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1. WO2020066739 - ÉLÉMENT PIÉZOÉLECTRIQUE STRATIFIÉ

Numéro de publication WO/2020/066739
Date de publication 02.04.2020
N° de la demande internationale PCT/JP2019/036324
Date du dépôt international 17.09.2019
CIB
H01L 41/187 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
41Dispositifs piézo-électriques en général; Dispositifs électrostrictifs en général; Dispositifs magnétostrictifs en général; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Détails
16Emploi de matériaux spécifiés
18pour des éléments piézo-électriques ou électrostrictifs
187Compositions céramiques
C04B 35/468 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
04CIMENTS; BÉTON; PIERRE ARTIFICIELLE; CÉRAMIQUES; RÉFRACTAIRES
BCHAUX; MAGNÉSIE; SCORIES; CIMENTS; LEURS COMPOSITIONS, p.ex. MORTIERS, BÉTON OU MATÉRIAUX DE CONSTRUCTION SIMILAIRES; PIERRE ARTIFICIELLE; CÉRAMIQUES; RÉFRACTAIRES; TRAITEMENT DE LA PIERRE NATURELLE
35Produits céramiques mis en forme, caractérisés par leur composition; Compositions céramiques; Traitement de poudres de composés inorganiques préalablement à la fabrication de produits céramiques
01à base d'oxydes
46à base d'oxydes de titane ou de titanates
462à base de titanates
465à base de titanates de métaux alcalino-terreux
468à base de titanates de baryum
H01B 3/12 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
BCÂBLES; CONDUCTEURS; ISOLATEURS; EMPLOI DE MATÉRIAUX SPÉCIFIÉS POUR LEURS PROPRIÉTÉS CONDUCTRICES, ISOLANTES OU DIÉLECTRIQUES
3Isolateurs ou corps isolants caractérisés par le matériau isolant; Emploi de matériaux spécifiés pour leurs propriétés isolantes ou diélectriques
02composés principalement de substances inorganiques
12céramiques
H01L 41/047 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
41Dispositifs piézo-électriques en général; Dispositifs électrostrictifs en général; Dispositifs magnétostrictifs en général; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Détails
02Détails
04d'éléments piézo-électriques ou électrostrictifs
047Electrodes
H01L 41/083 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
41Dispositifs piézo-électriques en général; Dispositifs électrostrictifs en général; Dispositifs magnétostrictifs en général; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Détails
08Eléments piézo-électriques ou électrostrictifs
083avec une structure empilée ou multicouche
H01L 41/09 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
41Dispositifs piézo-électriques en général; Dispositifs électrostrictifs en général; Dispositifs magnétostrictifs en général; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Détails
08Eléments piézo-électriques ou électrostrictifs
09à entrée électrique et sortie mécanique
CPC
C04B 35/468
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
35Shaped ceramic products characterised by their composition
01based on oxide ceramics
46based on titanium oxides or titanates
462based on titanates
465based on alkaline earth metal titanates
468based on barium titanates
H01B 3/12
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
3Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties
02mainly consisting of inorganic substances
12ceramics
H01L 41/047
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
02Details
04of piezo-electric or electrostrictive devices
047Electrodes ; or electrical connection arrangements
H01L 41/083
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
08Piezo-electric or electrostrictive devices
083having a stacked or multilayer structure
H01L 41/09
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
08Piezo-electric or electrostrictive devices
09with electrical input and mechanical output ; , e.g. actuators, vibrators
H01L 41/187
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
16Selection of materials
18for piezo-electric or electrostrictive devices ; , e.g. bulk piezo-electric crystals
187Ceramic compositions ; , i.e. synthetic inorganic polycrystalline compounds incl. epitaxial, quasi-crystalline materials
Déposants
  • 株式会社村田製作所 MURATA MANUFACTURING CO., LTD. [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 藤田 章雄 FUJITA, Akio
  • 中村 悠佑 NAKAMURA, Yusuke
  • 林 繁利 HAYASHI, Shigetoshi
  • 川田 慎一郎 KAWADA, Shinichiro
Mandataires
  • 特許業務法人 安富国際特許事務所 YASUTOMI & ASSOCIATES
Données relatives à la priorité
2018-18457428.09.2018JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) LAMINATED PIEZOELECTRIC ELEMENT
(FR) ÉLÉMENT PIÉZOÉLECTRIQUE STRATIFIÉ
(JA) 圧電積層素子
Abrégé
(EN)
Provided is a laminated piezoelectric element which includes a plurality of ceramic piezoelectric layers, inner electrodes that are formed between the ceramic piezoelectric layers, and an outer electrode that is electrically connected to the inner electrodes, wherein the laminated piezoelectric element is characterized in that the ceramic piezoelectric layers are represented by the compositional formula, {Ba1-xCaxO}mTiO2+αRe2O3+βMgO+γMnO [provided that Re2O3 is at least one selected from the group consisting of Y2O3, Gd2O3, Tb2O3, Dy2O3, Ho2O3, Er2O3, Yb2O3, and La2O3, and α, β, and γ represent molar ratios and satisfy relational expressions (1) to (5)], the ceramic piezoelectric layers comprise 0.2 to 0.8 parts by weight of SiO2 as a secondary component relative to 100 parts by weight of a primary component in the {Ba1-xCaxO}TiO2 raw material used for the ceramic piezoelectric layers, the ceramic piezoelectric layers have remnant polarizations in a specific direction, and the inner electrodes comprise nickel, nickel alloy, copper, or copper alloy.
(FR)
L’invention concerne un élément piézoélectrique stratifié comprenant une pluralité de couches piézoélectriques en céramique, des électrodes internes qui sont formées entre les couches piézoélectriques en céramique, et une électrode externe qui est connectée électriquement aux électrodes internes, dans lequel l'élément piézoélectrique stratifié est caractérisé en ce que les couches piézoélectriques en céramique sont représentées par la formule de composition, {Ba1-xCaxO}mTiO2+αRe2O3+βMgO+γMnO [à condition que Re2O3 soit au moins un élément choisi dans le groupe constitué par Y2O3, Gd2O3, Tb2O3, Dy2O3, Ho2O3, Er2O3, Yb2O3, et La2O3, et α, β, et γ représentent des rapports molaires et satisfont aux expressions relationnelles (1) à (5)], les couches piézoélectriques en céramique comprennent 0,2 à 0,8 parties en poids de SiO2 comme composant secondaire par rapport à 100 parties en poids d'un composant primaire dans la matière première {Ba1-xCaxO}TiO2 utilisée pour les couches piézo-électriques en céramique, les couches piézoélectriques en céramique ont des polarisations résiduelles dans une direction spécifique, et les électrodes internes comprennent du nickel, un alliage de nickel, du cuivre ou un alliage de cuivre.
(JA)
複数の圧電体セラミック層と、前記圧電体セラミック層間に形成された内部電極と、前記内部電極に電気的に接続された外部電極とを備えた圧電積層素子であって、前記圧電体セラミック層が、次の組成式で表わされ、 {Ba1-xCaO}TiO+αRe+βMgO+γMnO [但し、Reは、Y、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Yb及びLaの中から選ばれる少なくとも1種以上であり、α、β及びγはモル比を表わし、関係式(1)~(5)を満たす。]かつ、前記圧電体セラミック層に用いる{Ba1-xCaO}TiO原料中の主成分100重量部に対して、副成分としてのSiOを0.2重量部以上、0.8重量部以下含有しており、前記圧電体セラミック層は一定方向に残留分極を有し、前記内部電極はニッケル、ニッケル合金、銅又は銅合金からなることを特徴とする圧電積層素子。
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