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1. WO2020068256 - SYSTÈME D'ÉTALONNAGE DE SPECTROMÉTRIE DE RÉFLEXION TOTALE ATTÉNUÉE

Numéro de publication WO/2020/068256
Date de publication 02.04.2020
N° de la demande internationale PCT/US2019/043287
Date du dépôt international 24.07.2019
CIB
G01N 21/552 2014.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
17Systèmes dans lesquels la lumière incidente est modifiée suivant les propriétés du matériau examiné
55Réflexion spéculaire
552Réflexion totale atténuée
CPC
G01J 2003/2879
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
28Investigating the spectrum
2866Markers; Calibrating of scan
2879Calibrating scan, e.g. Fabry Perot interferometer
G01J 3/021
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
02Details
0205Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
021using plane or convex mirrors, parallel phase plates, or particular reflectors
G01J 3/06
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
02Details
06Scanning arrangements ; arrangements for order-selection
G01J 3/42
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
28Investigating the spectrum
42Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
G01N 21/552
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
55Specular reflectivity
552Attenuated total reflection
Déposants
  • AGILENT TECHNOLOGIES, INC. [US]/[US]
Inventeurs
  • MOON, Christopher, Ryan
  • HOKE, Charles
Mandataires
  • WARD, Calvin B.
Données relatives à la priorité
16/147,82630.09.2018US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) CALIBRATION SYSTEM FOR ATTENUATED TOTAL REFLECTION SPECTROMETRY
(FR) SYSTÈME D'ÉTALONNAGE DE SPECTROMÉTRIE DE RÉFLEXION TOTALE ATTÉNUÉE
Abrégé
(EN)
An ATR scanner (80) and a method for calibrating the same are disclosed. The scanner includes an ATR objective (67) having a reflecting face and an optical port adapted to receive a first light beam, and to focus the first light beam to a point, at a location on the reflecting face such that the first light beam is reflected by the reflecting face and no portion of the first light beam strikes the reflecting face at an angle greater than the critical angle. A detector (63b) measures an intensity of light reflected from the reflecting face. A controller (69) controls the location of the focal point and determines an intensity of light that was incident on the reflecting face as a function of the position on the reflecting face and an intensity of light that was reflected from the reflecting face as a function of position on the reflecting face.
(FR)
L'invention concerne un scanner ATR (80) et un procédé d'étalonnage de ce dernier. Le scanner comprend un objectif ATR (67) possédant une face réfléchissante et un port optique conçu pour recevoir un premier faisceau lumineux et pour focaliser le premier faisceau lumineux vers un point, à un emplacement sur la face réfléchissante telle que le premier faisceau lumineux soit réfléchi par la face réfléchissante et qu'aucune partie du premier faisceau lumineux ne frappe la face réfléchissante selon un angle supérieur à l'angle critique. Un détecteur (63b) mesure une intensité de lumière réfléchie par la face réfléchissante. Un dispositif de commande (69) commande l'emplacement du point focal et détermine une intensité de lumière ayant été incidente sur la face réfléchissante en fonction de la position sur la face réfléchissante et une intensité de lumière ayant été réfléchie par la face réfléchissante en fonction d'une position sur la face réfléchissante.
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