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1. WO2020087972 - INDUCTEUR SOLÉNOÏDE MEMS ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION

Numéro de publication WO/2020/087972
Date de publication 07.05.2020
N° de la demande internationale PCT/CN2019/095062
Date du dépôt international 08.07.2019
CIB
H01F 17/00 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
FAIMANTS; INDUCTANCES; TRANSFORMATEURS; EMPLOI DE MATÉRIAUX SPÉCIFIÉS POUR LEURS PROPRIÉTÉS MAGNÉTIQUES
17Inductances fixes du type pour signaux
H01F 27/245 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
FAIMANTS; INDUCTANCES; TRANSFORMATEURS; EMPLOI DE MATÉRIAUX SPÉCIFIÉS POUR LEURS PROPRIÉTÉS MAGNÉTIQUES
27Détails de transformateurs ou d'inductances, en général
24Noyaux magnétiques
245fabriqués à partir de tôles, p.ex. à grains orientés
Déposants
  • 北京航空航天大学 BEIHANG UNIVERSITY [CN]/[CN]
Inventeurs
  • 徐天彤 XU, Tiantong
  • 陶智 TAO, Zhi
  • 李海旺 LI, Haiwang
  • 孙加冕 SUN, Jiamian
Mandataires
  • 北京路浩知识产权代理有限公司 CN-KNOWHOW INTELLECTUAL PROPERTY AGENT LIMITED
Données relatives à la priorité
201811277260.830.10.2018CN
201811509400.X11.12.2018CN
Langue de publication chinois (ZH)
Langue de dépôt chinois (ZH)
États désignés
Titre
(EN) MEMS SOLENOID INDUCTOR AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
(FR) INDUCTEUR SOLÉNOÏDE MEMS ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(ZH) 一种MEMS螺线管电感器及其制造方法
Abrégé
(EN)
Embodiments of the present application provide an MEMS solenoid inductor, comprising a silicon substrate, a soft magnetic core, and a solenoid, wherein the soft magnetic core is wrapped at the inner portion of the silicon substrate, the silicon substrate is provided with a spiral hole channel, the soft magnetic core passes through the center of the spiral hole channel, and the solenoid is provided in the spiral hole channel. By providing the soft magnetic core and solenoid of the inductor complete at the inner portion of the silicon substrate, the thickness of the silicon substrate is fully used, the obtained winding cross-section area of the inductor is large, the magnetic flux is increased, and the inductance value of the inductor is increased. Moreover, the silicon substrate can protect the soft magnetic core and the solenoid, the strength of the inductor is improved, and the impact resistance is good.
(FR)
Des modes de réalisation de la présente invention concernent un inducteur solénoïde MEMS, comprenant un substrat de silicium, un noyau magnétique doux et un solénoïde, le noyau magnétique doux étant enroulé au niveau de la partie interne du substrat de silicium, le substrat de silicium étant pourvu d'un canal à trou en spirale, le noyau magnétique doux passant à travers le centre du canal à trou en spirale, et le solénoïde étant disposé dans le canal à trou en spirale. En fournissant le noyau magnétique doux et le solénoïde de l'inducteur ensemble au niveau de la partie interne du substrat de silicium, l'épaisseur du substrat de silicium est entièrement utilisée, la surface de section transversale d'enroulement obtenue de l'inducteur est importante, le flux magnétique est augmenté et la valeur d'inductance de l'inducteur est augmentée. De plus, le substrat en silicium peut protéger le noyau magnétique doux et le solénoïde, la résistance de l'inducteur est améliorée et la résistance au choc est bonne.
(ZH)
本申请实施例提供了一种MEMS螺线管电感器,包括:硅衬底、软磁铁芯和螺线管;其中,所述软磁铁芯包裹在所述硅衬底内部,所述硅衬底上设置有螺旋孔道,且所述软磁铁芯穿过所述螺旋孔道的中心,所述螺线管设置在所述螺旋孔道中。通过将电感器的软磁铁芯及螺线管全部设置在硅衬底的内部,充分利用了硅衬底的厚度,得到的电感器的绕组横截面积更大,提高了磁通量,使得电感器的电感值增大;同时,硅衬底能够对软磁铁芯及螺线管起到保护作用,提高了电感器的强度,抗冲击性能好。
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