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1. WO2020068271 - ENSEMBLE PLAQUE ET SON PROCÉDÉ D'ASSEMBLAGE

Numéro de publication WO/2020/068271
Date de publication 02.04.2020
N° de la demande internationale PCT/US2019/044557
Date du dépôt international 31.07.2019
CIB
B24B 5/02 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
24MEULAGE; POLISSAGE
BMACHINES, DISPOSITIFS OU PROCÉDÉS POUR MEULER OU POUR POLIR; DRESSAGE OU REMISE EN ÉTAT DES SURFACES ABRASIVES; ALIMENTATION DES MACHINES EN MATÉRIAUX DE MEULAGE, DE POLISSAGE OU DE RODAGE
5Machines ou dispositifs pour meuler des surfaces de révolution des pièces, y compris ceux qui meulent également des surfaces planes adjacentes; Accessoires à cet effet
02possédant des pointes ou des mandrins pour maintenir la pièce
CPC
B08B 1/007
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
08CLEANING
BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
1Cleaning by methods involving the use of tools, brushes, or analogous members
007having means to clean the cleaning members before, during or after use
B24B 37/005
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
24GRINDING; POLISHING
BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING
37Lapping machines or devices; Accessories
005Control means for lapping machines or devices
B24B 37/12
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
24GRINDING; POLISHING
BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING
37Lapping machines or devices; Accessories
11Lapping tools
12Lapping plates for working plane surfaces
B24B 37/20
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
24GRINDING; POLISHING
BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING
37Lapping machines or devices; Accessories
11Lapping tools
20Lapping pads for working plane surfaces
Déposants
  • APPLIED MATERIALS, INC. [US]/[US]
Inventeurs
  • GURUSAMY, Jay
  • LISCHKA, David J.
  • ZUNIGA, Steven M.
Mandataires
  • PATTERSON, B. Todd
  • HAMMACK, Marcus W.
Données relatives à la priorité
62/738,87928.09.2018US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) PLATEN ASSEMBLY AND METHOD OF ASSEMBLING A PLATEN ASSEMBLY
(FR) ENSEMBLE PLAQUE ET SON PROCÉDÉ D'ASSEMBLAGE
Abrégé
(EN)
A method and apparatus for a separable assembly in a platen assembly is provided. The two components of the separable assembly couple together through the first coupling member and the second coupling member, and the coupling is magnetic. The web assembly and hub assembly are placed or decoupled via the methods as described above. The separable components of the assembly reduce the cost and time of removing the entire platen assembly from the CMP system when maintenance or repair is to be performed.
(FR)
L'invention concerne un procédé et un appareil destinés à un ensemble séparable dans un ensemble plaque. Les deux composants de l'ensemble séparable se couplent l'un à l'autre par l'intermédiaire de premier et second éléments de couplage. Le couplage est magnétique. L'ensemble bande et l'ensemble moyeu sont placés ou découplés par l'intermédiaire des procédés susmentionnés. Les composants séparables de l'ensemble réduisent le coût et le temps de retrait de tout l'ensemble plaque du système CMP lorsqu'un entretien ou une réparation doit être effectué.
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