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1. WO2020090517 - DISPOSITIF DE STOCKAGE ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT

Numéro de publication WO/2020/090517
Date de publication 07.05.2020
N° de la demande internationale PCT/JP2019/041057
Date du dépôt international 18.10.2019
CIB
H01L 21/677 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
677pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
H01L 21/301 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
04les dispositifs présentant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface, p.ex. une jonction PN, une région d'appauvrissement, ou une région de concentration de porteurs de charges
18les dispositifs ayant des corps semi-conducteurs comprenant des éléments du groupe IV de la classification périodique, ou des composés AIIIBV, avec ou sans impuretés, p.ex. des matériaux de dopage
30Traitement des corps semi-conducteurs en utilisant des procédés ou des appareils non couverts par les groupes H01L21/20-H01L21/26162
301pour subdiviser un corps semi-conducteur en parties distinctes, p.ex. cloisonnement en zones séparées
Déposants
  • 三星ダイヤモンド工業株式会社 MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD. [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 奥田 修 OKUDA, Osamu
Mandataires
  • 芝野 正雅 SHIBANO, Masanori
  • 大橋 誠 OHASHI, Makoto
Données relatives à la priorité
2018-20563031.10.2018JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) STORAGE DEVICE AND SUBSTRATE PROCESSING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE STOCKAGE ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
(JA) 収納装置および基板加工装置
Abrégé
(EN)
A plurality of substrates (W) is housed stacked in cassettes (10, 20) so as to be capable of being pulled out, and this storage device (100) stores the cassettes (10, 20) such that the substrates (W) can be pulled out from the cassettes (10, 20) and subjected to a processing step. The storage device is provided with: a mounting unit (110) on which a cassette (10, 20) is detachably mounted; a moving unit (120) which moves the mounting unit (110) horizontally between an attaching/detaching position of the cassette (10, 20) and a storage position of the cassette (10, 20); and a restricting unit (130) which is supported on the mounting unit (110) so as to enable raising and lowering, and which faces the end surface at the back side of the cassette (10, 20) mounted on the mounting unit (110).
(FR)
La présente invention concerne une pluralité de substrats (W) qui sont logés empilés dans des cassettes (10, 20) de manière à pouvoir être retirés, et un dispositif de stockage (100) qui stocke les cassettes (10, 20) de telle sorte que les substrats (W) peuvent être extraits des cassettes (10, 20) et soumis à une étape de traitement. Le dispositif de stockage est pourvu : d'une unité de montage (110) sur laquelle une cassette (10, 20) est montée de manière amovible ; d'une unité de déplacement (120) qui déplace l'unité de montage (110) horizontalement entre une position de fixation/séparation de la cassette (10, 20) et une position de stockage de la cassette (10, 20) ; et d'une unité de restriction (130) qui est supportée sur l'unité de montage (110) de façon à permettre l'élévation et l'abaissement, et qui fait face à la surface d'extrémité au niveau du côté arrière de la cassette (10, 20) montée sur l'unité de montage (110).
(JA)
複数の基板(W)が引き出し可能に積層して収容されたカセット(10、20)から基板(W)を引き出して処理工程に供するために、カセット(10、20)を収納する収納装置(100)であって、カセット(10、20)が着脱可能に載置される載置部(110)と、カセット(10、20)の着脱位置とカセット(10、20)の収納位置との間で載置部(110)を水平に移動させる移動部(120)と、載置部(110)に昇降可能に支持され、載置部(110)に載置されたカセット(10、20)の奥側の端面に対向する規制部(130)と、を備える。
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