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1. WO2020069482 - DISPOSITIF D'AFFICHAGE MEMS AVEC UNE CHARNIÈRE VERTICALE

Numéro de publication WO/2020/069482
Date de publication 02.04.2020
N° de la demande internationale PCT/US2019/053713
Date du dépôt international 29.09.2019
CIB
G02B 6/42 2006.01
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
6Guides de lumière; Détails de structure de dispositions comprenant des guides de lumière et d'autres éléments optiques, p.ex. des moyens de couplage
24Couplage de guides de lumière
42Couplage de guides de lumière avec des éléments opto-électroniques
G02B 26/12 2006.01
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
26Dispositifs ou systèmes optiques utilisant des éléments optiques mobiles ou déformables pour commander l'intensité, la couleur, la phase, la polarisation ou la direction de la lumière, p.ex. commutation, ouverture de porte ou modulation
08pour commander la direction de la lumière
10Systèmes de balayage
12utilisant des miroirs à facettes multiples
G02F 1/29 2006.01
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
FDISPOSITIFS OU SYSTÈMES DONT LE FONCTIONNEMENT OPTIQUE EST MODIFIÉ PAR CHANGEMENT DES PROPRIÉTÉS OPTIQUES DU MILIEU CONSTITUANT CES DISPOSITIFS OU SYSTÈMES ET DESTINÉS À LA COMMANDE DE L'INTENSITÉ, DE LA COULEUR, DE LA PHASE, DE LA POLARISATION OU DE LA DIRECTION DE LA LUMIÈRE, p.ex. COMMUTATION, OUVERTURE DE PORTE, MODULATION OU DÉMODULATION; TECHNIQUES NÉCESSAIRES AU FONCTIONNEMENT DE CES DISPOSITIFS OU SYSTÈMES; CHANGEMENT DE FRÉQUENCE; OPTIQUE NON LINÉAIRE; ÉLÉMENTS OPTIQUES LOGIQUES; CONVERTISSEURS OPTIQUES ANALOGIQUES/NUMÉRIQUES
1Dispositifs ou systèmes pour la commande de l'intensité, de la couleur, de la phase, de la polarisation ou de la direction de la lumière arrivant d'une source lumineuse indépendante, p.ex. commutation, ouverture de porte ou modulation; Optique non linéaire
29pour la commande de la position ou de la direction des rayons lumineux, c. à d. déflexion
G03F 7/027 2006.01
GPHYSIQUE
03PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
FPRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
004Matériaux photosensibles
027Composés photopolymérisables non macromoléculaires contenant des doubles liaisons carbone-carbone, p.ex. composés éthyléniques
G03F 7/038 2006.01
GPHYSIQUE
03PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
FPRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
004Matériaux photosensibles
038Composés macromoléculaires rendus insolubles ou sélectivement mouillables
CPC
G02B 26/12
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08for controlling the direction of light
10Scanning systems
12using multifaceted mirrors
G02B 6/42
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
6Light guides
24Coupling light guides
42Coupling light guides with opto-electronic elements
G02F 1/29
GPHYSICS
02OPTICS
FDEVICES OR ARRANGEMENTS, THE OPTICAL OPERATION OF WHICH IS MODIFIED BY CHANGING THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIUM OF THE DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF THE INTENSITY, COLOUR, PHASE, POLARISATION OR DIRECTION OF LIGHT, e.g. SWITCHING, GATING, MODULATING OR DEMODULATING; TECHNIQUES OR PROCEDURES FOR THE OPERATION THEREOF; FREQUENCY-CHANGING; NON-LINEAR OPTICS; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
1Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating, or modulating; Non-linear optics
29for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
Déposants
  • IGNITE, INC. [JP]/[JP]
  • ISHII, Fusao [US]/[US] (US)
  • STONE, Victor [US]/[US] (US)
  • TORIKAI, Toshitaka [JP]/[JP] (US)
Inventeurs
  • ISHII, Fusao
  • STONE, Victor
  • TORIKAI, Toshitaka
Mandataires
  • DEMARCO, John
  • KNIGHT, Michelle
Données relatives à la priorité
62/739,17529.09.2018US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) A MEMS DISPLAY DEVICE WITH A VERTICAL HINGE
(FR) DISPOSITIF D'AFFICHAGE MEMS AVEC UNE CHARNIÈRE VERTICALE
Abrégé
(EN)
A micro-electro-mechanical systems device includes a substrate, each of an electronic circuit, an etch stop layer, and a hinge base mounted on the substrate, and an electrode connected to the circuit. A hinge is mounted on the base and is made of a doped semiconductor. The hinge includes a vertical support that extends vertically from the base, and a horizontally-extending hinge tab contacts the vertical support. The device also includes a movable mirror and a mirror via that couples the mirror to the hinge tab. The mirror is electrostatically attracted to the electrode responsive to application of a voltage between the electrode and the mirror, and movement of the mirror changes a relative position between the hinge tab and the vertical support. A stopper is mounted on the substrate that mechanically stops the movement of the mirror before the mirror contacts the electrode or etch stop layer.
(FR)
L'invention concerne un dispositif à systèmes micro-électromécaniques comprenant un substrat, ainsi qu'un circuit électronique, une couche d'arrêt de gravure et une base de charnière chacun montés sur le substrat, et une électrode connectée au circuit. Une charnière est montée sur la base et elle est constituée d'un semiconducteur dopé. La charnière comprend un support vertical qui s'étend verticalement à partir de la base, et une patte de charnière qui s'étend horizontalement et entre en contact avec le support vertical. Le dispositif comprend également un miroir mobile et un trou de liaison de miroir qui couple le miroir à la patte de charnière. Le miroir est attiré électrostatiquement par l'électrode en réponse à l'application d'une tension entre l'électrode et le miroir, et le mouvement du miroir modifie une position relative entre la patte de charnière et le support vertical. Une butée est montée sur le substrat qui arrête mécaniquement le mouvement du miroir avant que le miroir entre en contact avec l'électrode ou la couche d'arrêt de gravure.
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