Traitement en cours

Veuillez attendre...

Paramétrages

Paramétrages

Goto Application

1. WO2020070128 - SYSTÈME ET PROCÉDÉ POUR INSÉRER UN ÉCHANTILLON DANS UNE CHAMBRE

Numéro de publication WO/2020/070128
Date de publication 09.04.2020
N° de la demande internationale PCT/EP2019/076594
Date du dépôt international 01.10.2019
CIB
B01L 1/02 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
01PROCÉDÉS OU APPAREILS PHYSIQUES OU CHIMIQUES EN GÉNÉRAL
LAPPAREILS DE LABORATOIRE POUR LA CHIMIE OU LA PHYSIQUE, À USAGE GÉNÉRAL
1Enceintes; Chambres
02Chambres pressurisées; Leurs sas
B01L 7/00 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
01PROCÉDÉS OU APPAREILS PHYSIQUES OU CHIMIQUES EN GÉNÉRAL
LAPPAREILS DE LABORATOIRE POUR LA CHIMIE OU LA PHYSIQUE, À USAGE GÉNÉRAL
7Appareils de chauffage ou de refroidissement; Dispositifs d'isolation thermique
H01J 37/18 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02Détails
18Fermetures étanches
CPC
B01L 1/02
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
1Enclosures; Chambers
02Air-pressure chambers; Air-locks therefor
B01L 2200/026
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
2200Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
02Adapting objects or devices to another
026Fluid interfacing between devices or objects, e.g. connectors, inlet details
B01L 2300/041
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
2300Additional constructional details
04Closures and closing means
041Connecting closures to device or container
B01L 2300/047
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
2300Additional constructional details
04Closures and closing means
046Function or devices integrated in the closure
047Additional chamber, reservoir
B01L 7/50
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
7Heating or cooling apparatus
50Cryostats
H01J 2237/184
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
18Vacuum control means
184Vacuum locks
Déposants
  • KIUTRA GMBH [DE]/[DE]
Inventeurs
  • SPALLEK, Jan Peter
  • REGNAT, Alexander
  • EIBENSTEINER, Klaus Bernhard
Mandataires
  • LUCKE, Andreas
Données relatives à la priorité
18198846.005.10.2018EP
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) SYSTEM AND METHOD FOR INSERTING A SAMPLE INTO A CHAMBER
(FR) SYSTÈME ET PROCÉDÉ POUR INSÉRER UN ÉCHANTILLON DANS UNE CHAMBRE
Abrégé
(EN)
A sample insertion system (10) comprises a channel (12), a sealing element (16) and a vacuum device (18). The channel (12) has a port (14) connectable to a chamber such as a cryostat. The vacuum device (18) may decrease a pressure in the channel (12). The sealing element (16) is arranged in the channel (12) and seals off a volume (V) from the channel. The sealing element (16) comprises a carrier member to carry a sample. The sealing element (16) is configured to move the carrier member towards the port (14) in response to the pressure in the channel (12) decreasing below a pressure in the volume (V) sealed-off by the sealing element (16). This may help reducing an access time when inserting the sample into the chamber.
(FR)
Un système d'insertion d'échantillon (10) comprend un canal (12), un élément d'étanchéité (16) et un dispositif à vide (18). Le canal (12) comporte un orifice (14) pouvant être relié à une chambre telle qu'un cryostat. Le dispositif à vide (18) peut réduire la pression dans le canal (12). L'élément d'étanchéité (16) est disposé dans le canal (12) et délimite hermétiquement un volume (V) du canal. L'élément d'étanchéité (16) comprend un élément de support pour transporter un échantillon. L'élément d'étanchéité (16) est configuré pour déplacer l'élément de support vers l'orifice (14) en réponse à la diminution de la pression dans le canal (12) jusqu'à une valeur inférieure à la pression régnant dans le volume (V) refermé hermétiquement par l'élément d'étanchéité (16). Ceci peut contribuer à réduire le temps d'accès lors de l'insertion de l'échantillon dans la chambre.
Également publié en tant que
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international