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1. WO2020069989 - UNITÉ DE TRANSPORT ET PROCÉDÉ POUR L'ENTRÉE OU LA SORTIE PARALLÈLE DE SUPPORTS DE SUBSTRAT DANS DES TUBES DE PROCÉDÉ

Numéro de publication WO/2020/069989
Date de publication 09.04.2020
N° de la demande internationale PCT/EP2019/076147
Date du dépôt international 27.09.2019
CIB
H01L 21/677 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
677pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
CPC
H01J 37/32
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
H01J 37/32779
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32431Constructional details of the reactor
32733Means for moving the material to be treated
32752for moving the material across the discharge
32761Continuous moving
32779of batches of workpieces
H01L 21/67742
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
67739into and out of processing chamber
67742Mechanical parts of transfer devices
H01L 21/67754
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
67739into and out of processing chamber
67754horizontal transfer of a batch of workpieces
Déposants
  • CENTROTHERM INTERNATIONAL AG [DE]/[DE]
Inventeurs
  • LEICHTLE, Roland
  • REIZE, Ralf
  • SCHULZ, Sebastian Hubertus
Mandataires
  • KLANG, Alexander H.
Données relatives à la priorité
10 2018 216 878.401.10.2018DE
Langue de publication allemand (DE)
Langue de dépôt allemand (DE)
États désignés
Titre
(DE) TRANSPORTEINHEIT UND VERFAHREN FÜR PARALLELES EINFAHREN ODER AUSFAHREN VON SUBSTRATTRÄGERN IN PROZESSROHRE
(EN) TRANSPORT UNIT AND METHOD FOR THE PARALLEL INSERTION OR RETRACTION OF SUBSTRATE CARRIERS INTO PROCESS TUBES
(FR) UNITÉ DE TRANSPORT ET PROCÉDÉ POUR L'ENTRÉE OU LA SORTIE PARALLÈLE DE SUPPORTS DE SUBSTRAT DANS DES TUBES DE PROCÉDÉ
Abrégé
(DE)
Es sind eine Transporteinheit für paralleles Einfahren oder Ausfahren von Substratträgern, insbesondere von Waferbooten für Halleitersubstrate, in parallele Prozessrohre bzw. aus diesen heraus, sowie ein Verfahren zum gleichzeitigen Beladen von parallelen, horizontal beabstandeten Prozessrohren offenbart. Die Transporteinheit weist eine horizontale Führung auf, die sich geradlinig in einer ersten Richtung erstreckt, die einer Richtung zum Einfahren oder Ausfahren von Substratträgern entspricht, eine vertikale Führung, die in der ersten Richtung entlang der horizontalen Führung bewegbar geführt ist, einen Gabelträger, der entlang der vertikalen Führung auf und ab bewegbar geführt ist sowie zwei langgestreckte Gabelelemente, die am Gabelträger angebracht und mit diesem entlang der vertikalen Führung bewegbar sind, wobei sich jedes Gabelelement in der ersten Richtung erstreckt und konfiguriert ist einen Substratträger aufzunehmen, und wobei die Gabelelemente derart am Gabeiträger angebracht sind, dass die Gabelelemente horizontal in einer zweiten Richtung senkrecht zur ersten Richtung bewegbar sind. Ferner weist die Transporteinheit Antriebselemente zum steuerbaren Bewirken einer Bewegung der vertikalen Führung entlang der horizontalen Führung, einer Bewegung des Gabelträgers entlang der vertikalen Führung und einer Bewegung der Gabelelemente in der zweiten Richtung. Das Verfahren zum gleichzeitigen Beladen weist folgende Schritte auf: Beladen von zwei langgestreckten sich parallel in der ersten Richtung erstreckenden, horizontal beabstandeten Gabelelementen mit jeweils einem Substratträger; gemeinsames vertikales Ausrichten der Gabelelemente mit den Prozessrohren; horizontales Ausrichten der Gabelelemente mit Substratträger zu den Prozess rohren durch horizontale Bewegung wenigstens eines Gabelelements in einer zweiten Richtung senkrecht zur ersten Richtung; gemeinsames horizontales Einfahren der Gabelelemente mit Substratträger entlang der ersten Richtung in die Prozessrohre derart, dass jeweils ein Gabelelement mit Substratträger in eine entsprechendes der Prozessrohre einfährt; gemeinsames Absetzen der Substratträger im jeweiligen Prozess rohr; und gemeinsames Ausfahren der Gabelelemente aus den Prozessrohren.
(EN)
The invention relates to a transport unit for the parallel insertion or retraction of substrate carriers, in particular wafer boats for semiconductor substrates, into or from parallel process tubes, and to a method for the simultaneous loading of parallel, horizontally spaced process tubes. The transport unit comprises: a horizontal guide which extends rectilinearly in a first direction corresponding to a direction for the insertion or retraction of substrate carriers; a vertical guide which is movably guided in the first direction along the horizontal guide; a fork carrier which is movably guided up and down along the vertical guide; and two elongate fork elements which are mounted on the fork carrier and can be moved therewith along the vertical guide, wherein each fork element extends in the first direction and is designed to accommodate a substrate carrier, and wherein the fork elements are mounted on the fork carrier such that the fork elements are horizontally movable in a second direction perpendicular to the first direction. The transport unit also comprises drive elements for causing, in a controllable manner, the vertical guide to move along the horizontal guide, the fork carrier to move along the vertical guide, and the fork elements to move in the second direction. The method for simultaneous loading has the following steps: loading a substrate carrier onto each of two elongate, horizontally spaced fork elements extending in parallel in the first direction; vertically aligning, in tandem, the fork elements with the process tubes; horizontally aligning the fork elements provided with substrate carriers with the process tubes, by horizontally moving at least one fork element in a second direction perpendicular to the first direction; horizontally inserting, in tandem, the fork elements provided with substrate carriers into the process tubes along the first direction, such that each fork element provided with a substrate carrier is inserted into a corresponding process tube; depositing, in tandem, the substrate carriers in their respective process tubes; and retracting, in tandem, the fork elements from the process tubes.
(FR)
L’invention concerne une unité de transport pour l'entrée ou la sortie parallèle de supports de substrat, en particulier de portes-plaquettes pour des substrats semi-conducteurs, dans des tubes de procédé parallèles ou hors de ceux-ci, ainsi qu’un procédé pour le chargement simultané de tubes de procédé parallèles espacés horizontalement. L'unité de transport comprend un guidage horizontal, qui s'étend en ligne droite dans une première direction, qui correspond à und direction pour l'entrée ou la sortie de supports de substrat, un guidage vertical, qui est guidé mobile dans la première direction le long du guidage horizontal, un tablier porte-fourche, qui est guidé mobile vers le haut et vers le bas le long du guidage vertical, ainsi que deux éléments de fourche allongés, qui sont montés sur le tablier porte-fourche et peuvent être déplacés avec celui-ci le long du guidage vertical, chaque élément de fourche étant étendu dans la première direction et configuré pour recevoir un support de substrat, et les éléments de fourche étant montés de telle façon sur le tablier porte-fourche que les éléments de fourche peuvent être déplacés horizontalement dans une deuxième direction perpendiculaire à la première direction. L'unité de transport comprend en outre des éléments d’entraînement pour la provocation contrôlable d’un mouvement du guidage vertical le long du guidage horizontal, d’un mouvement du tablier porte-fourche le long du guidage vertical et d’un mouvement des éléments de fourche dans la deuxième direction. Le procédé pour le chargement simultané comprend les étapes suivantes : chargement de deux éléments de fourche allongés espacés horizontalement s'étendant parallèlement dans la première direction avec respectivement un support de substrat ; alignement vertical commun des éléments de fourche sur les tubes de procédé ; alignement horizontal des éléments de fourche comprenant des supports de substrat sur les tubes de procédé par un mouvement horizontal d’au moins un élément de fourche dans une deuxième direction perpendiculaire à la première direction ; entrée horizontale commune des éléments de fourche comprenant des supports de substrat le long de la première direction dans les tubes de procédé de telle façon qu’un élément de fourche comprenant un support de substrat entre respectivement dans un correspondant des tubes de procédé ; dépôt commun des supports de substrat dans le tube de procédé respectif ; et sortie commune des éléments de fourche hors des tubes de procédé.
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