : un boîtier de corps 14 ayant une partie d'admission 12 pour le gaz et une partie d'échappement 13 pour le gaz ; une partie de mécanisme de pompe turbomoléculaire 17 dans laquelle des pales de stator 19 et des pales de rotor 20 sont formées ; une partie de mécanisme de pompe à rainure de vis 18 disposée sur le côté aval de la partie de mécanisme de pompe turbomoléculaire 17 ; une partie de piège de refroidissement 81 qui refroidit le gaz sortant de la partie de mécanisme de pompe turbomoléculaire 17 et amène le gaz à s'écouler en dehors du côté de la partie de mécanisme de pompe à rainure de vis 18 ; et une paroi de séparation 29 qui guide le gaz sortant de la partie de mécanisme de pompe turbomoléculaire 17 vers la partie de piège de refroidissement 81.
(JA)
【課題】ガスを効率よく冷却できるとともにメンテナンス頻度が少ない真空ポンプを提供する。 【解決手段】ガスの吸気部12と排気部13を有する本体ケーシング14と、ステータ翼19やロータ翼20が形成されたターボ分子ポンプ機構部17と、ターボ分子ポンプ機構部17の下流側に設けられたネジ溝ポンプ機構部18と、ターボ分子ポンプ機構部17から導出されたガスを冷却してネジ溝ポンプ機構部18の側へ流出させる冷却トラップ部81と、ターボ分子ポンプ機構部17から導出されたガスを冷却トラップ部81に誘導する隔壁29と、を備えた。
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