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1. WO2020064431 - TRANSDUCTEUR OPTIQUE INTÉGRÉ ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE CHANGEMENTS DE PRESSION DYNAMIQUE

Numéro de publication WO/2020/064431
Date de publication 02.04.2020
N° de la demande internationale PCT/EP2019/074850
Date du dépôt international 17.09.2019
CIB
G01L 9/00 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
LMESURE DES FORCES, DES CONTRAINTES, DES COUPLES, DU TRAVAIL, DE LA PUISSANCE MÉCANIQUE, DU RENDEMENT MÉCANIQUE OU DE LA PRESSION DES FLUIDES
9Mesure de la pression permanente, ou quasi permanente d'un fluide ou d'un matériau solide fluent par des éléments électriques ou magnétiques sensibles à la pression; Transmission ou indication par des moyens électriques ou magnétiques du déplacement des éléments mécaniques sensibles à la pression, utilisés pour mesurer la pression permanente ou quasi permanente d'un fluide ou d'un matériau solide fluent
H04R 23/00 2006.01
HÉLECTRICITÉ
04TECHNIQUE DE LA COMMUNICATION ÉLECTRIQUE
RHAUT-PARLEURS, MICROPHONES, TÊTES DE LECTURE POUR TOURNE-DISQUES OU TRANSDUCTEURS ACOUSTIQUES ÉLECTROMÉCANIQUES ANALOGUES; APPAREILS POUR SOURDS; SYSTÈMES D'ANNONCE EN PUBLIC
23Transducteurs autres que ceux compris dans les groupes H04R9/-H04R21/107
CPC
G01L 9/0077
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
9Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements
0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
0076using photoelectric means
0077for measuring reflected light
H04R 23/008
HELECTRICITY
04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
23Transducers other than those covered by groups H04R9/00 - H04R21/00
008using optical signals for detecting or generating sound
H04R 31/00
HELECTRICITY
04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
31Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of transducers or diaphragms therefor
Déposants
  • AMS INTERNATIONAL AG [CH]/[CH]
Inventeurs
  • STOJANOVIC, Goran
  • STEELE, Colin
  • HOFRICHTER, Jens
  • LAZAR, Catalin
  • KRAFT, Jochen
Mandataires
  • EPPING HERMANN FISCHER PATENTANWALTSGESELLSCHAFT MBH
Données relatives à la priorité
18196899.126.09.2018EP
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) INTEGRATED OPTICAL TRANSDUCER AND METHOD FOR DETECTING DYNAMIC PRESSURE CHANGES
(FR) TRANSDUCTEUR OPTIQUE INTÉGRÉ ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE CHANGEMENTS DE PRESSION DYNAMIQUE
Abrégé
(EN)
An integrated optical transducer (1) for detecting dynamic pressure changes comprises a micro-electro-mechanical system, MEMS, die (10) having a MEMS diaphragm (11) with a first side (12) exposed to the dynamic pressure changes and a second side (13), and an application-specific integrated circuit, ASIC, die (20) having an optical interferometer assembly. The interferometer assembly comprises a beam splitting element (21) for receiving a source beam (30) from a light source (23) and for splitting the source beam (30) into a probe beam (31) in a first beam path and a reference beam (32) in a second beam path, a beam combining element (22) for combining the probe beam (31) with the reference beam (32) to a superposition beam (33), and a detector (24) configured to generate an electronic interference signal depending on the superposition beam (33). The MEMS die (10) is arranged with respect to the ASIC die (20) such that a gap is formed between the second side (12) of the diaphragm and the ASIC die (20), with the gap defining a cavity (14) and having a gap height. The first beam path of the probe beam (31) comprises coupling into the cavity (14), reflection off of a deflection point or a deflection surface (16) of the diaphragm (11) and coupling out of the cavity (14).
(FR)
La présente invention concerne un transducteur optique intégré (1) servant à détecter des changements de pression dynamique, le transducteur optique intégré (1) comprenant un microsystème électromécanique, MEMS, une puce (10) ayant un diaphragme à MEMS (11) comportant un premier côté (12) exposé aux changements de pression dynamique et un second côté (13), et une puce (20) à circuit intégré à application spécifique, ASIC, dotée d'un ensemble interféromètre optique. L'ensemble interféromètre comprend un élément de division de faisceau (21) servant à recevoir un faisceau de source (30) provenant d'une source de lumière (23) et à diviser le faisceau de source (30) en un faisceau de sonde (31) dans un premier trajet de faisceau et un faisceau de référence (32) dans un second trajet de faisceau, un élément de combinaison de faisceau (22) servant à combiner le faisceau de sonde (31) avec le faisceau de référence (32) en un faisceau de superposition (33), et un détecteur (24) conçu pour générer un signal d'interférence électronique en fonction du faisceau de superposition (33). La puce à MEMS (10) est disposée par rapport à la puce à ASIC (20) de telle sorte qu'un espace est formé entre le second côté (12) du diaphragme et la puce à ASIC (20), l'espace définissant une cavité (14) et ayant une hauteur d'espace. Le premier trajet de faisceau du faisceau de sonde (31) comprend un couplage dans la cavité (14), une réflexion hors d'un point de déviation ou d'une surface de déviation (16) du diaphragme (11) et un couplage hors de la cavité (14).
Également publié en tant que
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