Traitement en cours

Veuillez attendre...

Paramétrages

Paramétrages

Goto Application

1. WO2020072198 - RACCORD ROTATIF AVEC ENSEMBLE JOINT D'ÉTANCHÉITÉ MÉCANIQUE

Numéro de publication WO/2020/072198
Date de publication 09.04.2020
N° de la demande internationale PCT/US2019/051643
Date du dépôt international 18.09.2019
CIB
F16J 15/36 2006.01
FMÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
16ÉLÉMENTS OU ENSEMBLES DE TECHNOLOGIE; MESURES GÉNÉRALES POUR ASSURER LE BON FONCTIONNEMENT DES MACHINES OU INSTALLATIONS; ISOLATION THERMIQUE EN GÉNÉRAL
JPISTONS; CYLINDRES; RÉCIPIENTS SOUS PRESSION EN GÉNÉRAL; JOINTS D'ÉTANCHÉITÉ
15Joints d'étanchéité
16entre deux surfaces mobiles l'une par rapport à l'autre
34par bague glissante pressée contre la face plus ou moins radiale d'une des deux parties
36reliée par un diaphragme à l'autre partie
F16J 15/16 2006.01
FMÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
16ÉLÉMENTS OU ENSEMBLES DE TECHNOLOGIE; MESURES GÉNÉRALES POUR ASSURER LE BON FONCTIONNEMENT DES MACHINES OU INSTALLATIONS; ISOLATION THERMIQUE EN GÉNÉRAL
JPISTONS; CYLINDRES; RÉCIPIENTS SOUS PRESSION EN GÉNÉRAL; JOINTS D'ÉTANCHÉITÉ
15Joints d'étanchéité
16entre deux surfaces mobiles l'une par rapport à l'autre
F16J 15/324 2016.01
FMÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
16ÉLÉMENTS OU ENSEMBLES DE TECHNOLOGIE; MESURES GÉNÉRALES POUR ASSURER LE BON FONCTIONNEMENT DES MACHINES OU INSTALLATIONS; ISOLATION THERMIQUE EN GÉNÉRAL
JPISTONS; CYLINDRES; RÉCIPIENTS SOUS PRESSION EN GÉNÉRAL; JOINTS D'ÉTANCHÉITÉ
15Joints d'étanchéité
16entre deux surfaces mobiles l'une par rapport à l'autre
32par joints élastiques, p.ex. joints toriques
324Agencements pour graissage ou refroidissement du joint d’étanchéité lui-même
H01L 21/67 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
CPC
H01L 21/67109
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
67011Apparatus for manufacture or treatment
67098Apparatus for thermal treatment
67109mainly by convection
H01L 21/67126
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
67011Apparatus for manufacture or treatment
67126Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
H01L 21/68785
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
683for supporting or gripping
687using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
68714the wafers being placed on a susceptor, stage or support
68785characterised by the mechanical construction of the susceptor, stage or support
H01L 21/68792
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
683for supporting or gripping
687using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
68714the wafers being placed on a susceptor, stage or support
68792characterised by the construction of the shaft
Déposants
  • APPLIED MATERIALS, INC. [US]/[US]
Inventeurs
  • MITCHELL, Robert J.
  • COLOM, Guillermo
Mandataires
  • CHAMBERLAIN, Jeffrey
Données relatives à la priorité
16/152,92805.10.2018US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) ROTARY UNION WITH MECHANICAL SEAL ASSEMBLY
(FR) RACCORD ROTATIF AVEC ENSEMBLE JOINT D'ÉTANCHÉITÉ MÉCANIQUE
Abrégé
(EN)
Disclosed is a rotary union including an inner shaft, wherein the inner shaft is rotatable and includes an internal channel operable to deliver a cryogenic fluid to a platen. The rotary union may further include a rotary union shaft surrounding the inner shaft, and a seal assembly coupled to the rotary union shaft. The seal assembly may include a support, a metal bellows extending around an exterior of the support, and a seal support coupled to the metal bellows, wherein the seal support extends around the support. The seal assembly may further include a non-rotating seal component seated in the seal support, and a rotating seal component in abutment with the non-rotating seal component to create a mechanical seal therebetween.
(FR)
L'invention concerne un raccord rotatif comprenant un arbre interne, dans lequel raccord l'arbre interne est rotatif et comprend un canal interne pouvant fonctionner de façon à délivrer un fluide cryogénique à un plateau. Le raccord rotatif peut en outre comprendre un arbre de raccord rotatif entourant l'arbre interne, et un ensemble joint d'étanchéité couplé à l'arbre de raccord rotatif. L'ensemble joint d'étanchéité peut comprendre un support, un soufflet métallique s'étendant autour de l'extérieur du support, et un support de joint d'étanchéité couplé au soufflet métallique, le support de joint d'étanchéité s'étendant autour du support. L'ensemble joint d'étanchéité peut en outre comprendre un composant d'étanchéité non rotatif logé dans le support de joint d'étanchéité, et un composant d'étanchéité rotatif en butée conte le composant d'étanchéité non rotatif pour créer un joint d'étanchéité mécanique entre ceux-ci.
Également publié en tant que
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international