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1. WO2020068598 - APPAREIL DE FORMATION DE CIBLE

Numéro de publication WO/2020/068598
Date de publication 02.04.2020
N° de la demande internationale PCT/US2019/052285
Date du dépôt international 20.09.2019
CIB
H05G 2/00 2006.01
HÉLECTRICITÉ
05TECHNIQUES ÉLECTRIQUES NON PRÉVUES AILLEURS
GTECHNIQUE DES RAYONS X
2Appareils ou procédés spécialement adaptés à la production de rayons X, n'utilisant pas de tubes à rayons X, p.ex. utilisant la génération d'un plasma
H01L 41/313 2013.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
41Dispositifs piézo-électriques en général; Dispositifs électrostrictifs en général; Dispositifs magnétostrictifs en général; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Détails
22Procédés ou appareils spécialement adaptés à l'assemblage, la fabrication ou au traitement de dispositifs piézo-électriques ou électrostrictifs, ou de leurs parties constitutives
31Application de parties ou de corps piézo-électriques ou électrostrictifs sur un élément électrique ou sur un autre support
312par laminage ou collage de corps piézo-électriques ou électrostrictifs
313par fusion de métal ou avec des adhésifs
CPC
H01L 41/313
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
22Processes or apparatus specially adapted for the assembly, manufacture or treatment of piezo-electric or electrostrictive devices or of parts thereof
31Applying piezo-electric or electrostrictive parts or bodies onto an electrical element or another base
312by laminating or bonding of piezo-electric or electrostrictive bodies
313by metal fusing or with adhesives
H05G 2/006
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
GX-RAY TECHNIQUE
2Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
001X-ray radiation generated from plasma
003being produced from a liquid or gas
006details of the ejection system, e.g. constructional details of the nozzle
Déposants
  • ASML NETHERLANDS B.V. [NL]/[NL]
Inventeurs
  • VASCHENKO, Georgiy Olegovich
Mandataires
  • MARCELLI, Mark
Données relatives à la priorité
62/735,42024.09.2018US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) TARGET FORMATION APPARATUS
(FR) APPAREIL DE FORMATION DE CIBLE
Abrégé
(EN)
A system for an extreme ultraviolet light source includes a capillary tube, the capillary tube including a sidewall extending from a first end to a second end, the sidewall including an exterior wall and an interior wall, the interior wall defining a passage that extends from the first end to the second end; an actuator configured to be positioned at the exterior wall of the capillary tube; and an adhesive between the exterior wall and the actuator, the adhesive being configured to mechanically couple the actuator and the capillary tube, wherein the adhesive occupies a volume that remains substantially the same or expands as a result of curing.
(FR)
L'invention concerne un système destiné à une source de lumière ultraviolette extrême comprenant un tube capillaire, le tube capillaire comprenant une paroi latérale s'étendant d'une première extrémité à une seconde extrémité, la paroi latérale comprenant une paroi extérieure et une paroi intérieure, la paroi intérieure délimitant un passage qui s'étend de la première extrémité à la seconde extrémité ; un actionneur conçu pour être positionné au niveau de la paroi extérieure du tube capillaire ; et un adhésif entre la paroi extérieure et l'actionneur, l'adhésif étant conçu pour accoupler mécaniquement l'actionneur et le tube capillaire, l'adhésif occupant un volume qui demeure sensiblement le même ou se dilate suite au durcissement.
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